【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于工艺气体的工艺气体处理装置，该工艺气体用于处置工艺仪器中的工艺产物，该工艺气体处理装置具有：工艺气体入口；和与工艺仪器以流体的方式连接的工艺气体出口，其中，工艺气体在从工艺气体入口延伸到工艺气体出口的处理路径上流动；沿着工艺气体的流动方向构造为装置组件的工艺气体除湿装置；和布置在工艺气体除湿装置下游的、构造为装置组件的工艺气体调温装置，其中，工艺气体除湿装置具备除湿装置入口和除湿装置出口，并且工艺气体调温装置具备调温装置入口和调温装置出口，并且其中，工艺气体调温装置具有具备调温单元入口和调温单元出口的、构造为装置组件的用于工艺气体的调温单元；以及控制装置。此外本专利技术涉及一种用于在干燥阶段和冷却阶段期间处理用于处置工艺仪器中的工艺产物的工艺气体的方法，具有工艺气体处理装置，该工艺气体处理装置具有：工艺气体入口；和与工艺仪器以流体的方式连接的工艺气体出口，其中，工艺气体在从工艺气体入口延伸到工艺气体出口的处理路径上流动；沿着工艺气体的流动方向构造为装置组件的工艺气体除湿装置；和布置在工艺气体除湿装置下游的、构造为装置组件的工艺气体调温装置...
【技术保护点】
1.用于工艺气体(2)的工艺气体处理装置(1)，该工艺气体用于处置工艺仪器(3)中的工艺产物，所述工艺气体处理装置具有：
2.根据权利要求1所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体处理装置(1)具有构造为装置组件(4)的工艺仪器(3)，所述工艺仪器以适宜的方式构造为流化仪器(5)或者涂层仪器(6)。
3.根据权利要求1或2所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体处理装置(1)具有构造为装置组件(4)的工艺气体输送装置(12)。
4.根据权利要求3所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体输送装...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.用于工艺气体(2)的工艺气体处理装置(1)，该工艺气体用于处置工艺仪器(3)中的工艺产物，所述工艺气体处理装置具有：
2.根据权利要求1所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体处理装置(1)具有构造为装置组件(4)的工艺仪器(3)，所述工艺仪器以适宜的方式构造为流化仪器(5)或者涂层仪器(6)。
3.根据权利要求1或2所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体处理装置(1)具有构造为装置组件(4)的工艺气体输送装置(12)。
4.根据权利要求3所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体输送装置布置在工艺仪器(3)上游和/或下游。
5.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体除湿装置(18)具有具备凝结除湿单元入口(24)和凝结除湿单元出口(25)的构造为装置组件(4)的凝结除湿单元(26)、和/或具备吸附除湿单元入口(27)和吸附除湿单元出口(28)的构造为装置组件(4)的吸附除湿单元(29)，其中，以适宜的方式在所述处理路径(13)上所述凝结除湿单元(26)布置在所述吸附除湿单元(29)上游。
6.根据权利要求5所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述吸附除湿单元(29)构造为干燥轮(31)。
7.根据权利要求5或6所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述吸附除湿单元(29)具备具有再生单元入口(32)和再生单元出口(33)的、构造为装置组件(4)的再生单元(34)，其中，由具有再生气体输送装置入口(37)和再生气体输送装置出口(38)的、构造为装置组件(4)的再生气体输送装置(39)在从所述再生单元入口(32)延伸到所述再生单元出口(33)的再生路径(36)上输送再生气体(35)，并且该再生气体沿着所述再生气体(35)的流动方向对具有再生气体加热装置入口(40)和再生气体加热装置出口(41)的、构造为装置组件(4)的再生气体加热装置(42)以及具有再生气体入口(43)和再生气体出口(44)的吸附除湿单元(29)进行穿流。
8.根据权利要求7所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述再生路径(36)构造为闭合回路(48)。
9.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体除湿装置(18)具有具备预加热单元入口(45)和预加热单元出口(46)的构造为装置组件(4)的预加热单元(47)，该预加热单元以适宜的方式布置在所述凝结除湿单元(26)和/或所述吸附除湿单元(29)上游。
10.根据权利要求8和9中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述预加热单元(47)此外也配属于所述再生单元(34)，其中，所述预加热单元(47)在构造为回路(48)的再生路径(36)上布置在所述再生气体加热装置(42)上游和所述再生气体输送装置(39)下游，由此所述工艺气体(2)在对所述预加热单元(47)穿流时被加温，并且所述再生气体(35)在对所述预加热单元(47)穿流时被冷却。
11.根据权利要求7至10中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述再生气体输送装置(39)在再生路径(35)上布置在所述吸附除湿单元(29)下游。
12.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述第一测量装置(66)布置在所述工艺气体调温装置(19)上游。
13.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述第一测量装置(66)此外具有用于测量所述工艺气体(2)的温度的温度传感器(68)。
14.根据权利要求13所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述第一测量装置(66)的相对湿度传感器(65)和温度传感器(68)构造为结构单元。
15.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述调温单元(51)具有具备加热装置入口(52)和加热装置出口(53)的、构造为装置组件(4)的加热装置(54)。
16.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体输送装置(12)布置在所述工艺气体除湿装置(18)下游和所述工艺气体调温装置(19)上游。
17.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体调温单元(19)具有具备冷却单元入口(61)和冷却单元出口(62)的构造为装置组件(4)的用于所述工艺气体(2)的冷却单元(63)、以及具备旁通入口(58)和旁通出口(59)的、与调温单元(51)并联连接的、构造为装置组件(4)的旁通单元(60)，其中，在旁通单元(60)处布置有构造为装置组件(4)的阀门布置结构(64)以用于可选地对所述调温单元(51)或者旁通单元(60)穿流，并且带有具备用于测量所述工艺气体(2)的相对湿度的相对湿度传感器(65)的第一测量装置(66)，其中，所述第一测量装置(66)布置在所述工艺气体除湿装置(18)下游。
18.根据权利要求17所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述冷却单元(63)是所述旁通单元(60)的组成部件。
19.根据权利要求15所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述第二测量装置(70)此外具备用于测量所述工艺气体(2)的温度的温度传感器(71)。
20.根据权利要求17和18所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述第二测量装置(70)...
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