一种循环槽内的免驱动旋转混合喷头制造技术

本申请提供一种循环槽内的免驱动旋转混合喷头，涉及硅部件加工技术领域，一种循环槽内的免驱动旋转混合喷头包括依次同轴线设置的射流组件、第一转动轴和第二转动轴，第一转动轴和第二转动轴之间形成容置空间，射流组件上设置有多个导流管，以使液体经容置空间从导流管流出；多个导流管围绕轴线倾斜设置，倾斜方向相同，以使从导流管流出的液体对射流组件产生反作用力，促使第一转动轴和第二转动轴相对转动。本申请提供的免驱动旋转混合喷头无需提供额外的动力驱动，仅依靠流入喷头的液体在射流组件的导流管产生的射流便能快速转动，驱动射流组件旋转，进而无需在循环槽内另外增加驱动装置，即可使得液体在容置空间内混合均匀。匀。匀。

【技术实现步骤摘要】
一种循环槽内的免驱动旋转混合喷头


[0001]本申请涉及硅部件加工
，具体而言，涉及一种循环槽内的免驱动旋转混合喷头。

技术介绍

[0002]刻蚀酸槽是硅部件加工中常见的循环槽，硅部件表面的液体刻蚀是硅部件加工制作的关键步骤之一，对于硅部件达到标准的表面光洁度至关重要，酸槽是硅部件表面刻蚀的主要设备，在酸槽内的刻蚀过程中保证液体的循环和均匀混合更是其中的关键工艺，现有的循环槽设备中只是设置简单的圆管进出口来实现液体的循环。现有的技术存在以下缺点：
[0003]液体在酸槽内的循环效果较差，酸槽内部分区域的液体流动性较差，导致无法有效参与液体的循环。
[0004]液体在酸槽内的混合效果较差，简单的圆管进口只能有效带动部分区域的液体对流混合，剩余区域的液体对流效果较差，无法有效保证酸槽内液体的混合均匀。

技术实现思路

[0005]本申请的目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种循环槽内的免驱动旋转混合喷头，通过设置射流组件的结构，无需提供额外的动力驱动，仅依靠流入喷头的液体在喷头出口产生的射流便能快速转动。
[0006]为实现上述部分或全部目的，本申请实施例采用的技术方案如下：
[0007]本申请实施例提供一种循环槽内的免驱动旋转混合喷头，包括依次同轴线设置的射流组件、第一转动轴和第二转动轴，第一转动轴和第二转动轴之间形成流体贯通的容置空间，射流组件上设置有多个导流管，以使液体经容置空间从导流管流出；多个导流管围绕轴线倾斜设置，倾斜方向相同，以使从导流管流出的液体对射流组件产生反作用力，使第一转动轴和第二转动轴相对转动。液体经过容置空间，从倾斜的导流管流出，依靠导流管射流的反作用力在射流组件形成的力矩，驱动射流组件和第一转动轴相对于第二转动轴旋转，进而无需在循环槽内另外增加驱动装置，达到免外界驱动通过自身结构旋转的效果。
[0008]可选地，第一转动轴设置有第一转动板，第二转动轴设置有和第一转动板配合的第二转动板；第一转动板和第二转动板之间设置有多个滚珠，以使第一转动板和第二转动板可相对旋转。使用滚珠使得第一转动板和第二转动板之间转动顺滑，增加使用寿命，减少磨损。
[0009]可选地，第一转动板和第二转动板的外周套设有闭合轴套，闭合轴套和第一转动板的连接位置、闭合轴套和第二转动板的连接位置分别设置有多个滚珠，第一转动板和第二转动板通过闭合轴套固定相对位置，并且相对闭合轴套可旋转。
[0010]可选地，闭合轴套包括设置在第一转动板一侧的上闭合轴套，和设置在第二转动板一侧的下闭合轴套，上闭合轴套和下闭合轴套通过螺钉固定。上闭合轴套和下闭合轴套
为一体，通过螺钉固定，拆卸检修方便。
[0011]可选地，上闭合轴套和第一转动板的连接位置、下闭合轴套和第二转动板的连接位置分别设置有第二密封圈，上闭合轴套和下闭合轴套的连接位置设置有第一密封圈。第二密封圈和第一密封圈使得容置空间密封。
[0012]可选地，射流组件套设在第一传动轴的端部；述流管包括第一导流管，第一导流管从射流组件的端面伸出设置。
[0013]可选地，导流管包括第二导流管，第二导流管从射流组件的周壁伸出设置。第一导流管和第二导流管共同作用为射流组件提供力矩，推动射流组件旋转。
[0014]可选地，多个导流管相对于轴线的倾斜角度相同。
[0015]可选地，免驱动旋转混合喷头的材质为耐化学腐蚀材质；滚珠的材质为耐磨、耐化学腐蚀材质。减少磨损和通过腐蚀性溶液时的损失，延长设备的使用寿命。
[0016]可选地，第一转动轴、第二转动轴、闭合轴套和射流组件的材质为聚丙烯，第一密封圈、第二密封圈的材质为橡胶，滚珠的材质为四氟乙烯。
[0017]本申请的有益效果包括：
[0018]本申请提供了一种循环槽内的免驱动旋转混合喷头，通过围绕轴线沿相同方向倾斜设置多个导流管，利用导流管流出的液体对射流组件产生反作用力，使得第一转动轴和第二转动轴相对转动，促进循环过程中的液体混合及循环效果。本申请提供的免驱动旋转混合喷头无需提供额外的动力驱动，仅依靠流入喷头的液体在射流组件的导流管产生的射流便能快速转动，多个导流管有着相同的倾斜方向，免驱动旋转混合喷头采用倾斜的出口，依靠出口射流的反作用力在射流组件形成的力矩，驱动射流组件旋转，进而无需在刻蚀的酸槽内另外增加驱动装置，降低酸槽的改动难度，使得液体在容置空间内混合均匀。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0020]图1为本申请实施例提供的一种循环槽内的免驱动旋转混合喷头的结构示意图一；
[0021]图2为本申请实施例提供的一种循环槽内的免驱动旋转混合喷头的结构示意图二；
[0022]图3为本申请实施例提供的一种循环槽内的免驱动旋转混合喷头的结构示意图三；
[0023]图4为本申请实施例提供的一种循环槽内的免驱动旋转混合喷头的结构示意图四。
[0024]图标：10
‑
免驱动旋转混合喷头；100
‑
射流组件；110
‑
端面；111
‑
第一导流管；120
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周壁；121
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第二导流管；200
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第一转动轴；210
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第一转动板；211
‑
沟槽；220
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容置空间；250
‑
第二转动轴；251
‑
第二转动板；300
‑
滚珠；400
‑
第一密封圈；500
‑
第二密封圈；600
‑
上闭合轴套；610
‑
下闭合轴套；612
‑
螺钉孔。
具体实施方式
[0025]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0026]因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例中的各个特征可以相互结合，结合后的实施例依然在本申请的保护范围内。
[0027]在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种循环槽内的免驱动旋转混合喷头(10)，其特征在于，包括依次同轴线设置的射流组件(100)、第一转动轴(200)和第二转动轴(250)，所述第一转动轴(200)和所述第二转动轴(250)之间形成流体贯通的容置空间(220)，所述射流组件(100)上设置有多个导流管，以使液体经所述容置空间(220)从所述导流管流出；多个所述导流管围绕所述轴线倾斜设置，倾斜方向相同，以使从所述导流管流出的液体对所述射流组件(100)产生反作用力，使所述第一转动轴(200)和所述第二转动轴(250)相对转动。2.根据权利要求1所述的循环槽内的免驱动旋转混合喷头(10)，其特征在于，所述第一转动轴(200)设置有第一转动板(210)，所述第二转动轴(250)设置有和所述第一转动板(210)配合的第二转动板(251)；所述第一转动板(210)和所述第二转动板(251)之间设置有多个滚珠(300)，以使所述第一转动板(210)和所述第二转动板(251)可相对旋转。3.根据权利要求2所述的循环槽内的免驱动旋转混合喷头(10)，其特征在于，所述第一转动板(210)和所述第二转动板(251)的外周套设有闭合轴套，所述闭合轴套和所述第一转动板(210)的连接位置、所述闭合轴套和所述第二转动板(251)的连接位置分别设置有多个所述滚珠(300)。4.根据权利要求3所述的循环槽内的免驱动旋转混合喷头(10)，其特征在于，所述免驱动旋转混合喷头(10)的材质为耐化学腐蚀材质；所述滚珠(300)的材质为耐磨、耐化学腐蚀材质。5.根据权利要求3所述的循...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：新美光苏州半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：