一种完全防飞溅的拦截结构制造技术

技术编号:41240364 阅读:3 留言:0更新日期:2024-05-09 23:52
本技术提供了一种完全防飞溅的拦截结构,包括:多层按预设间隔上下交错设置的拦截层,且相邻两层与竖直方向的倾斜角度大小相等、方向相反,蒸发舟不接触地设置在多层拦截层的最低层下方;每层拦截层包括多个支撑杆及多个拦截板;支撑杆按预设间隔等间隔水平设置,每个支撑杆的下端连接一个拦截板。通过采用多层拦截结构按一定的夹角上下交错设置,使蒸发舟上的逃逸区消失,从而实现对蒸镀时的液团飞溅完全拦截,提高生产制程的稳定和产品质量的一致性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及金属蒸镀领域,具体涉及一种防飞溅的拦截结构,尤其涉及一种完全防飞溅的拦截结构


技术介绍

1、在金属蒸镀过程中,由于蒸发舟浸润面温度分布不均或存在材料杂质等原因,存在液态高温金属飞溅的问题,造成基材损伤,穿孔,报废或镀层膜面质量下降等问题,长期困扰生产制程的稳定和产品质量的一致性。采用在蒸发舟上方设置拦截体方式可以对飞溅进行拦截,提高产品质量,但是仍有部分飞溅逃出拦截体的拦截。

2、综上,现有技术中存在以下问题:金属蒸镀时,液态高温金属飞溅不能被完全拦截。


技术实现思路

1、本技术实施例提供一种完全防飞溅的拦截结构,以解决金属蒸镀时,液态高温金属飞溅不能被完全拦截的问题。

2、为达上述目的,提供一种完全防飞溅的拦截结构,包括:

3、多层按预设间隔上下交错设置的拦截层,且相邻两层与竖直方向的倾斜角度大小相等、方向相反,蒸发舟不接触地设置在多层拦截层的最低层下方;

4、每层拦截层包括多个支撑杆及多个拦截板;

5、支撑杆按预设间隔等间隔水平设置,每个支撑杆的下端连接一个拦截板。

6、进一步地,支撑杆的底端沿支撑杆的长度方向设有与拦截板厚度匹配的缝隙。

7、进一步地,三层拦截层上下交错设置。

8、进一步地,两层拦截层上下交错设置。

9、进一步地,拦截板为长方形或正方形。

10、进一步地,支撑杆为长圆条形,且支撑杆为空心杆。

11、进一步地,拦截层的最底层的底端与蒸发舟的上表面的距离大于2mm。

12、进一步地,拦截板的厚度为0.1mm-0.3mm。

13、进一步地,支撑杆的长度大于拦截板的长度。

14、进一步地,支撑杆由导电材质构成。

15、本技术实施例的技术方案可达到以下有益效果:上下交错设置多层拦截层,通过设置合适的相邻拦截层之间的夹角、间距,覆盖单个拦截体的逃逸区,从而将逃逸的飞溅拦截,实现对飞溅液团的完全拦截。

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【技术保护点】

1.一种完全防飞溅的拦截结构,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的完全防飞溅的拦截结构,其特征在于,所述支撑杆(1)的底端沿所述支撑杆(1)的长度方向设有与所述拦截板(2)厚度匹配的缝隙(11)。

3.如权利要求1所述的完全防飞溅的拦截结构,其特征在于,三层所述拦截层上下交错设置。

4.如权利要求1所述的完全防飞溅的拦截结构,其特征在于,两层所述拦截层上下交错设置。

5.如权利要求1-4任意一项所述的完全防飞溅的拦截结构,其特征在于,所述拦截板(2)为长方形或正方形。

6.如权利要求2所述的完全防飞溅的拦截结构,其特征在于,所述支撑杆(1)为长圆条形,且所述支撑杆(1)为空心杆。

7.如权利要求1所述的完全防飞溅的拦截结构,其特征在于,所述拦截层的最底层的底端与所述蒸发舟(3)的上表面的距离大于2mm。

8.如权利要求1-4任意一项所述的完全防飞溅的拦截结构,其特征在于,所述拦截板(2)的厚度为0.1mm-0.3mm。

9.如权利要求1-4任意一项所述的完全防飞溅的拦截结构,其特征在于,所述支撑杆(1)的长度大于所述拦截板(2)的长度。

10.如权利要求2所述的完全防飞溅的拦截结构,其特征在于,所述支撑杆(1)由导电材质构成。

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【技术特征摘要】

1.一种完全防飞溅的拦截结构,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的完全防飞溅的拦截结构,其特征在于,所述支撑杆(1)的底端沿所述支撑杆(1)的长度方向设有与所述拦截板(2)厚度匹配的缝隙(11)。

3.如权利要求1所述的完全防飞溅的拦截结构,其特征在于,三层所述拦截层上下交错设置。

4.如权利要求1所述的完全防飞溅的拦截结构,其特征在于,两层所述拦截层上下交错设置。

5.如权利要求1-4任意一项所述的完全防飞溅的拦截结构,其特征在于,所述拦截板(2)为长方形或正方形。

6.如权利要求2所述的完全防飞溅的拦截...

【专利技术属性】
技术研发人员:臧世伟
申请(专利权)人:深圳金美新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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