【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及等离子体设备，具体而言，涉及一种电极板及其设计加工方法、加工设备。
技术介绍
1、电极板应用于等离子体装置中，用于沉积或刻蚀半导体材料，其上的通气孔质量直接影响所通过气体的均匀性。上电极板上的多个通气孔通常为在板体上采用刀具加工而成，在通气孔加工过程中，刀具的表面和板体内部的硬质点颗粒不断产生摩擦，刀具切削面出现沟痕，从而导致刀具的磨损。刀具磨损是刀具与被切削材料之间的摩擦而导致的刀具材料体积减少的一种现象。刀具磨损会导致钻孔时通气孔的孔径逐渐变小，即刀具磨损会造成通孔加工后其孔径略有差异，即使孔径尺寸均在公差范围内，这种差异也会降低等离子体气体的均匀性，进而影响后续工艺的进行。
2、当前针对刀具磨损带来孔径差异问题，有通过数控系统进行刀具磨损补偿调整，但因刀具在不同寿命阶段具有不同的磨损量，通过数控系统进行调整效果并不理想。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种电极板及其设计加工方法、加工设备，能够提高通气孔孔径的均匀性，从而提高等离子体气体的均匀性。
2、本专利技术一方面提供了一种电极板的设计加工方法，包括：提供板体并在所述板体上确定多个通气孔的预设位置，多个预设位置呈环形图案设置在板体上，环形图案有m个，m个环形图案同心套设；设计加工轨迹:将所述板体表面划分为n个扇形区，每个扇形区以环形图案的中心为中心向外扩散，m个环形图案在每个扇形区内形成m个弧形图案，每个弧形图案上包括至少一个预设位置，将多个弧形图案所在的位置按照对数螺旋线
3、作为一种可实施的方式，，其中，k为系数且取值为正整数，按照所述加工轨迹依次加工所述预设位置时，还包括：两条中心对称的所述加工轨迹设为一个时序组，交替加工两条加工轨迹上的预设位置以完成时序组的加工。
4、作为一种可实施的方式，所述时序组中，两条加工轨迹上预设位置的加工顺序沿所述对数螺旋线的方向相同；均为由中心向外部的顺序加工，或由外部向中心的顺序加工。
5、作为一种可实施的方式，相邻两个所述时序组上所述预设位置的加工顺序沿所述对数螺旋线的方向相反；即当上一时序组以由中心向外部沿着加工轨迹钻孔时，则接下来要加工的时序组沿着加工轨迹由外部向中心钻孔，两者的加工顺序相反。
6、作为一种可实施的方式，按照所述加工轨迹依次加工所述预设位置形成通气孔时，电极板的设计加工方法还包括：实时检测通气孔的参数，其中，被检测的通气孔与正在加工的预设位置具有预设间隔；判断所述通气孔的参数是否达到报警阈值；当达到所述报警阈值时报警。
7、作为一种可实施的方式，所述预设间隔为沿所述加工轨迹延迟2-5个通气孔的距离。
8、作为一种可实施的方式，所述通气孔参数包括通气孔的孔径，和/或，位置度，和/或，同轴度。
9、本专利技术的实施例另一方面提供了一种电极板，采用上述电极板的设计加工方法加工而成，包括板体以及设置于所述板体上的呈环形图案布设的多个通气孔。
10、本专利技术的实施例的再一方面，提供了一种加工设备，包括工作台面、钻头组件和检测组件，所述工作台面用于固定板体，所述钻头组件按照上述电极板的设计加工方法在所述板体上加工通气孔，所述检测组件位于所述工作台面的一侧，用于检测钻头组件加工完成的通气孔的尺寸参数。
11、作为一种优选的可实施方式，工作台面竖直设置，有利于切削液、切屑排除，提高加工精度及检测效果。
12、本专利技术的有益效果包括：
13、本专利技术提供的电极板的设计加工方法，通过设置弧形图案、沿对数螺旋线跨越弧形图案形成多条加工轨迹，并设计了加工轨迹上的加工顺序，使电极板上不同区域内通气孔总的通气面积趋于接近或相同，提高了等离子体气体在整个面域的均匀性。
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1.一种电极板的设计加工方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电极板的设计加工方法，其特征在于，，其中，k为系数且取值为正整数，按照所述加工轨迹依次加工所述预设位置时，还包括：
3.根据权利要求2所述的电极板的设计加工方法，其特征在于，所述时序组中，两条所述加工轨迹上预设位置的加工顺序沿所述对数螺旋线的方向相同。
4.根据权利要求3所述的电极板的设计加工方法，其特征在于，相邻两个所述时序组上所述预设位置的加工顺序沿所述对数螺旋线的方向相反。
5.根据权利要求1所述的电极板的设计加工方法，其特征在于，按照所述加工轨迹依次加工所述预设位置形成通气孔时，还包括：
6.根据权利要求5所述的电极板的设计加工方法，其特征在于，所述预设间隔为沿所述加工轨迹延迟2-5个通气孔的距离。
7.根据权利要求5所述的电极板的设计加工方法，其特征在于，所述通气孔参数包括通气孔的孔径，和/或，位置度，和/或，同轴度。
8.一种电极板，其特征在于，采用权利要求1-7任一项所述的电极板的设计加工方法加工而成，包括板体
9.一种加工设备，其特征在于，包括工作台面、钻头组件和检测组件，所述工作台面用于固定板体，所述钻头组件按照如权利要求1-7任一项所述的电极板的设计加工方法在所述板体上加工通气孔，所述检测组件位于所述工作台面的一侧，用于检测所述钻头组件加工完成的通气孔的尺寸参数。
10.根据权利要求9所述的加工设备，其特征在于，所述工作台面竖直设置。
...【技术特征摘要】
1.一种电极板的设计加工方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电极板的设计加工方法，其特征在于，，其中，k为系数且取值为正整数，按照所述加工轨迹依次加工所述预设位置时，还包括：
3.根据权利要求2所述的电极板的设计加工方法，其特征在于，所述时序组中，两条所述加工轨迹上预设位置的加工顺序沿所述对数螺旋线的方向相同。
4.根据权利要求3所述的电极板的设计加工方法，其特征在于，相邻两个所述时序组上所述预设位置的加工顺序沿所述对数螺旋线的方向相反。
5.根据权利要求1所述的电极板的设计加工方法，其特征在于，按照所述加工轨迹依次加工所述预设位置形成通气孔时，还包括：
6.根据权利要求5所述的电极板的设计加工方法，其特征在于，所述预设...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：新美光苏州半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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