本发明专利技术公开了一种研磨抛光装置和研磨抛光方法，研磨抛光装置包括旋转盘、连接杆、夹具固定件、夹具和抛光盘，连接杆的第一端与旋转盘固定连接；夹具固定件的第一端与连接杆的第二端连接；夹具的第一端与夹具固定件的第二端连接，夹具的第二端适于夹持样品，夹具绕其轴向可转动；抛光盘可转动地设置于夹具的下方；其中，夹具为一个或多个，夹具与抛光盘相对平行设置或者具有夹角，或者，夹具为多个，多个夹具中至少一个夹具与抛光盘具有夹角，以对所加持样品的边缘进行研磨。本发明专利技术的研磨抛光装置，通过对样品的边缘进行均匀钝化处理，能避免割伤人员手指，提高作业的安全性、不容易划伤抛光布，有效延长抛光布使用寿命。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及研磨抛光，尤其是涉及一种研磨抛光装置和研磨抛光方法。
技术介绍
1、在电路板及其半成品生产过程中，往往会伴随着不良品的产生，这时候需要使用一定的分析手法来分析不良产生的原因，微切片制作手法就是其中之一。现有的微切片的制作流程大致如下：步骤1，先将待分析的电路板切割成适合进行微切片封装的尺寸，以下简称样品；步骤2，制作混合胶液，将亚克力树脂与固化剂按照一定比例混合，并搅拌均匀；步骤3，在混合胶液固化前，将样品放入模具中，并倒入混合胶液；步骤4，放置在空气中，待胶液固化，或放入烤箱中加速其固化，被固化后的混合胶液包裹起来的样品简称为样品镶块；步骤5，使用砂纸对样品镶块进行截面研磨，并研磨至待分析部位；步骤6，使用抛光机、抛光布及抛光液对研磨后的样品镶块截面进行抛光；步骤7，使用显微镜观察抛光后的截面，分析不良产生的原因，或量测必要的数据。对于上面步骤5，目前自动研磨抛光机所使用的用于研磨抛光的组件(工装)通常是具有三个孔或四个孔的平面盘，即在工作时水平的盘，因此只能够实现样品的水平研磨抛光。在水平研磨之后，样品的位于底面与侧面之间的边缘会呈大致90°。
2、在现有技术中，当样研磨后的样品的位于底面与侧面之间的边缘呈90°，当对样品进行抛光时，用于研磨抛光的组件的连接杆的下压会使得边缘陷在设置于位于连接杆下方的抛光盘上的抛光布中，容易损伤抛光布，进而加快抛光布的损耗，若手动对样品的边缘进行打磨，可能会造成打磨后的边缘不工整，并且容易造成人员手指割伤。
技术实现思路
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p>1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种研磨抛光装置，通过对样品的边缘进行均匀钝化处理，能避免割伤人员手指，提高作业安全性、不容易划伤抛光布，有效延长抛光布使用寿命。2、本专利技术的另一个目的在于提出一种研磨抛光方法。
3、为了达到上述目的，本专利技术第一方面实施例提出的研磨抛光装置，包括：旋转盘；连接杆，所述连接杆的第一端与所述旋转盘固定连接；夹具固定件，所述夹具固定件的第一端与所述连接杆的第二端连接；夹具，所述夹具的第一端与所述夹具固定件的第二端连接，所述夹具的第二端适于夹持样品，所述夹具绕其轴向可转动；抛光盘，所述抛光盘可转动地设置于所述夹具的下方；其中，所述夹具为一个或多个，所述夹具与所述抛光盘相对平行设置或者具有夹角，或者，所述夹具为多个，多个所述夹具中至少一个夹具与抛光盘具有夹角，以对所加持样品的边缘进行研磨。
4、根据本专利技术实施例提出的研磨抛光装置，在对样品进行研磨时，对样品的底面和边缘进行研磨处理，进而能够对样品的边缘进行均匀的钝化处理，即从直角变成非直角，最终能通过研磨在样品的锋利的边缘处形成倒角，能避免割伤人员手指。当使用抛光布对样品的底面进行抛光时，能够使与样品的底面相接触的抛光布的与通过钝化处理的边缘平滑过渡，从而能够减轻对设置在位于样品下方的抛光盘上的抛光布的损伤，延长抛光布的寿命，降低成本。
5、在本专利技术的一些实施例中，所述连接杆与所述夹具固定件磁性连接。
6、在本专利技术的一些实施例中，所述连接杆包括：壳体；第一弹簧，所述第一弹簧位于所述壳体内，所述第一弹簧的第一端与所述旋转盘固定连接；磁性杆，所述磁性杆的一部分位于所述壳体内，所述磁性杆的另一部分位于所述壳体的外部，所述磁性杆位于所述壳体外部的部分与所述夹具固定件连接。
7、在本专利技术的一些实施例中，所述连接杆还包括：滑块，所述滑块位于所述磁性杆与第一弹簧之间，所述滑块的第二端与所述磁性杆固定连接。
8、在本专利技术的一些实施例中，所述夹具固定件包括：固定体，所述固定体的第一端设置有与所述磁性杆匹配的第一盲孔；磁体，所述磁体设置于所述第一盲孔内，用于所述磁性杆插入所述第一盲孔时与所述磁性杆磁性连接；所述固定体的第二端还设置有第二盲孔，以用于与所述夹具连接。
9、在本专利技术的一些实施例中，所述第二盲孔的轴向与所述固定体的轴向具有夹角，其中，所述夹角α取值满足0°≤α≤60°。
10、在本专利技术的一些实施例中，所述夹具包括：夹具壳体，所述夹具壳体的第一端设置有凸起，所述凸起与所述第二盲孔过盈配合；加持件，所述加持件设置于所述夹具壳体的侧壁上，所述加持件可沿所述夹具壳体的径向往复移动，用于加持样品。
11、在本专利技术的一些实施例中，所述加持件包括：螺钉状部，所述螺钉状部固定于所述夹具壳体的侧壁上；凸台状部，所述凸台状部位于所述夹具壳体内；第二弹簧，所述第二弹簧的两端分别连接所述螺钉状部和所述凸台状部。
12、为了达到上述目的，本专利技术第二方面实施例提出了一种研磨抛光方法，用于上面任一项所述的研磨抛光装置，所述研磨抛光方法包括：制备样品镶块；将所述样品镶块安装至所述研磨抛光装置的夹具上，并对所述样品镶块进行研磨，将所述样品镶块研磨至待分析部位并在所述待分析部位所在截面的边缘进行研磨以形成倒角；将具有倒角的样品镶块安装至所述研磨抛光装置的与抛光盘相对平行设置的夹具上，并对所述待分析部位进行抛光。
13、根据本专利技术实施例提出的研磨抛光方法，通过对样品镶块上的对待分析部位所在截面的边缘进行研磨以形成倒角，是的样品镶块的边缘变钝，使得在对样品镶块进行抛光时，避免割伤人员手指，也不容易划伤抛光布，可以有效延长抛光布使用寿命。
14、在本专利技术的一些实施例中，将所述样品镶块安装至所述研磨抛光装置的夹具上，并对所述样品镶块进行研磨，将所述样品镶块研磨至待分析部位并在所述待分析部位所在截面的边缘进行研磨以形成倒角，包括：先将所述样品镶块安装至所述研磨抛光装置的与抛光盘相对平行设置的夹具上，并对所述样品镶块进行研磨，直至研磨至待分析部位，再将所述样品镶块安装至所述研磨抛光装置的与抛光盘具有夹角的夹具上，并对所述待分析部位所在截面的边缘进行研磨以形成倒角；或者，先将所述样品镶块安装至所述研磨抛光装置的与抛光盘具有夹角的夹具上，并对所述样品镶块的底面的边缘进行研磨以形成倒角，再将所述样品镶块安装至所述研磨抛光装置的与抛光盘相对平行设置的夹具上，并对所述样品镶块的底面进行研磨，直至研磨至待分析部位
15、本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
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【技术保护点】
1.一种研磨抛光装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的研磨抛光装置，其特征在于，所述连接杆与所述夹具固定件磁性连接。
3.根据权利要求2所述的研磨抛光装置，其特征在于，所述连接杆包括：
4.根据权利要求3所述的研磨抛光装置，其特征在于，所述连接杆还包括：滑块，所述滑块位于所述磁性杆与第一弹簧之间，所述滑块的第二端与所述磁性杆固定连接。
5.根据权利要求3所述的研磨抛光装置，其特征在于，所述夹具固定件包括：
6.根据权利要求5所述的研磨抛光装置，其特征在于，所述第二盲孔的轴向与所述固定体的轴向具有夹角，其中，所述夹角α取值满足0°≤α≤60°。
7.根据权利要求5或6所述的研磨抛光装置，其特征在于，所述夹具包括：
8.根据权利要求7所述的研磨抛光装置，其特征在于，所述加持件包括：
9.一种研磨抛光方法，其特征在于，用于权利要求1-8任一项所述的研磨抛光装置，所述研磨抛光方法包括：
10.根据权利要求9所述的研磨抛光方法，其特征在于，将所述样品镶块安装至所述研磨抛光装置的夹具上，并对所述样品镶块进行研磨，将所述样品镶块研磨至待分析部位并在所述待分析部位所在截面的边缘进行研磨以形成倒角，包括：
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【技术特征摘要】
1.一种研磨抛光装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的研磨抛光装置，其特征在于，所述连接杆与所述夹具固定件磁性连接。
3.根据权利要求2所述的研磨抛光装置，其特征在于，所述连接杆包括：
4.根据权利要求3所述的研磨抛光装置，其特征在于，所述连接杆还包括：滑块，所述滑块位于所述磁性杆与第一弹簧之间，所述滑块的第二端与所述磁性杆固定连接。
5.根据权利要求3所述的研磨抛光装置，其特征在于，所述夹具固定件包括：
6.根据权利要求5所述的研磨抛光装置，其特征在于，所述第二盲孔的轴向与所述固定体...
【专利技术属性】
技术研发人员：毛柠，
申请(专利权)人：无锡闻泰信息技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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