一种杠杆级联式纳米量级位移产生装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术专利公开了一种杠杆级联式纳米量级位移产生装置，具体涉及精密测距装置的技术领域。该装置包括步进电机、第一固定底座和第二固定底座，步进电机安装在第一固定底座上，步进电机上连接有螺纹杆，螺纹杆上螺纹连接有与第一固定底座滑动连接的第一滑块，第一滑块上插接有第一刚性圆锥顶尖，第一刚性圆锥顶尖的运动轨迹上设有转动点在第一固定底座外的第一杠杆，第一杠杆的另一侧设有第二刚性圆锥顶尖，第二刚性圆锥顶尖上抵触有转动点在第二固定底座外的第二杠杆，第二杠杆的另一侧设有第三刚性圆锥顶尖，第二固定底座上滑动连接有待测运动滑块。本实用新型专利技术技术方案解决了普通步进电机无法实现纳米量级的问题，可用于产生纳米量级的位移。产生纳米量级的位移。产生纳米量级的位移。

【技术实现步骤摘要】
一种杠杆级联式纳米量级位移产生装置


[0001]本技术涉及精密测距装置的
，特别涉及一种杠杆级联式纳米量级位移产生装置。

技术介绍

[0002]空间和时间一直存在于人类社会活动的方方面面，从人体米量级的身高尺度，到毫米分辨率的普通直尺长度，到微米量级的常规光学显微镜，到纳米量级的扫描隧道显微镜等，一次又一次开拓人类对微观世界的认知，促进人类社会文明由低向高的发展。
[0003]步进电机依靠气隙磁导的变化来产生电磁转矩，将电脉冲信号转换成相应角位移或线位移的电动机技术。每输入一个脉冲信号，转子就转动一个角度或前进一步，其输出的角位移或线位移与输入的脉冲数成正比，转速与脉冲频率成正比。基于此原理，将脉冲信号进行细分处理，进一步提高精细步进电机空间分辨率，已经成为高精密步进电机技术的核心和发展趋势。目前普通的步进电机，结合丝杆滑块技术，已经可以实现微米量级的空间分辨率。但对于纳米量级的空间分辨率，通用的步进电机难以实现。
[0004]对于这一问题，目前一般采用光杠杆技术或者压电陶瓷技术得以解决。前者使用更加精细的光波长，如百纳米本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种杠杆级联式纳米量级位移产生装置，其特征在于：包括步进电机、第一固定底座和第二固定底座，所述步进电机安装在第一固定底座上，所述步进电机上连接有螺纹杆，所述螺纹杆上螺纹连接有与第一固定底座滑动连接的第一滑块，所述第一滑块上插接有第一刚性圆锥顶尖，所述第一刚性圆锥顶尖的运动轨迹上设有转动点在第一固定底座外的第一杠杆，所述第一杠杆的另一侧设有第二刚性圆锥顶尖，所述第二刚性圆锥顶尖上抵触有转动点在第二固定底座外的第二杠杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄敬国，李洋，张娟，高艳卿，李高芳，周炜，江林，姚娘娟，赵守仁，马建华，黄志明，
申请(专利权)人：上海济物光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：