【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学加工，具体涉及一种多晶态高温合金材料的抛光工艺方法。
技术介绍
1、热力学温度是国际单位制中七个基本物理量之一，热力学温度的准确测量是计量科学重要的基础前沿研究方向，2005年国际测温学咨询委员会(cct)建议，采用玻尔兹曼常数重新定义温度单位，因此，国际上众多先进实验室持续开展了多种原级方法测量玻尔兹曼常数研究，其中声学共鸣法是已知的基准温度计中研究最为深入的一种测量方法，声学共鸣腔是声学共鸣法测量热力学温度的关键核心器件。理论上，声学共鸣法要求共鸣腔为完全刚性、壁面光滑的理想几何体。因此，共鸣腔的面形误差和表面粗糙度直接影响了热力学温度的测量不确定度。
2、为了开展高温区热力学测量研究，我国研究学者提出采用高温合金hr-120材料制作高温区间声学共鸣腔体的思路。该高温合金是一种新型固溶强化耐热合金，在高温下具有优异的强度，其抗氧化性与其他广泛使用的fe-n i-cr材料相当，而且其强度在1368k附近显著高于fe-n i-cr合金，非常适合高温区间的声学共鸣腔，但同时该材料属于难加工材料，国际上还没有制造类似材料、并获得光学精度级别声学共鸣腔的先例。因此本专利技术提出了一种针对hr120多晶态高温合金材料的抛光工艺方法，使得hr120材料能够获得光学精度级别的表面质量，本专利技术提出了一种解决该问题的抛光工艺流程，在磨砂阶段结束后，本专利技术采用分段式的抛光工艺，通过不断更改的工艺参数，在不同的工艺阶段采用不同的加工策略对hr120高温合金材料进行抛光加工，在面型误差快速收敛的同时使表面光洁度达
技术实现思路
1、本专利技术的目的是为了解决上述问题，提供一种多晶态高温合金材料的抛光工艺方法。
2、为了达到上述目的，本专利技术的技术方案如下：
3、本专利技术提供了一种多晶态高温合金材料的抛光工艺方法，步骤1，使用比重范围在1.05-1.1的氧化铝抛光液进行表面砂眼和麻点的去除加工，控制抛光压力为0.2-0.5mpa；
4、步骤2，使用比重范围在1.03-1.05的氧化铝抛光液进行面型修整和抛光痕迹修整，控制抛光压力为：0.2-0.4mpa；
5、步骤3，使用比重范围在1.01-1.03的氧化铝抛光液进行最终光洁度修整，控制抛光压力为：0.1-0.2mpa。
6、本专利技术进一步设置为：所述的加工过程中使用的抛光液，其中添加的ph值调节剂为碳酸钠，使用的溶剂为去离子水。
7、通过采用上述技术方案，ph呈中性或酸性时，对抛光过程中的化学去除过程没有积极作用；ph呈酸性时还会在抛光过程中过度腐蚀表面并破坏抛光液成分，极大地影响抛光效果；ph呈碱性时，能够对磨料对表面的去除过程起积极作用。
8、本专利技术进一步设置为：所述的步骤1具体为，进行表面砂眼和麻点的去除加工，过程中使用的抛光液，使用ph值为9-11，平均粒径为3.0微米的氧化铝抛光液，抛光液比重为1.1。
9、通过采用上述技术方案，ph呈中性或酸性时，对抛光过程中的化学去除过程没有积极作用；ph呈酸性时还会在抛光过程中过度腐蚀表面并破坏抛光液成分，极大地影响抛光效果；ph呈碱性时，能够加速磨料对表面的去除作用。
10、本专利技术进一步设置为：所述的步骤2具体为，进行面型修整和抛光痕迹修整，过程中使用的抛光液，使用ph值为9-11，平均粒径为1.0-3.0微米的氧化铝抛光液，抛光液比重为1.05。
11、本专利技术进一步设置为：所述的步骤2具体为，进行面型修整和抛光痕迹修整，过程中使用的氧化铝磨料平均粒径为1.0-1.5微米。
12、本专利技术进一步设置为：所述的步骤3具体为，进行最终光洁度修整，过程中使用的抛光液，使用ph值为9-11，平均粒径为1.0微米的氧化铝抛光液，抛光液比重为1.01。
13、本专利技术进一步设置为：所述的步骤1具体为，进行表面砂眼和麻点的去除加工，过程中使用的抛光垫材质为聚氨酯，型号为美国环球公司生产的lp66-1.27。
14、本专利技术进一步设置为：所述的步骤2具体为，进行面型修整和抛光痕迹修整，过程中使用的抛光垫材质为64#光学沥青。
15、本专利技术进一步设置为：所述的步骤3具体为，进行最终光洁度修整，过程中使用的抛光垫材质为64#光学沥青。
16、本专利技术进一步设置为：对直径25mm的303砂面进行抛光加工，全部步骤结束后，总共加工用时为4-10小时。
17、本专利技术进一步设置为：最终光洁度修整过程结束后，使表面粗糙度ra优于1.5nm。
18、本专利技术进一步设置为：最终光洁度修整过程结束后，表面粗糙度ra普遍为0.5nm-1.0nm。
19、与现有技术相比，本方案的有益效果：本专利技术提出的分段式抛光工艺中，先以去除率较高的工艺参数进行抛光加工以快速去除砂眼和麻点等表面缺陷，再用去除率和表面修整效果均适中的工艺参数在优化表面粗糙度的同时修整面型，最后用表面修整效果最佳的工艺参数精修面型误差并获得光学精度的表面质量。
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1.一种多晶态高温合金材料的抛光工艺方法，其特征是，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的一种多晶态高温合金材料的抛光工艺方法，其特征是：进行加工过程中，使用的PH值调节剂为碳酸钠，使用的溶剂为去离子水。
3.如权利要求1所述的一种多晶态高温合金材料的抛光工艺方法，其特征是：所述的步骤1中，进行表面砂眼和麻点的去除加工时使用PH值为9-11，平均粒径为3.0微米的氧化铝抛光液，抛光液比重为1.1。
4.如权利要求1所述的一种多晶态高温合金材料的抛光工艺方法，其特征是：所述的步骤2中，进行面型修整和抛光痕迹修整时使用PH值为9-11，平均粒径为1.0微米的氧化铝抛光液，抛光液比重为1.05。
5.如权利要求1所述的一种多晶态高温合金材料的抛光工艺方法，其特征是：所述的步骤3中，进行最终光洁度修整时使用PH值为9-11，平均粒径为1.0微米的氧化铝抛光液，抛光液比重为1.01。
6.如权利要求1所述的一种多晶态高温合金材料的抛光工艺方法，其特征是：所述的步骤1中，进行表面砂眼和麻点的去除加工时，使用的抛光垫材质为聚氨酯，型号
7.如权利要求1所述的一种多晶态高温合金材料的抛光工艺方法，其特征是：所述的步骤2及步骤3中，进行面型修整和抛光痕迹修整，以及最终光洁度修整时，使用的抛光垫材质为64#光学沥青。
...【技术特征摘要】
1.一种多晶态高温合金材料的抛光工艺方法，其特征是，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的一种多晶态高温合金材料的抛光工艺方法，其特征是：进行加工过程中，使用的ph值调节剂为碳酸钠，使用的溶剂为去离子水。
3.如权利要求1所述的一种多晶态高温合金材料的抛光工艺方法，其特征是：所述的步骤1中，进行表面砂眼和麻点的去除加工时使用ph值为9-11，平均粒径为3.0微米的氧化铝抛光液，抛光液比重为1.1。
4.如权利要求1所述的一种多晶态高温合金材料的抛光工艺方法，其特征是：所述的步骤2中，进行面型修整和抛光痕迹修整时使用ph值为9-11，平均粒径为1.0微米的氧化铝抛光液，抛光...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘润华，王东方，袁波，赵鹏玮，夏项团，
申请(专利权)人：上海济物光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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