【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体制造设备，特别是涉及一种盖板支撑装置。
技术介绍
1、薄膜沉积设备是一种用于对晶圆实现薄膜沉积的半导体制造设备，采用反应腔体、盖板和密封胶圈实现真空环境，为薄膜沉积提供必要条件。
2、薄膜沉积设备中盖板的重量较大，而设备工程师在安装和拆卸盖板的过程中需要保证盖板不会掉落。因此，在安装和拆卸盖板的过程中，要求设备工程师一手拆卸螺丝，同时另一手托举住盖板。如此操作方式对设备工程师的动作有很大的限制，严重影响安装和拆卸的效率。
技术实现思路
1、基于此，本申请提供一种盖板支撑装置，可以在安装和拆卸盖板的过程中，对盖板进行支撑，以保证盖板不掉落。
2、一种盖板支撑装置，包括：
3、承载部；所述承载部设有用于安装和拆卸盖板的操作空间；
4、支撑部；所述支撑部的顶端连接于所述承载部的几何中心，用于向所述承载部提供垂直所述盖板方向上的支撑力；
5、限位部，设置于所述承载部远离所述支撑部的一侧；
6、所述盖板支撑装置支撑所述盖板时，所述承载部用于贴合所述盖板表面，所述支撑部用于向所述承载部提供垂直所述盖板方向上的支撑力，所述限位部与所述盖板的边缘抵持。
7、在其中一个实施例中，所述限位部与所述承载部活动连接，且相对于所述承载部具有第一位置和第二位置；
8、所述限位部处于所述第一位置时，所述限位部的顶端高于所述承载部朝向所述盖板的一侧表面；所述限位部处于所述第二位置时，所述限位部的顶端与所
9、在其中一个实施例中，所述承载部包括基盘，以及以所述基盘为中心呈放射状布置的多个承载臂；多个所述承载臂的固定端与所述基盘连接，相邻所述承载臂之间形成所述操作空间；
10、所述限位部包括与多个所述承载臂一一对应设置的限位件；各所述限位件对应设置于多个所述承载臂的自由端。
11、在其中一个实施例中，各所述限位件朝向对应所述承载臂的一侧开设有连接滑轨；所述连接滑轨套设于对应所述承载臂的自由端的外周。
12、在其中一个实施例中，各所述限位件朝向所述盖板的一侧表面与对应的所述承载臂朝向所述盖板的一侧表面之间形成夹角；所述夹角小于或等于90°。
13、在其中一个实施例中，各所述限位件的长度大于或等于所述盖板的厚度。
14、在其中一个实施例中，所述基盘的半径与各所述承载臂的自由端与所述基盘中心之间的距离的比例为1/3~1/2。
15、在其中一个实施例中，所述承载部包括至少八个所述承载臂。
16、在其中一个实施例中，所述承载部所在平面垂直于所述支撑部。
17、在其中一个实施例中，所述盖板支撑装置还包括：
18、升降装置，设置于所述支撑部的底端，且套设于所述支撑部的外周；所述升降装置用于带动所述支撑部在竖直方向上运动。
19、本申请提供的盖板支撑装置可以/至少具有以下优点：
20、本申请提供的盖板支撑装置支撑盖板时，承载部贴合盖板表面；支撑部的顶端连接于承载部的几何中心，向承载部提供垂直盖板方向上的支撑力，并通过承载部施加于盖板，从而确保盖板不会掉落。同时，设置限位部并使限位部在盖板支撑装置支撑盖板时与盖板的边缘抵持，能够避免盖板在安装和拆卸盖板的过程中在水平方向上移动，有利于避免盖板在安装和拆卸盖板的过程中产生磨损。本申请提供的盖板支撑装置，可以在安装和拆卸盖板的过程中对盖板进行支撑，从而无需由设备工程师空出一手来支撑盖板，有利于提升盖板安装和拆卸的效率。
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1.一种盖板支撑装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的盖板支撑装置，其特征在于，所述限位部与所述承载部活动连接，且相对于所述承载部具有第一位置和第二位置；
3.根据权利要求2所述的盖板支撑装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的盖板支撑装置，其特征在于，各所述限位件朝向对应所述承载臂的一侧开设有连接滑轨；所述连接滑轨套设于对应所述承载臂的自由端的外周。
5.根据权利要求4所述的盖板支撑装置，其特征在于，各所述限位件朝向所述盖板的一侧表面与对应的所述承载臂朝向所述盖板的一侧表面之间形成夹角；所述夹角小于或等于90°。
6.根据权利要求3所述的盖板支撑装置，其特征在于，各所述限位件的长度大于或等于所述盖板的厚度。
7.根据权利要求3所述的盖板支撑装置，其特征在于，所述基盘的半径与各所述承载臂的自由端与所述基盘中心之间的距离的比例为1/3~1/2。
8.根据权利要求3所述的盖板支撑装置，其特征在于，所述承载部包括至少八个所述承载臂。
9.根据权利要求1所述的盖板支撑装置，其特
10.根据权利要求1所述的盖板支撑装置，其特征在于，还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种盖板支撑装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的盖板支撑装置，其特征在于，所述限位部与所述承载部活动连接，且相对于所述承载部具有第一位置和第二位置；
3.根据权利要求2所述的盖板支撑装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的盖板支撑装置，其特征在于，各所述限位件朝向对应所述承载臂的一侧开设有连接滑轨；所述连接滑轨套设于对应所述承载臂的自由端的外周。
5.根据权利要求4所述的盖板支撑装置，其特征在于，各所述限位件朝向所述盖板的一侧表面与对应的所述承载臂朝向所述盖板的一侧表面之间形成夹角...
【专利技术属性】
技术研发人员：王光，蒋文军，闫晓晖，
申请(专利权)人：上海积塔半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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