法拉第筒制造技术

本发明专利技术涉及脉冲式电子枪技术领域，具体提供了一种法拉第筒。法拉第筒包括内筒。内筒包括前部、后部及遮罩。前部的内部中空设置形成空腔，前部的第一端被构造成锥形结构，并设置有适用于容纳电子注通过的狭缝，前部的第二端被构造成由第一端的扩口侧沿轴向延伸的柱形结构。后部安装于前部的第二端，后部上设置有至少一对第一排气孔。遮罩罩设于后部的与前部相背离的一侧，遮罩上设置有至少一对第二排气孔，以将空腔经由第一排气孔与真空室连通，适用于抽取空腔内的气体。在遮罩与后部装配的状态下，沿法拉第筒的轴向方向的正投影中，第二排气孔与第一排气孔错位布置，以使经由狭缝通过的电子注轰击于前部、后部或遮罩上，以被法拉第筒接收。

【技术实现步骤摘要】

本公开的至少一种实施例涉及脉冲式电子枪，更具体地，涉及一种法拉第筒。

技术介绍

1、电子枪(如脉冲式电子枪)在设计和制造完成后，需在试验设备上进行测试，以验证其是否满足设计要求。

2、为此，常采用法拉第筒依据小孔法进行电子注检测，待电子注轰击于法拉第筒后，会在法拉第筒的内筒上产生一个电信号，从而获取电子注截面电流密度。电子枪引出的束流能量一般达到10千伏以上，会产生较高的束流功率，因此会产生非常大的热量。为此，需配置相应的冷却机构，导致法拉第筒的结构复杂。

3、并且，上述过程需在一高真空环境中进行，为此，需将法拉第筒的内筒与真空室相连通，以将内筒中的气体抽出。目前，所采用的法拉第筒为一封闭结构，其通过前端设置的狭缝(如直径仅有几微米的小孔，用于注入电子注)与真空室相连通，以抽取法拉第筒的内筒中的气体。从而导致内筒内的气体释放十分缓慢，这样不但降低了整个系统的抽气效率，还容易导致内筒内的气体在实验时未被释放干净，从而使气体在电子轰击下被电离产生离子，造成实验系统被破坏。

4、为此，如何提供一种便于抽气的法拉第筒，成为亟待解本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种法拉第筒，布置于真空室内，其特征在于，包括内筒(7)，所述内筒(7)包括：

2.根据权利要求1所述的法拉第筒，其特征在于，所述后部(74)上设置有一对所述第一排气孔(741)。

3.根据权利要求2所述的法拉第筒，其特征在于，所述遮罩(73)上设置有一对所述第二排气孔(731)；

4.根据权利要求1所述的法拉第筒，其特征在于，所述后部(74)的面对所述前部(71)的一侧形成凸台，以嵌合于所述前部(71)的第二端内。

5.根据权利要求1所述的法拉第筒，其特征在于，所述后部(74)的远离所述前部(71)的端面上设置有盲孔；

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【技术特征摘要】

1.一种法拉第筒，布置于真空室内，其特征在于，包括内筒(7)，所述内筒(7)包括：

2.根据权利要求1所述的法拉第筒，其特征在于，所述后部(74)上设置有一对所述第一排气孔(741)。

3.根据权利要求2所述的法拉第筒，其特征在于，所述遮罩(73)上设置有一对所述第二排气孔(731)；

4.根据权利要求1所述的法拉第筒，其特征在于，所述后部(74)的面对所述前部(71)的一侧形成凸台，以嵌合于所述前部(71)的第二端内。

5.根据权利要求1所述的法拉第筒，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：尚新文，李延威，李宁，李灿，易红霞，肖刘，韩冰，常旭东，张志强，
申请(专利权)人：中国科学院空天信息创新研究院，
类型：发明
国别省市：