废石英坩埚析晶层的去除方法及制备熔融石英粉的方法和熔融石英粉技术

本公开涉及一种废石英坩埚析晶层的去除方法及制备熔融石英粉的方法和熔融石英粉，该去除方法包括如下步骤：将废石英坩埚进行至少一次热震处理，得到热震处理后的废石英坩埚本体和析晶层；所述热震处理包括将废石英坩埚加热到第一温度，再冷却到第二温度；所述第一温度为150～1100℃；所述第二温度为50℃以下；平均冷却速率为100℃/min以上；所述析晶层的剥离比在70％以上。本公开提供的方法能将废石英坩埚内外表面的析晶层与坩埚本体进行分离，析晶层剥离比可达到70％以上。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及石英坩埚的回收提纯，具体地，涉及一种废石英坩埚析晶层的去除方法及制备熔融石英粉的方法和熔融石英粉。

技术介绍

1、单晶用石英坩埚在使用时，石英坩埚内壁与硅液接触，高温下发生如下化学反应：si+sio2＝2sio，硅液中的金属杂质总量为ppb级别，一般在10ppb 以下，石英坩埚中金属杂质总含量为ppm级别，一般在10-50ppm，石英坩埚在使用后本体中杂质含量变化较小，在石英坩埚内壁形成内表面析晶层；石英坩埚外壁与碳碳/石墨埚帮、埚托接触，高温下发生如下化学反应： c+sio2＝co+sio，生成的co和sio气体，在拉晶时，会随着炉内氩气的流动，不断排出。碳碳/石墨埚帮、埚托的金属杂质总量为ppm级别，一般＜ 200ppm，即碳碳/石墨埚帮中的杂质含量稍高于石英坩埚，埚帮或埚托中的金属杂质也会向坩埚外壁中逐渐扩散，外壁也会形成较厚的析晶层，且外表面析晶厚于内表面析晶层。

2、因此，使用后的石英坩埚，内外部析晶层中会富集主要的杂质，其严重影响了废石英坩埚的回收；尤其是在熔融石英粉的制备过程中，由于熔融石英粉要求较高的非晶化比率，而析晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种废石英坩埚析晶层的去除方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的去除方法，其中，所述热震处理的次数为2～4次；所述析晶层的剥离比在90％以上。

3.根据权利要求1所述的去除方法，其中，加热时间为3～10min；所述第一温度为500～1000℃。

4.根据权利要求3所述的去除方法，其中，所述加热包括以5～30℃/min升温速率加热到所述第一温度。

5.根据权利要求3所述的去除方法，其中，加热装置选自高温炉、箱式炉管式炉或气氛炉中的一种。

6.根据权利要求1所述的去除方法，其中，所述平均冷却速率为20...

【技术特征摘要】

1.一种废石英坩埚析晶层的去除方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的去除方法，其中，所述热震处理的次数为2～4次；所述析晶层的剥离比在90％以上。

3.根据权利要求1所述的去除方法，其中，加热时间为3～10min；所述第一温度为500～1000℃。

4.根据权利要求3所述的去除方法，其中，所述加热包括以5～30℃/min升温速率加热到所述第一温度。

5.根据权利要求3所述的去除方法，其中，加热装置选自高温炉、箱式炉管式炉或气氛炉中的一种。

6.根据权利要求1所述的去除方法，其中，所述平均冷却速率为200℃/min以上，冷却时间为1～5min，优选为3min以下；冷却方式为空气冷却、水冷、风冷、油冷或冷却液冷却中的任意一种。

7.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：任伟康，李侨，陈永康，刘阳，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：