【技术实现步骤摘要】
本申请属于硅棒加工，具体涉及一种衬板以及晶棒固定工装。
技术介绍
1、硅片通常采用切片机对硅棒进行切片形成，因此，切片质量极大的影响了硅片的质量。在具体的应用中，在对硅棒进行切片时，通常需要借助衬板，衬板的一侧和晶托相粘接，另一侧和待切片的硅棒粘接，然后再利用切割线将硅棒切成硅片，切割完毕后再对硅片进行脱胶清洁，并将硅片与衬板相分离。
2、在上述切割过程的线锯出刀阶段，切割线会同时切割硅棒及衬板，但是现有的衬板一般采用树脂板，树脂板和硅棒的材质差异会导致切割时切割线的线弓变化较大，切割线的出刀瞬间回弹力较大，很容易损坏硅片与衬板连接的棱面，降低了硅片生产的良品率。
技术实现思路
1、本申请旨在提供一种衬板以及晶棒固定工装，以解决现有的硅片切割过程中，切割线容易损坏硅片的问题。
2、为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：
3、第一方面，本申请公开了一种衬板，所述衬板包括：
4、衬板本体，所述衬板本体包括背离设置的第一侧和第二侧，所述第一侧用于与硅棒连接，所述第二侧用于与晶托连接，所述第一侧设置有凹槽；
5、以及硅板，所述硅板的形状与所述凹槽的形状适配，所述硅板嵌设于所述凹槽内，且所述硅板的外表面与所述衬板本体第一侧的外表面平齐。
6、可选地，所述衬板本体的长度方向为第一方向，所述第一方向与所述硅棒的轴向平行，所述衬板本体的宽度方向为第二方向，所述第二方向与所述第一方向垂直；
7、所述凹槽沿所述第一
8、可选地，所述凹槽包括第一凹槽和至少两个第二凹槽；其中，
9、所述第一凹槽设置于所述衬板本体沿所述第二方向的中间区域，至少两个所述第二凹槽设置于所述第一凹槽沿所述第二方向的两侧；
10、所述硅板包括第一硅板和至少两个第二硅板，所述第一硅板嵌设于所述第一凹槽内，一个所述第二硅板嵌设于一个所述第二凹槽内。
11、可选地，至少两个所述第二凹槽沿所述第二方向对称设置在所述第一凹槽的两侧。
12、可选地，所述第一凹槽沿所述第二方向的宽度为第一宽度，所述第二凹槽沿所述第二方向的宽度为第二宽度，所述第一宽度大于所述第二宽度。
13、可选地，所述第一宽度为30－50毫米，所述第二宽度小于或者等于5毫米。
14、可选地，所述凹槽的深度为2－5毫米。
15、可选地，所述硅板粘接于所述凹槽。
16、可选地，所述衬板本体包括塑料本体和树脂本体中的其中一种。
17、第二方面，本申请还公开了一种晶棒固定工装，所述晶棒硅锭工装包括：晶托以及上述任一项所述的衬板，所述衬板连接于所述晶托。
18、本申请实施例中，所述衬板本体可以在与硅棒连接的第一侧设置有凹槽，所述凹槽内嵌设有硅板，且所述硅板的外表面与所述衬板本体第一侧的外表面平齐。在所述衬板连接在所述硅棒与所述晶托之间的情况下，所述硅板相应可以与所述硅棒连接。在对所述硅棒进行切片操作的过程中，在切割线的出刀阶段切割线同时切割所述硅棒和所述衬板时，由于所述硅板与所述硅棒的材料相同，切割线的出刀线弓较小，切割线出刀瞬间的回弹力较小。这样，就可以避免切割线振动造成的硅片破损，提高硅片生产的良品率。
19、本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
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1.一种衬板，其特征在于，所述衬板包括：
2.根据权利要求1所述的衬板，其特征在于，所述衬板本体的长度方向为第一方向，所述第一方向与所述硅棒的轴向平行，所述衬板本体的宽度方向为第二方向，所述第二方向与所述第一方向垂直；
3.根据权利要求2所述的衬板，其特征在于，所述凹槽包括第一凹槽和至少两个第二凹槽；其中，
4.根据权利要求3所述的衬板，其特征在于，至少两个所述第二凹槽沿所述第二方向对称设置在所述第一凹槽的两侧。
5.根据权利要求3所述的衬板，其特征在于，所述第一凹槽沿所述第二方向的宽度为第一宽度，所述第二凹槽沿所述第二方向的宽度为第二宽度，所述第一宽度大于所述第二宽度。
6.根据权利要求5所述的衬板，其特征在于，所述第一宽度为30－50毫米，所述第二宽度小于或者等于5毫米。
7.根据权利要求1所述的衬板，其特征在于，所述凹槽的深度为2－5毫米。
8.根据权利要求1所述的衬板，其特征在于，所述硅板粘接于所述凹槽。
9.根据权利要求1至8任一项所述的衬板，其特征在于，所述衬板本体包括塑料
10.一种晶棒固定工装，其特征在于，所述晶棒固定工装包括：晶托以及权利要求1至9任一项所述的衬板，所述衬板连接于所述晶托。
...【技术特征摘要】
1.一种衬板，其特征在于，所述衬板包括：
2.根据权利要求1所述的衬板，其特征在于，所述衬板本体的长度方向为第一方向，所述第一方向与所述硅棒的轴向平行，所述衬板本体的宽度方向为第二方向，所述第二方向与所述第一方向垂直；
3.根据权利要求2所述的衬板，其特征在于，所述凹槽包括第一凹槽和至少两个第二凹槽；其中，
4.根据权利要求3所述的衬板，其特征在于，至少两个所述第二凹槽沿所述第二方向对称设置在所述第一凹槽的两侧。
5.根据权利要求3所述的衬板，其特征在于，所述第一凹槽沿所述第二方向的宽度为第一宽度，所述第二凹槽沿所述第二方向的...
【专利技术属性】
技术研发人员：常晓东，张峰，谢丹，姚嘉雄，
申请(专利权)人：隆基乐叶光伏科技西咸新区有限公司，
类型：新型
国别省市：
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