【技术实现步骤摘要】
本技术涉及流速传感器测量，尤其是指一种基于热传递原理的柔性mems流速传感器。
技术介绍
1、流速在日常生活、工业生产和科学研究中扮演着重要角色。流速传感器的种类丰富，主要分为非热式和热式流速传感器两大类。传统的流速传感器有许多不可避免的缺点，比如功耗高，体积大，容易受到温度漂移影响，测速不准确，无法适应复杂曲面等。针对流速传感器大多存在功耗高、柔性小而无法适应曲面测量的问题，提出了一种基于热传递原理的柔性mems流速传感器。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本技术的一种基于热传递原理的柔性mems流速传感器，所述柔性mems流速传感器包括第一加热电阻，第二加热电阻，热敏电阻，方形凸起，衬底；其中的衬底为方形特征电路板，而方形凸起设于衬底的四个角，且方形凸起关于衬底的中心线对称分布；
2、所述衬底上设有第一凹槽，第二凹槽，其中的第一加热电阻，第二加热电阻分布设于第一凹槽，第二凹槽的底部，同时第一加热电阻，第二加热电阻的两端均设有引线，且引线的末端设有引出电极，另外的热敏电阻设于第二加热电阻的一侧，同时热敏电阻两端也设有引线、引出电极；
3、其中的第一加热电阻，第二加热电阻，热敏电阻组成一个功能模组，具体为单方向测速单元，其中的单方向测速单元在衬底上设有四组，同时是关于衬底中心的对称图形，且相邻的两组单方向测速单元隔90度分布。
4、在本技术的一个实施例中，所述第一加热电阻，第二加热电阻使用金属铂材料制作而成，便于捕捉方形凸起中生成热液(气)
5、在本技术的一个实施例中，所述热敏电阻使用金属铂作为热敏电阻材料，且设计成蛇形的特征结构，热敏电阻的特征宽度比第一加热电阻，第二加热电阻更宽。
6、在本技术的一个实施例中，所述衬底使用柔性材料制作而成，使用聚酰亚胺作为衬底材料，可以在一定程度上弯曲。
7、在本技术的一个实施例中，每相邻的两个方形凸起之间形成热力的传递通道，对被测对象的流速进行正交分解，同时可以减少加热电阻生成的热液(气)囊对相邻通道的影响。
8、在本技术的一个实施例中，柔性mems流速传感器还外接有脉冲发生电路，以及手动或自动触发开关，便于间歇性工作环境，或传感器长时间待机工作，使得其中的加热功耗比同类方案更低。
9、本技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：本技术所述的柔性mems流速传感器，利用两个加热电阻产生的热液(气)囊经过热敏电阻的时间差大小来反映流速的大小。该传感器可以测量二维流速和方向，温飘小，功耗低，结构简单，使用柔性材料作为衬底，可以一定程度上弯曲，使用方便，可以批量加工。
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1.一种基于热传递原理的柔性MEMS流速传感器，其特征在于，所述柔性MEMS流速传感器包括第一加热电阻(1)，第二加热电阻(2)，热敏电阻(5)，方形凸起(8)，衬底(9)；其中的衬底(9)为方形特征电路板，而方形凸起(8)设于衬底(9)的四个角，且方形凸起(8)关于衬底(9)的中心线对称分布；
2.根据权利要求1所述的柔性MEMS流速传感器，其特征在于：所述第一加热电阻(1)，第二加热电阻(2)使用金属铂材料制作而成。
3.根据权利要求1所述的柔性MEMS流速传感器，其特征在于：所述热敏电阻(5)使用金属铂作为热敏电阻材料，且设计成蛇形的特征结构，热敏电阻(5)的特征宽度比第一加热电阻(1)，第二加热电阻(2)更宽。
4.根据权利要求1所述的柔性MEMS流速传感器，其特征在于：所述衬底(9)使用柔性材料制作而成，使用聚酰亚胺作为衬底材料。
5.根据权利要求1所述的柔性MEMS流速传感器，其特征在于：每相邻的两个方形凸起(8)之间形成热力的传递通道，对被测对象的流速进行正交分解。
6.根据权利要求1所述的柔性MEMS流速
...【技术特征摘要】
1.一种基于热传递原理的柔性mems流速传感器，其特征在于，所述柔性mems流速传感器包括第一加热电阻(1)，第二加热电阻(2)，热敏电阻(5)，方形凸起(8)，衬底(9)；其中的衬底(9)为方形特征电路板，而方形凸起(8)设于衬底(9)的四个角，且方形凸起(8)关于衬底(9)的中心线对称分布；
2.根据权利要求1所述的柔性mems流速传感器，其特征在于：所述第一加热电阻(1)，第二加热电阻(2)使用金属铂材料制作而成。
3.根据权利要求1所述的柔性mems流速传感器，其特征在于：所述热敏电阻(5)使用金属铂作为...
【专利技术属性】
技术研发人员：王庆贺，孙晓冬，郑利华，黎蕾，顾林，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第五十八研究所，
类型：新型
国别省市：
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