【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体制造设备，特别是涉及一种盖板支撑装置。
技术介绍
1、薄膜沉积设备是一种用于对晶圆实现薄膜沉积的半导体制造设备，采用反应腔体、盖板和密封胶圈实现真空环境，为薄膜沉积提供必要条件。
2、薄膜沉积设备中盖板的重量较大，而设备工程师在安装和拆卸盖板的过程中需要保证盖板不会掉落。因此，在安装和拆卸盖板的过程中，要求设备工程师一手拆卸螺丝，同时另一手托举住盖板。如此操作方式对设备工程师的动作有很大的限制，严重影响安装和拆卸的效率。
技术实现思路
1、基于此，本申请提供一种盖板支撑装置，可以在安装和拆卸盖板的过程中，对盖板进行支撑，以保证盖板不掉落。
2、一种盖板支撑装置，包括：
3、承载部；所述承载部设有用于安装和拆卸盖板的操作空间；
4、支撑部；所述支撑部的顶端连接于所述承载部的几何中心，用于向所述承载部提供垂直所述盖板方向上的支撑力；
5、限位部，设置于所述承载部远离所述支撑部的一侧；
6、所述盖板支撑装置支...
【技术保护点】
1.一种盖板支撑装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的盖板支撑装置，其特征在于，所述限位部与所述承载部活动连接，且相对于所述承载部具有第一位置和第二位置；
3.根据权利要求2所述的盖板支撑装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的盖板支撑装置，其特征在于，各所述限位件朝向对应所述承载臂的一侧开设有连接滑轨；所述连接滑轨套设于对应所述承载臂的自由端的外周。
5.根据权利要求4所述的盖板支撑装置，其特征在于，各所述限位件朝向所述盖板的一侧表面与对应的所述承载臂朝向所述盖板的一侧表面之间形成夹角；所述夹角小于或等
<...【技术特征摘要】
1.一种盖板支撑装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的盖板支撑装置，其特征在于，所述限位部与所述承载部活动连接，且相对于所述承载部具有第一位置和第二位置；
3.根据权利要求2所述的盖板支撑装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的盖板支撑装置，其特征在于，各所述限位件朝向对应所述承载臂的一侧开设有连接滑轨；所述连接滑轨套设于对应所述承载臂的自由端的外周。
5.根据权利要求4所述的盖板支撑装置，其特征在于，各所述限位件朝向所述盖板的一侧表面与对应的所述承载臂朝向所述盖板的一侧表面之间形成夹角...
【专利技术属性】
技术研发人员：王光，蒋文军，闫晓晖，
申请(专利权)人：上海积塔半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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