【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于工艺气体的工艺气体处理装置，该工艺气体用于处置工艺仪器中的工艺产物，该工艺气体处理装置具有：工艺气体入口；和与工艺仪器以流体的方式连接的工艺气体出口，其中，工艺气体在从工艺气体入口延伸到工艺气体出口的处理路径上流动；沿着工艺气体的流动方向构造为装置组件的工艺气体除湿装置；和布置在工艺气体除湿装置下游的、构造为装置组件的工艺气体调温装置，其中，工艺气体除湿装置具备除湿装置入口和除湿装置出口，并且工艺气体调温装置具备调温装置入口和调温装置出口，并且其中，工艺气体调温装置具有具备调温单元入口和调温单元出口的、构造为装置组件的用于工艺气体的调温单元；以及控制装置。此外本专利技术涉及一种用于在干燥阶段和冷却阶段期间处理用于处置工艺仪器中的工艺产物的工艺气体的方法，具有工艺气体处理装置，该工艺气体处理装置具有：工艺气体入口；和与工艺仪器以流体的方式连接的工艺气体出口，其中，工艺气体在从工艺气体入口延伸到工艺气体出口的处理路径上流动；沿着工艺气体的流动方向构造为装置组件的工艺气体除湿装置；和布置在工艺气体除湿装置下游的、构造为装置组件的工艺气体调温装置，其中，工艺气体除湿装置具备除湿装置入口和除湿装置出口，并且工艺气体调温装置具备调温装置入口和调温装置出口，并且其中，工艺气体调温装置具有具备调温单元入口和调温单元出口的、构造为装置组件的用于工艺气体的调温单元；以及控制装置。
技术介绍
1、已知工艺气体处理装置，然而该工艺气体处理装置除了高能量消耗之外还具有用于工艺气体的较长的冷却时间。
技术实
1、因此，本专利技术的目的是提供一种工艺气体处理装置和一种用于处理工艺气体的方法，以便使得已知的工艺气体处理装置的缺点最小化，尤其使得用于工艺气体的高能量消耗最小化。
2、该目的在开头所提及的类型的工艺气体处理装置中通过下述方式来实现，即：在工艺气体除湿装置上游布置有具备用于测量工艺气体的相对湿度的相对湿度传感器的第二测量装置。以有利的方式借助于第二测量装置在工艺气体入口处测量工艺气体中的相对湿度，并且将其作为传感器信号传送处控制装置处。由此能够不依赖于另外的装置组件来控制每个单个装置组件。
3、在工艺气体处理装置的就此而言的改进方案中，工艺气体处理装置具有构造为装置组件的工艺仪器，该工艺仪器以适宜的方式构造为流化仪器或者涂层仪器。流化仪器例如构造为涡流-或者发射层仪器。涂层仪器是例如涂布机，尤其是滚筒涂布机。
4、优选工艺气体处理装置具有构造为装置组件的工艺气体输送装置。工艺气体处理装置的这样的设计方案的优点是，工艺气体以能设定的方式由工艺气体输送装置、尤其是风扇、真空泵或诸如此类物在处理路径上进行输送。就此而言，工艺气体输送装置以适宜的方式布置在工艺仪器的上游和/或下游。
5、根据工艺气体处理装置的另一种改进方案，工艺气体除湿装置具有具备凝结除湿单元入口和凝结除湿单元出口的构造为装置组件的凝结除湿单元、和/或具备吸附除湿单元入口和吸附除湿单元出口的构造为装置组件的吸附除湿单元。以有利的方式，凝结除湿单元和吸附除湿单元均适合于对工艺气体除湿，其中，通过在工艺气体除湿装置中使用凝结除湿单元和吸附除湿单元能够实现对工艺气体的经改善的并且能目标精确地设定的除湿。根据有待从工艺气体去除的湿度量来使用两个装置组件或者其组合。
6、以适宜的方式，凝结除湿单元构造为流体冷却的冷凝器，其中，作为流体尤其使用冷却水，其例如来自周围环境的附近水域。构造为冷凝器的凝结除湿单元优选如此确定尺寸，以便在使用冷却水的情况下将工艺气体冷却到近似8℃。由此工艺气体的相对湿度下降，由此干燥该工艺气体。
7、构造为冷凝器的凝结除湿单元对于大部分的用于处理工艺气体的方法而言被足够地确定尺寸。
8、对于工艺气体除湿装置具备凝结除湿单元和吸附除湿单元的情况，以适宜的方式在处理路径上将凝结除湿单元布置吸附除湿单元上游。由此在对凝结除湿单元穿流之后能够通过吸附除湿单元目标精确地设定工艺气体的相对湿度，其中，吸附除湿单元优选构造为干燥轮。
9、尤其吸附除湿单元具备具有再生单元入口和再生单元出口的、构造为装置组件的再生单元，其中，由具有再生气体输送装置入口和再生气体输送装置出口的、构造为装置组件的再生气体输送装置在从再生单元入口延伸到再生单元出口的再生路径上输送再生气体，并且该再生气体沿着再生气体的流动方向对具有再生气体加热装置入口和再生气体加热装置出口的、构造为装置组件的再生气体加热装置、以及具有再生气体入口和再生气体出口的吸附除湿单元进行穿流。以适宜的方式进行吸附除湿单元的暖再生。在暖再生中，针对吸附除湿单元的干燥剂的再生，再生气体被加热到例如160℃或者更高的温度并且被引导通过有待再生的吸附除湿单元。热的再生气体从干燥剂去除由工艺气体吸收的湿气并且优选将其在再生单元出口处以适宜的方式输出到周围环境。就此而言优选再生路径构造为闭合回路。与此对应地这样的闭合回路具有的优点是，能够不依赖于周围环境条件来实现对吸附除湿单元的再生，也就是说例如在没有吸入的周围环境空气的情况下来实现。
10、按照工艺气体处理装置的另一种设计方案，工艺气体除湿装置具有具备预加热单元入口和预加热单元出口的、构造为装置组件的预加热单元，该预加热单元以适宜的方式布置在凝结除湿单元和/或吸附除湿单元上游。预加热单元尤其用作用于凝结除湿单元的“防冻加热装置”。在再生路径构造为闭合回路的情况下，在预加热单元中在吸附除湿单元的再生时吸收的湿气从再生气体凝结出来。
11、特别优选预加热单元此外也配属于再生单元，其中，预加热单元在构造为闭合回路的再生路径上布置在再生气体加热装置上游和再生气体输送装置下游，由此工艺气体在对预加热单元穿流时被加温，并且再生气体在对预加热单元穿流时被冷却。构造为热源的预加热单元的集成方案附加地提高了对工艺气体的干燥的经济性。
12、此外优选再生气体输送装置在再生路径上布置在吸附除湿单元下游。通过再生气体输送装置的这种布置方式产生一种在再生路径上优选的负压。
13、此外优选的是，第一测量装置布置在工艺气体调温装置上游。以有利的方式借助于第一测量装置测量工艺气体的相对湿度并且将其作为传感器信号传送到控制装置处。
14、湿度表示工艺气体中的水蒸气的份额，液态的水(例如雨、露水)不算在内。相对湿度说明了尽可能高的饱和度的份额，其中，100％意味着，在工艺气体中不再能够吸收水蒸气。绝对湿度说明了每立方米工艺气体的水蒸气的质量。温度越高，工艺气体、尤其空气就能够吸收越多的水蒸气。
15、能够在使用近似公式的情况下将相对湿度换算成绝对湿度。为此，存在不同的近似公式，在文献中已知这些近似公式。用于由相对湿度和温度来计算采用单位g/m3的绝对湿度f的“简单的”近似公式
16、
17、在-30℃与35℃的温度范围以及平常的大气压中实现了具有最大0.1％的偏差的精确性，其中，在公式中温度t以摄氏度给出，相对空气本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.用于工艺气体(2)的工艺气体处理装置(1)，该工艺气体用于处置工艺仪器(3)中的工艺产物，所述工艺气体处理装置具有：
2.根据权利要求1所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体处理装置(1)具有构造为装置组件(4)的工艺仪器(3)，所述工艺仪器以适宜的方式构造为流化仪器(5)或者涂层仪器(6)。
3.根据权利要求1或2所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体处理装置(1)具有构造为装置组件(4)的工艺气体输送装置(12)。
4.根据权利要求3所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体输送装置布置在工艺仪器(3)上游和/或下游。
5.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体除湿装置(18)具有具备凝结除湿单元入口(24)和凝结除湿单元出口(25)的构造为装置组件(4)的凝结除湿单元(26)、和/或具备吸附除湿单元入口(27)和吸附除湿单元出口(28)的构造为装置组件(4)的吸附除湿单元(29)，其中，以适宜的方式在所述处理路径(13)上所述凝结除湿单元(
6.根据权利要求5所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述吸附除湿单元(29)构造为干燥轮(31)。
7.根据权利要求5或6所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述吸附除湿单元(29)具备具有再生单元入口(32)和再生单元出口(33)的、构造为装置组件(4)的再生单元(34)，其中，由具有再生气体输送装置入口(37)和再生气体输送装置出口(38)的、构造为装置组件(4)的再生气体输送装置(39)在从所述再生单元入口(32)延伸到所述再生单元出口(33)的再生路径(36)上输送再生气体(35)，并且该再生气体沿着所述再生气体(35)的流动方向对具有再生气体加热装置入口(40)和再生气体加热装置出口(41)的、构造为装置组件(4)的再生气体加热装置(42)以及具有再生气体入口(43)和再生气体出口(44)的吸附除湿单元(29)进行穿流。
8.根据权利要求7所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述再生路径(36)构造为闭合回路(48)。
9.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体除湿装置(18)具有具备预加热单元入口(45)和预加热单元出口(46)的构造为装置组件(4)的预加热单元(47)，该预加热单元以适宜的方式布置在所述凝结除湿单元(26)和/或所述吸附除湿单元(29)上游。
10.根据权利要求8和9中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述预加热单元(47)此外也配属于所述再生单元(34)，其中，所述预加热单元(47)在构造为回路(48)的再生路径(36)上布置在所述再生气体加热装置(42)上游和所述再生气体输送装置(39)下游，由此所述工艺气体(2)在对所述预加热单元(47)穿流时被加温，并且所述再生气体(35)在对所述预加热单元(47)穿流时被冷却。
11.根据权利要求7至10中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述再生气体输送装置(39)在再生路径(35)上布置在所述吸附除湿单元(29)下游。
12.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述第一测量装置(66)布置在所述工艺气体调温装置(19)上游。
13.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述第一测量装置(66)此外具有用于测量所述工艺气体(2)的温度的温度传感器(68)。
14.根据权利要求13所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述第一测量装置(66)的相对湿度传感器(65)和温度传感器(68)构造为结构单元。
15.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述调温单元(51)具有具备加热装置入口(52)和加热装置出口(53)的、构造为装置组件(4)的加热装置(54)。
16.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体输送装置(12)布置在所述工艺气体除湿装置(18)下游和所述工艺气体调温装置(19)上游。
17.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体调温单元(19)具有具备冷却单元入口(61)和冷却单元出口(62)的构造为装置组件(4)的用于所述工艺气体(2)的冷却单元(63)、以及具备旁通入口(58)和旁通出口(59)的、与调温单元(51)并联连接...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.用于工艺气体(2)的工艺气体处理装置(1)，该工艺气体用于处置工艺仪器(3)中的工艺产物，所述工艺气体处理装置具有：
2.根据权利要求1所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体处理装置(1)具有构造为装置组件(4)的工艺仪器(3)，所述工艺仪器以适宜的方式构造为流化仪器(5)或者涂层仪器(6)。
3.根据权利要求1或2所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体处理装置(1)具有构造为装置组件(4)的工艺气体输送装置(12)。
4.根据权利要求3所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体输送装置布置在工艺仪器(3)上游和/或下游。
5.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体除湿装置(18)具有具备凝结除湿单元入口(24)和凝结除湿单元出口(25)的构造为装置组件(4)的凝结除湿单元(26)、和/或具备吸附除湿单元入口(27)和吸附除湿单元出口(28)的构造为装置组件(4)的吸附除湿单元(29)，其中，以适宜的方式在所述处理路径(13)上所述凝结除湿单元(26)布置在所述吸附除湿单元(29)上游。
6.根据权利要求5所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述吸附除湿单元(29)构造为干燥轮(31)。
7.根据权利要求5或6所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述吸附除湿单元(29)具备具有再生单元入口(32)和再生单元出口(33)的、构造为装置组件(4)的再生单元(34)，其中，由具有再生气体输送装置入口(37)和再生气体输送装置出口(38)的、构造为装置组件(4)的再生气体输送装置(39)在从所述再生单元入口(32)延伸到所述再生单元出口(33)的再生路径(36)上输送再生气体(35)，并且该再生气体沿着所述再生气体(35)的流动方向对具有再生气体加热装置入口(40)和再生气体加热装置出口(41)的、构造为装置组件(4)的再生气体加热装置(42)以及具有再生气体入口(43)和再生气体出口(44)的吸附除湿单元(29)进行穿流。
8.根据权利要求7所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述再生路径(36)构造为闭合回路(48)。
9.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体除湿装置(18)具有具备预加热单元入口(45)和预加热单元出口(46)的构造为装置组件(4)的预加热单元(47)，该预加热单元以适宜的方式布置在所述凝结除湿单元(26)和/或所述吸附除湿单元(29)上游。
10.根据权利要求8和9中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述预加热单元(47)此外也配属于所述再生单元(34)，其中，所述预加热单元(47)在构造为回路(48)的再生路径(36)上布置在所述再生气体加热装置(42)上游和所述再生气体输送装置(39)下游，由此所述工艺气体(2)在对所述预加热单元(47)穿流时被加温，并且所述再生气体(35)在对所述预加热单元(47)穿流时被冷却。
11.根据权利要求7至10中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述再生气体输送装置(39)在再生路径(35)上布置在所述吸附除湿单元(29)下游。
12.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述第一测量装置(66)布置在所述工艺气体调温装置(19)上游。
13.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述第一测量装置(66)此外具有用于测量所述工艺气体(2)的温度的温度传感器(68)。
14.根据权利要求13所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述第一测量装置(66)的相对湿度传感器(65)和温度传感器(68)构造为结构单元。
15.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述调温单元(51)具有具备加热装置入口(52)和加热装置出口(53)的、构造为装置组件(4)的加热装置(54)。
16.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体输送装置(12)布置在所述工艺气体除湿装置(18)下游和所述工艺气体调温装置(19)上游。
17.根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述工艺气体调温单元(19)具有具备冷却单元入口(61)和冷却单元出口(62)的构造为装置组件(4)的用于所述工艺气体(2)的冷却单元(63)、以及具备旁通入口(58)和旁通出口(59)的、与调温单元(51)并联连接的、构造为装置组件(4)的旁通单元(60)，其中，在旁通单元(60)处布置有构造为装置组件(4)的阀门布置结构(64)以用于可选地对所述调温单元(51)或者旁通单元(60)穿流，并且带有具备用于测量所述工艺气体(2)的相对湿度的相对湿度传感器(65)的第一测量装置(66)，其中，所述第一测量装置(66)布置在所述工艺气体除湿装置(18)下游。
18.根据权利要求17所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述冷却单元(63)是所述旁通单元(60)的组成部件。
19.根据权利要求15所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述第二测量装置(70)此外具备用于测量所述工艺气体(2)的温度的温度传感器(71)。
20.根据权利要求17和18所述的工艺气体处理装置(1)，其特征在于，所述第二测量装置(70)...
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