输送装置及具有该输送装置的检测机台制造方法及图纸

本实用新型专利技术适用于片状待测物检测技术领域，提供了一种输送装置及具有该输送装置的检测机台，所述输送装置包括：与所述输送装置通气连接的一组低压装置；一组用以承载搬移所述片状待测组件、且形成有一通气部的皮带组；一组用以驱动所述皮带组的驱动件；一组具有一个至少部分支撑于所述皮带组下方、并对应所述通气部形成有至少一个气孔的顶板，以及一组与所述顶板形成一个通气连接至所述低压装置气室的环绕壁的吸附支撑器。本实用新型专利技术提供的输送装置在输送片状待测物可以与其同步动作或者停止，减少太阳能晶圆检测机台于输送过程中，太阳能晶圆受到不必要的损伤，减少不必要停机，而提升检测效率及检测精度。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种检测机台，尤其是一种具有吸附支撑器的输送装置及具有该装置的检测机台。
技术介绍
原油价格不断升高的当今，替代性能源需求日益加剧，太阳能以其取之不竭、使用无污染、转换效率日渐增高等特性，太阳能相关技术因而日益精进，成为替代性能源的首选。目前不仅在计算器、手表等小型电子产品中广泛应用，在道路交通号志、路灯、建筑照明等建材的应用也逐渐普及；近年来工厂、家用等大功率太阳光发电系统也逐渐具备实用的价值，而业界也为追求更高的光电转换效率、与更低廉的建置成本而努力不懈。 此种光电转换过程中，负责吸收、撷取太阳光、并转换为电能输出的太阳能晶圆为不可或缺的要素；无论出厂前，采购使用时，均必需进行相关测试与分类、包装，且随市场需求的大量提升，产量大幅成长，如何提升检测的效率、精确性、及减少晶圆于检测中意外受损，也成为自动化检测机台改进的重点。 为确保如图1所示的太阳能晶圆1正反两面的电极与光照面结构均符合预期，现 有技术中有一种技术方案，利用吸嘴吸取其中一面，并检测另一面后，将太阳能晶圆已检测 面置于传输载具上，随后再检测另一未检测面。 检测机台的吸嘴将在一预定位置(图未示)吸取待测晶本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种输送装置，用来输送一片状待测组件，其特征在于，所述输送装置包括：　　　　与所述输送装置通气连接的一组低压装置；　　　　一组承载搬移所述片状待测组件、且形成有一通气部的皮带组；　　　　一组驱动所述皮带组的驱动件；　　　　一组具有一个至少部分支撑于所述皮带组下方、并对应所述通气部形成有至少一个气孔的顶板，以及一组与所述顶板形成一个通气连接至所述低压装置气室的环绕壁的吸附支撑器。

【技术特征摘要】
一种输送装置，用来输送一片状待测组件，其特征在于，所述输送装置包括与所述输送装置通气连接的一组低压装置；一组承载搬移所述片状待测组件、且形成有一通气部的皮带组；一组驱动所述皮带组的驱动件；一组具有一个至少部分支撑于所述皮带组下方、并对应所述通气部形成有至少一个气孔的顶板，以及一组与所述顶板形成一个通气连接至所述低压装置气室的环绕壁的吸附支撑器。2. 根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述的皮带组包括两条彼此平行且相间隔形成所述通气部的皮带，所述吸附支撑器顶板上形成有复数个对应所述间隔的气孔。3. 根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述的皮带组包括三条彼此平行、且沿搬移所述片状待测组件的方向镜像对称的皮带，其中所述通气部包括复数个形成于所述三条皮带中间一条皮带的通孔，且所述吸附支撑器顶板上形成有一道对应所述通孔的长槽形气孔。4. 根据权利要求2或者3所述的输送装置，其特征在于，所述皮带中至少一条具有一个待测组件承载面、及一个相反于且摩擦系数小于所述待测组件承载面的吸附支撑器接触面。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：林汉声，
申请(专利权)人：中茂电子深圳有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]