【技术实现步骤摘要】
本技术涉及清洗装置的，特别涉及一种腔体式等离子清洗机。
技术介绍
1、等离子清洗机是一种全新的清洗技术，利用等离子体达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。
2、腔体式等离子清洗机的核心是真空腔体，其中，真空腔体内部的电极板与电源连接是否稳定可靠是能否放电生成稳定等离子体的关键。现有设备电极板与电源连接存在接触面积小，能量损失大，电极板不易拆卸的问题。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供了一种放电稳定、能够降低能量损失、提高清洗效果和便于拆卸电极板的腔体式等离子清洗机。
2、本技术所采用的技术方案是：本技术包括真空室和电源，所述真空室中设有真空腔体，所述真空腔体中设置有正极柱、负极柱、多个正电极板以及多个负电极板，多个所述正电极板均与所述正极柱连接，多个所述负电极板均与所述负极柱连接，所述电源连接有正电极和负电极，所述正极柱上设置有第一电极固定块，所述第一电极固定块上设置有第一安装圆孔，所述正电极连接在所述第一安装圆孔中，所述负极柱上设置有第二电极固定块，所述第二电极固定块上设置有第二安装圆孔，所述负电极连接在所述第二安装圆孔中。
4、进一步，所述安装弹片的宽度大于30mm。
5、进一步，所述真空腔体的两侧均设置有支撑板，两个所述支撑板上均自下而上设置有多个滑槽，所述正电极板和所述负电极板的两端均设置有绝缘条，且两端滑动配合在所述滑槽上。
6、进一步，所述正极柱和所述负极柱均包括极柱铜板和绝缘外壳，所述极柱铜板固定在所述绝缘外壳中，所述绝缘外壳通过多个支撑柱安装在所述真空腔体的内壁。
7、进一步，所述的腔体式等离子清洗机还包括真空泵和真空管道，所述真空室上设有与所述真空腔体连通的抽气口，所述真空管道的一端与所述真空泵连接，所述真空管道的另一端通过阀门与所述抽气口连接。
8、进一步，所述电源为高频电源。
9、本技术的有益效果是：
10、相对于现有技术的不足，在本技术中，通过改善电源与电极板的连接方式使放电状态更稳定，降低能量损失，从而增加等离子清洗稳定性提高清洗效果；同时，电极板方便拆卸，降低维护成本，因此，本技术具有放电稳定、能够降低能量损失、提高清洗效果和便于拆卸电极板的优点。
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1.一种腔体式等离子清洗机，其特征在于：其包括真空室(1)和电源(2)，所述真空室(1)中设有真空腔体(3)，所述真空腔体(3)中设置有正极柱(5)、负极柱(6)、多个正电极板(7)以及多个负电极板(8)，多个所述正电极板(7)均与所述正极柱(5)连接，多个所述负电极板(8)均与所述负极柱(6)连接，所述电源(2)连接有正电极(9)和负电极，所述正极柱(5)上设置有第一电极固定块(11)，所述第一电极固定块(11)上设置有第一安装圆孔(12)，所述正电极(9)连接在所述第一安装圆孔(12)中，所述负极柱(6)上设置有第二电极固定块，所述第二电极固定块上设置有第二安装圆孔，所述负电极连接在所述第二安装圆孔中。
2.根据权利要求1所述的一种腔体式等离子清洗机，其特征在于：所述正电极板(7)和所述负电极板(8)上均设置有插头(16)，所述正极柱(5)和所述负极柱(6)上均设置有多个插槽(17)，所述插槽(17)中设置有与所述插头(16)配合的安装弹片(14)，所述安装弹片(14)与所述插头(16)为面接触。
3.根据权利要求2所述的一种腔体式等离子清洗机，其特征
4.根据权利要求1所述的一种腔体式等离子清洗机，其特征在于：所述真空腔体(3)的两侧均设置有支撑板(18)，两个所述支撑板(18)上均自下而上设置有多个滑槽(19)，所述正电极板(7)和所述负电极板(8)的两端均设置有绝缘条(20)，且两端滑动配合在所述滑槽(19)上。
5.根据权利要求1－4任一项所述的一种腔体式等离子清洗机，其特征在于：所述正极柱(5)和所述负极柱(6)均包括极柱铜板(21)和绝缘外壳(22)，所述极柱铜板(21)固定在所述绝缘外壳(22)中，所述绝缘外壳(22)通过多个支撑柱(23)安装在所述真空腔体(3)的内壁。
6.根据权利要求5所述的一种腔体式等离子清洗机，其特征在于：所述的腔体式等离子清洗机还包括真空泵(25)和真空管道(26)，所述真空室(1)上设有与所述真空腔体(3)连通的抽气口(27)，所述真空管道(26)的一端与所述真空泵(25)连接，所述真空管道(26)的另一端通过阀门与所述抽气口(27)连接。
7.根据权利要求1所述的一种腔体式等离子清洗机，其特征在于：所述电源(2)为高频电源。
...【技术特征摘要】
1.一种腔体式等离子清洗机，其特征在于：其包括真空室(1)和电源(2)，所述真空室(1)中设有真空腔体(3)，所述真空腔体(3)中设置有正极柱(5)、负极柱(6)、多个正电极板(7)以及多个负电极板(8)，多个所述正电极板(7)均与所述正极柱(5)连接，多个所述负电极板(8)均与所述负极柱(6)连接，所述电源(2)连接有正电极(9)和负电极，所述正极柱(5)上设置有第一电极固定块(11)，所述第一电极固定块(11)上设置有第一安装圆孔(12)，所述正电极(9)连接在所述第一安装圆孔(12)中，所述负极柱(6)上设置有第二电极固定块，所述第二电极固定块上设置有第二安装圆孔，所述负电极连接在所述第二安装圆孔中。
2.根据权利要求1所述的一种腔体式等离子清洗机，其特征在于：所述正电极板(7)和所述负电极板(8)上均设置有插头(16)，所述正极柱(5)和所述负极柱(6)上均设置有多个插槽(17)，所述插槽(17)中设置有与所述插头(16)配合的安装弹片(14)，所述安装弹片(14)与所述插头(16)为面接触。
3.根据权利要求2所述的一种腔体式等离子清洗机，其特征在于：所述安装弹片...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨长州，李耀勇，程培坚，王西照，
申请(专利权)人：珠海市华亚智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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