System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 半导体设备零部件加工平台制造技术_技高网

半导体设备零部件加工平台制造技术

技术编号:41184250 阅读:2 留言:0更新日期:2024-05-07 22:17
本发明专利技术公开了半导体设备零部件加工平台,涉及半导体零部件加工技术领域,包括零部件加工机构,所述零部件加工机构包括加工台,所述加工台的顶部固定连接有放置槽,所述放置槽的内壁卡接有圆形块,所述圆形块的内壁螺纹连接有第一螺栓,所述第一螺栓的左侧固定连接有固定块,所述放置槽的外壁开设有螺纹孔,所述放置槽的螺纹孔内螺纹连接有第二螺栓,本发明专利技术通过风机设置在加工台的底部,而且加工台空腔内设置了水,风机吹出气流到加工台的水中时,气流位于水中,水使气流降温,而且气流使水翻涌开来,水在翻涌过程中,会加速水的散热,进而持续对气流降温,而且气流带动第一横板的晃动,具有实用性强的特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体零部件加工,具体为半导体设备零部件加工平台


技术介绍

1、半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质,其电导率容易受控制,可作为信息处理的元件材料,半导体设备是用于制造半导体的设备,半导体为多个零部件组合而成;

2、例如中国专利号为cn210436018u的国家专利公开了一种半导体设备零部件生产夹具,包括安装座、电动机、第一伞齿轮、固定座、放置腔、移动板、夹板、调节螺栓、第二伞齿轮、螺杆、固定板、清理板、连接板、清理刷和固定螺栓。该种半导体设备零部件生产夹具结构简单、设计新颖,便于工作者将零部件夹持在两个夹板之间,同时便于将零部件进行稳定固定,提高零部件的固定效果,方便零部件后续加工,满足使用需求,通过设置的驱动机构的作用下,便于驱动移动板带动夹板移动,方便工作者对夹板进行调节,便于零部件的后续稳定固定,同时便于螺杆表面的清理;

3、上述专利设置的驱动机构的作用下,便于驱动移动板带动夹板移动,方便工作者对夹板进行调节,但是在零部件加工过程时,采用切割与打磨的方式对零部件进行加工,进而使零部件的温度升高,零部件在温度升高下会损坏零部件原本的特性,造成零部件的加工失败。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供半导体设备零部件加工平台,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为了解决上述技术问题,本专利技术提供如下技术方案:半导体设备零部件加工平台,包括零部件加工机构,所述零部件加工机构包括加工台,所述加工台的顶部固定连接有放置槽,所述放置槽的内壁卡接有圆形块,所述圆形块的内壁螺纹连接有第一螺栓,所述第一螺栓的左侧固定连接有固定块,所述放置槽的外壁开设有螺纹孔,所述放置槽的螺纹孔内螺纹连接有第二螺栓,所述加工台的外壁固定连接有气流降温机构,所述加工台的内壁固定连接有水流遍布机构,加工台放置在所需的位置,所需加工的零部件放到加工台上,第一螺栓位于圆形块中旋转,进而使固定块伸长对零部件进行固定,圆形块位于放置槽上旋转,进而带动零部件跟随旋转,在旋转到所需的位置时,第二螺栓位于放置槽上的螺纹孔旋转,进而对圆形块进行固定,使零部件固定在一个合适的位置;

3、所述气流降温机构包括第一气流孔,所述加工台的顶部开设有第一气流孔,所述加工台的内部开设有空腔,所述加工台的空腔与第一气流孔连通,所述固定块的外壁开设有第二气流孔,所述加工台的外壁固定连接有支架的一端,所述支架的另一端固定连接有风机,所述风机的顶部插接在加工台的空腔内,所述固定块的内壁固定连接有引导板,在对零部件加工过程中,风机通电启动,风机的顶部与加工台的底部连接,进而使风机启动时吹出气流到加工台中,加工台的空腔内设置一定量的水,水位的高度低于第一横板的高度,所以当风机的气流吹到加工台中后,然后气流从第一气流孔吹出,从第一气流孔吹出的气流吹到零部件上,使零部件降温,而且气流也会吹到固定块的第二气流孔中,气流进入到第二气流孔中后,在引导板的引导下从固定块的侧面吹出,进而吹到零部件上。

4、根据上述技术方案,所述水流遍布机构包括弹簧,通过第一横板在晃动过程中通过弹簧带动第二横板跟随晃动,第二横板带动清理杆跟随晃动,清理杆位于第一气流孔中晃动时会清理第一气流孔中的碎屑,避免了碎屑堵塞第一气流孔,确保了第一气流孔持续通过气流,所述弹簧的底部与加工台空腔的内底部固定连接。

5、根据上述技术方案,所述弹簧的外壁固定连接有第一横板,风机吹到加工台中时,气流吹到弧形板上,进而使第一横板跟随晃动,第一横板晃动时通过拨动板搅拌加工台中的水,在气流经过第一横板的底部时,水对气流进行降温,进而使气流的温度降低,然后气流在从第一气流孔吹出,降温后的气流吹到零部件上,进而对零部件进行降温,所述第一横板的左侧固定连接有弧形板,通过风机设置在加工台的底部,而且加工台空腔内设置了水,风机吹出气流到加工台的水中时,气流位于水中,水使气流降温,而且气流使水翻涌开来,水在翻涌过程中,会加速水的散热,进而持续对气流降温,而且气流带动第一横板的晃动,使拨动板搅拌加工台中的水,进一步使水翻涌开来,加速了水的降温,通过水的气流再从第一气流孔中吹出时,起到了更好对零部件降温的效果。

6、根据上述技术方案,所述第一横板的底部固定连接有拨动板,所述拨动板的数量为十个。

7、根据上述技术方案,所述弹簧外壁远离第一横板的顶部固定连接有第二横板,第一横板晃动时带动弹簧与第二横板跟随晃动,重力块通过第二弹性板安装在第二横板的右侧,进而增大第二横板的晃动幅度,第二横板晃动时带动第一弹性板和清理杆晃动,清理杆位于第一气流孔中晃动,在清理杆晃动时会清理第一气流孔中的碎屑,使第一气流孔可以持续通过气流,所述第二横板的右侧固定连接有第二弹性板。

8、根据上述技术方案,所述第二弹性板的底部固定连接有重力块,所述第二横板的顶部固定连接有第一弹性板。

9、根据上述技术方案,所述第一弹性板的顶部固定连接有清理杆,从第一气流孔中吹出的气流吹到固定块的第二气流孔中,气流在引导板的引导下从第二气流孔的侧面吹出,然后从零部件的侧面吹出气流,加速了零部件的降温,而且第一螺栓的自由伸长对零部件进行固定,而且圆形块位于放置槽中自由的旋转,使零部件可以自由的改变位置进行加工,增加加工时的方便,提高了零部件的加工效率,减少了零部件的升温时长,所述清理杆位于第一气流孔的内部。

10、与现有技术相比,本专利技术所达到的有益效果是:本专利技术通过风机设置在加工台的底部,而且加工台空腔内设置了水,风机吹出气流到加工台的水中时,气流位于水中,水使气流降温,而且气流使水翻涌开来,水在翻涌过程中,会加速水的散热,进而持续对气流降温,而且气流带动第一横板的晃动,使拨动板搅拌加工台中的水,进一步使水翻涌开来,加速了水的降温,通过水的气流再从第一气流孔中吹出时,起到了更好对零部件降温的效果;

11、通过第一横板在晃动过程中通过弹簧带动第二横板跟随晃动,第二横板带动清理杆跟随晃动,清理杆位于第一气流孔中晃动时会清理第一气流孔中的碎屑,避免了碎屑堵塞第一气流孔,确保了第一气流孔持续通过气流;

12、从第一气流孔中吹出的气流吹到固定块的第二气流孔中,气流在引导板的引导下从第二气流孔的侧面吹出,然后从零部件的侧面吹出气流,加速了零部件的降温,而且第一螺栓的自由伸长对零部件进行固定,而且圆形块位于放置槽中自由的旋转,使零部件可以自由的改变位置进行加工,增加加工时的方便,提高了零部件的加工效率,减少了零部件的升温时长。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.半导体设备零部件加工平台,包括零部件加工机构(1),所述零部件加工机构(1)包括加工台(11),所述加工台(11)的顶部固定连接有放置槽(12),所述放置槽(12)的内壁卡接有圆形块(13),所述圆形块(13)的内壁螺纹连接有第一螺栓(14),所述第一螺栓(14)的左侧固定连接有固定块(16),所述放置槽(12)的外壁开设有螺纹孔,所述放置槽(12)的螺纹孔内螺纹连接有第二螺栓(15),其特征在于:所述加工台(11)的外壁固定连接有气流降温机构(2),所述加工台(11)的内壁固定连接有水流遍布机构(3);

2.根据权利要求1所述的半导体设备零部件加工平台,其特征在于:所述水流遍布机构(3)包括弹簧(33),所述弹簧(33)的底部与加工台(11)空腔的内底部固定连接。

3.根据权利要求2所述的半导体设备零部件加工平台,其特征在于:所述弹簧(33)的外壁固定连接有第一横板(31),所述第一横板(31)的左侧固定连接有弧形板(32)。

4.根据权利要求3所述的半导体设备零部件加工平台,其特征在于:所述第一横板(31)的底部固定连接有拨动板(37),所述拨动板(37)的数量为十个。

5.根据权利要求3所述的半导体设备零部件加工平台,其特征在于:所述弹簧(33)外壁远离第一横板(31)的顶部固定连接有第二横板(34),所述第二横板(34)的右侧固定连接有第二弹性板(39)。

6.根据权利要求5所述的半导体设备零部件加工平台,其特征在于:所述第二弹性板(39)的底部固定连接有重力块(38),所述第二横板(34)的顶部固定连接有第一弹性板(36)。

7.根据权利要求6所述的半导体设备零部件加工平台,其特征在于:所述第一弹性板(36)的顶部固定连接有清理杆(35),所述清理杆(35)位于第一气流孔(23)的内部。

...

【技术特征摘要】

1.半导体设备零部件加工平台,包括零部件加工机构(1),所述零部件加工机构(1)包括加工台(11),所述加工台(11)的顶部固定连接有放置槽(12),所述放置槽(12)的内壁卡接有圆形块(13),所述圆形块(13)的内壁螺纹连接有第一螺栓(14),所述第一螺栓(14)的左侧固定连接有固定块(16),所述放置槽(12)的外壁开设有螺纹孔,所述放置槽(12)的螺纹孔内螺纹连接有第二螺栓(15),其特征在于:所述加工台(11)的外壁固定连接有气流降温机构(2),所述加工台(11)的内壁固定连接有水流遍布机构(3);

2.根据权利要求1所述的半导体设备零部件加工平台,其特征在于:所述水流遍布机构(3)包括弹簧(33),所述弹簧(33)的底部与加工台(11)空腔的内底部固定连接。

3.根据权利要求2所述的半导体设备零部件加工平台,其特征在于:所述弹簧(33)的外壁固定连接有第...

【专利技术属性】
技术研发人员:蹇毅刘海
申请(专利权)人:南通红森微视光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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