【技术实现步骤摘要】
本技术涉单晶硅加工，具体为一种单晶硅加工用晶圆切割装置。
技术介绍
1、硅的单晶体，禁带宽度1.11ev，具有基本完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导材料，晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在对单晶硅加工时需要使用到晶圆切割装置。
2、在使用单晶硅加工用晶圆切割装置时发现不方便调节切割刀片的位置，容易影响切割的精准度，因此、我们提出了一种新型的单晶硅加工用晶圆切割装置对上述的问题进行改进。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种单晶硅加工用晶圆切割装置，以解决上述
技术介绍
中提出不方便调节切割刀片的位置，容易影响切割精准度的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶硅加工用晶圆切割装置，包括工作台，所述工作台底端的四个拐角处固定连接有支脚，所述支脚的一端固定连接有安装板，所述安装板的顶端设置有防护壳，所述防护壳的一侧安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有螺纹杆，所述防护壳内部的底端固定连接有限位滑杆，所述螺纹杆和限位滑杆的外部设置有螺纹套，所述螺纹套的另一端固定连接有电动推杆，所述电动推杆的另一端焊接有安装架，所述安装架的顶端安装有第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出端驱动轴，所述驱动轴的外部固定连接有切割刀片。
3、优选的，所述螺纹套的外部加工有内螺纹，所述螺纹杆的外部加工有与内螺纹相配合的外螺纹，所述螺纹套和螺纹杆相互配合。
4、优选的，所述安装板和防护壳之间安装
5、优选的，所述支撑杆固定连接在支撑弹簧的顶端，所述限位套筒套接在支撑杆外部的底端。
6、优选的，所述工作台的另一端安装有第一驱动电机，所述第一驱动电机的输出端固定连接有转轴，所述转轴的一端固定连接有驱动齿轮，所述工作台内部的两侧设置有限位板，所述驱动齿轮的底端和顶端固定连接有齿条，所述齿条的一侧固定连接有连接板。
7、优选的，所述连接板固定连接在限位板的另一侧，所述齿条的顶端设置有齿块，所述驱动齿轮的外部设置有与有齿条顶端大小相同的齿块相同。
8、与现有技术相比，本技术的有益效果是：该单晶硅加工用晶圆切割装置不仅实现了便于对晶圆切割，实现了便于对晶圆固定限位，而且实现了便于调节切割刀片的高度；
9、(1)通过设置有伺服电机、防护壳、螺纹套、螺纹杆和限位滑杆，启动伺服电机，伺服电机带动螺纹杆转动，由于螺纹杆和螺纹套相互配合且安装架通过电动推杆安装在螺纹套的另一端，所以螺纹杆转动可以使螺纹套带动安装架移动，从而可以调节切割刀片的位置方便切割刀片对晶圆进行切割，当安装架左右移动时螺纹套会在限位滑杆的外部左右移动，从而可以提高螺纹套移动的稳定性；
10、(2)通过设置有限位套筒、支撑杆、支撑弹簧和液压油缸，需要切割不同高度晶圆进行切割时启动液压油缸，液压油缸带动防护壳升降，当液压油缸带动防护壳升降时支撑杆会在限位套筒的内部上下滑动，从而可以提高防护壳升降的稳定性，在限位套筒内部的底端设置有支撑弹簧，支撑弹簧可以通过自身的弹性和支撑杆对防护壳进行支撑；
11、(3)通过设置有限位板、连接板、齿条、第一驱动电机、驱动齿轮和转轴，把晶圆材料放到工作台的顶端，放好之后启动第一驱动电机，第一驱动电机通过转轴带动驱动齿轮转动，由于驱动齿轮和齿条相互配合且连接板固定连接在限位板和齿条，所以驱动齿轮转动可以使连接板带动限位板对晶圆进行固定限位，从而可以方便对晶圆进行切割。
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1.一种单晶硅加工用晶圆切割装置，包括工作台(4)，其特征在于：所述工作台(4)底端的四个拐角处固定连接有支脚(1)，所述支脚(1)的一端固定连接有安装板(2)，所述安装板(2)的顶端设置有防护壳(6)，所述防护壳(6)的一侧安装有伺服电机(5)，所述伺服电机(5)的输出端固定连接有螺纹杆(8)，所述防护壳(6)内部的底端固定连接有限位滑杆(9)，所述螺纹杆(8)和限位滑杆(9)的外部设置有螺纹套(7)，所述螺纹套(7)的另一端固定连接有电动推杆(19)，所述电动推杆(19)的另一端焊接有安装架(20)，所述安装架(20)的顶端安装有第二驱动电机(21)，所述第二驱动电机(21)的输出端驱动轴(23)，所述驱动轴(23)的外部固定连接有切割刀片(22)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用晶圆切割装置，其特征在于：所述螺纹套(7)的外部加工有内螺纹，所述螺纹杆(8)的外部加工有与内螺纹相配合的外螺纹，所述螺纹套(7)和螺纹杆(8)相互配合。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用晶圆切割装置，其特征在于：所述安装板(2)和防护壳(6)之间安装有液压
4.根据权利要求3所述的一种单晶硅加工用晶圆切割装置，其特征在于：所述支撑杆(10)固定连接在支撑弹簧(11)的顶端，所述限位套筒(3)套接在支撑杆(10)外部的底端。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用晶圆切割装置，其特征在于：所述工作台(4)的另一端安装有第一驱动电机(16)，所述第一驱动电机(16)的输出端固定连接有转轴(18)，所述转轴(18)的一端固定连接有驱动齿轮(17)，所述工作台(4)内部的两侧设置有限位板(13)，所述驱动齿轮(17)的底端和顶端固定连接有齿条(15)，所述齿条(15)的一侧固定连接有连接板(14)。
6.根据权利要求5所述的一种单晶硅加工用晶圆切割装置，其特征在于：所述连接板(14)固定连接在限位板(13)的另一侧，所述齿条(15)的顶端设置有齿块，所述驱动齿轮(17)的外部设置有与有齿条(15)顶端大小相同的齿块相同。
...【技术特征摘要】
1.一种单晶硅加工用晶圆切割装置，包括工作台(4)，其特征在于：所述工作台(4)底端的四个拐角处固定连接有支脚(1)，所述支脚(1)的一端固定连接有安装板(2)，所述安装板(2)的顶端设置有防护壳(6)，所述防护壳(6)的一侧安装有伺服电机(5)，所述伺服电机(5)的输出端固定连接有螺纹杆(8)，所述防护壳(6)内部的底端固定连接有限位滑杆(9)，所述螺纹杆(8)和限位滑杆(9)的外部设置有螺纹套(7)，所述螺纹套(7)的另一端固定连接有电动推杆(19)，所述电动推杆(19)的另一端焊接有安装架(20)，所述安装架(20)的顶端安装有第二驱动电机(21)，所述第二驱动电机(21)的输出端驱动轴(23)，所述驱动轴(23)的外部固定连接有切割刀片(22)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用晶圆切割装置，其特征在于：所述螺纹套(7)的外部加工有内螺纹，所述螺纹杆(8)的外部加工有与内螺纹相配合的外螺纹，所述螺纹套(7)和螺纹杆(8)相互配合。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅加工用晶圆切割装置，其特征在于：所述安装板(2)和防护壳(6)之间安装...
【专利技术属性】
技术研发人员：高贻刚，牛文富，汪沛渊，汪高峰，李一得，何曙光，王鹏，张林儿，
申请(专利权)人：鄂尔多斯市中成榆能源有限公司，
类型：新型
国别省市：
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