【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制备，具体的，涉及一种可调节支撑方式的晶圆搬运系统。
技术介绍
1、在半导体生产领域，晶圆搬运装置是确保生产流程顺畅的关键设备，传统的晶圆搬运装置存在多种局限性，限制了其效能和可靠性，这些装置通常不具备根据晶圆不同形状和尺寸自动调节支撑的能力，增加了晶圆在搬运过程中损坏的风险，缺乏自动上料功能导致生产效率低下，并可能因手动操作而引入风险。
2、现有技术中申请公布号为：cn117096088a，名称为一种晶圆搬运装，该专利包括固定板、直线模组、吸盘和夹持组件，直线模组连接固定板，可带动其沿特定方向移动，吸盘位于固定板上，用于吸附晶圆，并配备有压力传感器监测吸盘与晶圆之间的真空压力，夹持组件则用于在真空压力低于预设安全阈值时，夹住晶圆的外边缘，确保晶圆不会脱落，这一设计通过夹持组件作为备用支撑，增强了晶圆搬运的稳定性和安全性。
3、然而，该专利采用吸盘和夹持组件的方式对进行固定之后再实现搬运的效果，可是该夹持组件为不可调节的设置，在实际使用的过程中会因此受到极大的限制，在面对不同形状和尺寸的晶圆时会出现支撑不稳定导致搬运过程中出现脱落的问题，同时也不设置保护措施，无论是吸盘还是夹持组件都会对晶圆的本身造成一定的损伤，也不能对晶圆的表面进行清洁的处理，总体实现的搬运效果并不好；
4、并且，该专利并未涉及上料的部分，从整体的工作原理来看需要采用较多的人为干涉，因此会大大的降低整体搬运的效率，同时也会由于人为的操作导致晶圆自身的质量受到影响，带来不必要的风险；
5、最后，
技术实现思路
1、本专利技术提出一种可调节支撑方式的晶圆搬运系统，解决了相关技术中的支撑无法调节和搬运效率低的问题。
2、本专利技术的技术方案如下：一种可调节支撑方式的晶圆搬运系统，包括自动调节组件、上料组件以及检验组件，所述自动调节组件包括支撑板，所述支撑板的一侧安装有传送电机，所述支撑板的内部转动安装有若干阵列等距分布的传送辊，所述传送电机与其中一个所述传送辊通过联轴器固定连接，若干所述传送辊的外部共同套设有传送带，所述传送带的顶部固定连接有六个凸块，六个所述凸块的顶部分别固定连接有放置板，所述放置板的内部开设有转动槽，所述转动槽的内部转动安装有双向螺杆，所述双向螺杆的一端固定连接有齿轮，所述双向螺杆外周面上设置有两个反向的螺纹，两个所述螺纹的外部均通过滚珠螺母装配有移动套，所述移动套的一侧固定连接有夹板，所述放置板的内部开设有空腔，所述移动套与所述夹板均滑动连接在所述空腔的内部，所述空腔的内部固定连接有缓冲垫，两个所述夹板的内部均开设有若干收缩槽，若干所述收缩槽的内部均焊接有收缩弹簧，所述收缩弹簧的一端焊接有收缩杆，所述收缩杆的一端设置有海绵套，其中一个所述夹板的内部开设有若干与所述收缩杆对应的圆孔，若干所述收缩杆的内部均为空心的设置，所述圆孔与所述收缩杆的内部相通，所述放置板的一侧安装有小型真空泵，所述放置板的一侧固定连接有密封板，所述密封板将若干所述圆孔覆盖在内，所述小型真空泵通过柔性软管与所述密封板的内部固定连接，其中一个所述夹板的顶部安装有位移传感器，另一个所述夹板的顶部安装有接收器，所述接收器与所述小型真空泵电性连接。
3、作为本专利技术的一种优选方案，所述放置板的一侧固定连接有延伸板，所述延伸板的内部转动安装有转轴，所述转轴的外部固定套设有若干阵列等距分布的滚轮，若干所述滚轮的外部均设置有海绵垫，所述支撑板的顶部固定连接有两个对称布置的固定齿条，所述固定齿条与所述齿轮相配合，所述支撑板的顶部固定连接有两个对称布置的松开齿条，所述松开齿条与所述齿轮相配合。
4、作为本专利技术的一种优选方案，所述上料组件包括放置台，所述放置台与所述支撑板的一侧固定连接，所述放置台的顶部固定连接有两个对称布置的收纳筒，所述放置台的一侧安装有控制面板，两个所述收纳筒的一侧固定连接有滑轨，所述收纳筒的内部分别开设有收纳槽和推槽，所述滑轨的内部开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有推板，所述推板在推槽的内部活动，所述滑槽的内壁上开设有两个对称布置的限位槽，所述推板的两侧均固定连接有导向板，所述导向板滑动连接在所述限位槽的内部，所述滑槽的内部焊接有三个阵列等距分布的复位弹簧，三个所述复位弹簧的一端均焊接在所述推板的一侧，两个所述推板的顶部均固定连接有竖板，两个所述竖板的上共同固定连接有受力板。
5、作为本专利技术的一种优选方案，所述放置台的一侧固定连接有上料板，所述上料板的内部开设有横槽，所述上料板的一侧安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端通过联轴器固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆转动安装在所述横槽的内部，所述螺纹杆的外部通过滚珠螺母装配有连接板，所述上料板的内部开设有移动槽，所述连接板滑动连接在所述移动槽的内部，所述连接板的一侧固定连接有顶杆，所述连接板的顶部固定连接有滑块，所述滑块的内部开设有斜槽，所述上料板的内部开设有l形槽，所述l形槽和所述斜槽的内部共同活动设置有活动杆，所述活动杆的外部固定套设有两个限位套，所述活动杆的外部固定套设有两个真空吸盘，所述上料板的顶部安装有真空抽气泵，所述真空抽气泵通过柔性软管与两个所述真空吸盘固定连接，所述驱动电机与所述控制面板电性连接。
6、作为本专利技术的一种优选方案，所述检验组件包括处理板，所述处理板与所述支撑板的一侧固定连接，所述处理板的内部安装有两个对称布置的传送装置总成，所述处理板的内部开设有下料槽，所述处理板的内部放置有收纳箱，所述下料槽与所述收纳箱的内部相通。
7、作为本专利技术的一种优选方案，所述处理板的两侧均安装有电控伸缩杆，两个所述电控伸缩杆的伸缩端上均固定连接有接触板，所述处理板的两侧均安装有安装板，两个所述安装板上均安装有视觉检测头。
8、本专利技术的工作原理及有益效果为：
9、本专利技术中通过收缩杆和小型真空泵等结构的设置，将晶圆放置在放置板的内部时通过传送带进行自动传送，在这个过程中通过齿轮和固定齿条的啮合来实现双向螺杆的转动，从而实现对晶圆的自动夹持，由于固定齿条的长度是可控的，因此可以通过改变固定齿条的长度来改变夹持的力度，从而实现调节支撑的效果，配合小型真空泵的使用加强支撑效果的同时实现对晶圆表面进行抽气清洁的效果。
10、本专利技术中通过上料板和收纳筒等结构的设置，将不同尺寸的晶圆归类之后分别放置在收纳筒的内部，通过滑块的移动配合上料板上的l形槽来实现活动杆在随着滑块的移动中带动真空吸盘实现自动上料的效果，同时通过顶杆和受力板之间的受力配合来实现推板的移动，从而达到将收纳筒内部的晶圆自动进行出料的效果，减少人工接触提高了整体的搬运效率。
11、本专利技术中通过电控伸缩杆和视觉检测头等结构的设置，在晶圆完成搬运之后通过视觉检测头对每本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种可调节支撑方式的晶圆搬运系统，其特征在于，包括自动调节组件（1）、上料组件（2）以及检验组件（3），所述自动调节组件（1）包括支撑板（101），所述支撑板（101）的一侧安装有传送电机（102），所述支撑板（101）的内部转动安装有若干阵列等距分布的传送辊（103），所述传送电机（102）与其中一个所述传送辊（103）通过联轴器固定连接，若干所述传送辊（103）的外部共同套设有传送带（104），所述传送带（104）的顶部固定连接有六个凸块，六个所述凸块的顶部分别固定连接有放置板（107），所述放置板（107）的内部开设有转动槽，所述转动槽的内部转动安装有双向螺杆（108），所述双向螺杆（108）的一端固定连接有齿轮（123），所述双向螺杆（108）外周面上设置有两个反向的螺纹，两个所述螺纹的外部均通过滚珠螺母装配有移动套（111），所述移动套（111）的一侧固定连接有夹板（112），所述放置板（107）的内部开设有空腔，所述移动套（111）与所述夹板（112）均滑动连接在所述空腔的内部，所述空腔的内部固定连接有缓冲垫（110），两个所述夹板（112）的内部均开设有若干收缩
2.根据权利要求1所述的一种可调节支撑方式的晶圆搬运系统，其特征在于，所述放置板（107）的一侧固定连接有延伸板（122），所述延伸板（122）的内部转动安装有转轴（118），所述转轴（118）的外部固定套设有若干阵列等距分布的滚轮（119），若干所述滚轮（119）的外部均设置有海绵垫（120），所述支撑板（101）的顶部固定连接有两个对称布置的固定齿条（105），所述固定齿条（105）与所述齿轮（123）相配合，所述支撑板（101）的顶部固定连接有两个对称布置的松开齿条（106），所述松开齿条（106）与所述齿轮（123）相配合。
3.根据权利要求1所述的一种可调节支撑方式的晶圆搬运系统，其特征在于，所述上料组件（2）包括放置台（201），所述放置台（201）与所述支撑板（101）的一侧固定连接，所述放置台（201）的顶部固定连接有两个对称布置的收纳筒（203），所述放置台（201）的一侧安装有控制面板（202），两个所述收纳筒（203）的一侧固定连接有滑轨（204），所述收纳筒（203）的内部分别开设有收纳槽和推槽，所述滑轨（204）的内部开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有推板（205），所述推板（205）在推槽的内部活动，所述滑槽的内壁上开设有两个对称布置的限位槽，所述推板（205）的两侧均固定连接有导向板（207），所述导向板（207）滑动连接在所述限位槽的内部，所述滑槽的内部焊接有三个阵列等距分布的复位弹簧（206），三个所述复位弹簧（206）的一端均焊接在所述推板（205）的一侧，两个所述推板（205）的顶部均固定连接有竖板（216），两个所述竖板（216）的上共同固定连接有受力板（217）。
4.根据权利要求3所述的一种可调节支撑方式的晶圆搬运系统，其特征在于，所述放置台（201）的一侧固定连接有上料板（208），所述上料板（208）的内部开设有横槽，所述上料板（208）的一侧安装有驱动电机（209），所述驱动电机（209）的输出端通过联轴器固定连接有螺纹杆（210），所述螺纹杆（210）转动安装在所述横槽的内部，所述螺纹杆（210）的外部通过滚珠螺母装配有连接板（211），所述上料板（208）的内部开设有移动槽，所述连接板（211）滑动连接在所述移动槽的内部，所述连接板（211）的一侧固定连接有顶杆（212），所述连接板（211）的顶部固定连接有滑块（213），所述滑块（213）的内部开设有斜槽，所述上料板（208）的内部开设有L形槽（214），所述L形槽（214）和所述斜槽的内部共同活动设置有活动杆（218），所述活动杆（218）的外部固定套设有两个限位套，所述活动杆（218）的外部固定套...
【技术特征摘要】
1.一种可调节支撑方式的晶圆搬运系统，其特征在于，包括自动调节组件（1）、上料组件（2）以及检验组件（3），所述自动调节组件（1）包括支撑板（101），所述支撑板（101）的一侧安装有传送电机（102），所述支撑板（101）的内部转动安装有若干阵列等距分布的传送辊（103），所述传送电机（102）与其中一个所述传送辊（103）通过联轴器固定连接，若干所述传送辊（103）的外部共同套设有传送带（104），所述传送带（104）的顶部固定连接有六个凸块，六个所述凸块的顶部分别固定连接有放置板（107），所述放置板（107）的内部开设有转动槽，所述转动槽的内部转动安装有双向螺杆（108），所述双向螺杆（108）的一端固定连接有齿轮（123），所述双向螺杆（108）外周面上设置有两个反向的螺纹，两个所述螺纹的外部均通过滚珠螺母装配有移动套（111），所述移动套（111）的一侧固定连接有夹板（112），所述放置板（107）的内部开设有空腔，所述移动套（111）与所述夹板（112）均滑动连接在所述空腔的内部，所述空腔的内部固定连接有缓冲垫（110），两个所述夹板（112）的内部均开设有若干收缩槽，若干所述收缩槽的内部均焊接有收缩弹簧（115），所述收缩弹簧（115）的一端焊接有收缩杆（114），所述收缩杆（114）的一端设置有海绵套（113），其中一个所述夹板（112）的内部开设有若干与所述收缩杆（114）对应的圆孔，若干所述收缩杆（114）的内部均为空心的设置，所述圆孔与所述收缩杆（114）的内部相通，所述放置板（107）的一侧安装有小型真空泵（121），所述放置板（107）的一侧固定连接有密封板（109），所述密封板（109）将若干所述圆孔覆盖在内，所述小型真空泵（121）通过柔性软管与所述密封板（109）的内部固定连接，其中一个所述夹板（112）的顶部安装有位移传感器（116），另一个所述夹板（112）的顶部安装有接收器（117），所述接收器（117）与所述小型真空泵（121）电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种可调节支撑方式的晶圆搬运系统，其特征在于，所述放置板（107）的一侧固定连接有延伸板（122），所述延伸板（122）的内部转动安装有转轴（118），所述转轴（118）的外部固定套设有若干阵列等距分布的滚轮（119），若干所述滚轮（119）的外部均设置有海绵垫（120），所述支撑板（101）的顶部固定连接有两个对称布置的固定齿条（105），所述固定齿条（105）与所述齿轮（123）相配合，所述支撑板（101）的顶部固定连接有两个对称布置的松开齿条（106），所述松开齿条（106）与所述齿轮（123）相配合。
3.根据权利要求1所述的一种可调节支撑方式的晶圆搬运系统，其特征在于，所述上料组件（2）包括放置台（201），所述放置台（201）与所述支撑板（101）的一侧固定连接，所述放置台（201）的...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘毅，周武，
申请(专利权)人：无锡市品鑫智能机电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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