【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硬盘与晶圆，具体为一种应用凸轮机构的测量系统。
技术介绍
1、在硬盘制造领域，对产品要求达到小um级，产品测试由原抽检改为全检，而人力成本走高趋势，需要一款能高速测量高精密测试机构(uph＞3600)，现有的um级精密测量仪器只能在测试间抽检，不能在线全检，无法满足生产需求。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种应用凸轮机构的测量系统，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种应用凸轮机构的测量系统，设置在机台的顶部，包括设置在机台一侧的测量组件和设置在机台顶端与测量组件相对应位置的凸轮顶升组件，测量组件包括测量机构、支撑测量机构的支架和驱动支架横向移动的驱动机构。
3、优选的，所述凸轮顶升组件包括凸轮、支撑凸轮的支撑架和驱动凸轮转动的动力元件，在凸轮的底端设置杠杆的一端，杠杆的另一端顶部设置顶升机构，所述凸轮包括转轴和并列设置在转轴外壁的若干个凸轮片，若干个凸轮片的凸起处呈环形均匀交错设置，若干个凸轮片的凸起处呈一定角度间隔设置，侧面形成一个齿轮状，所述顶升机构包括若干个顶杆、安装在顶杆顶端的托片和供顶杆上下运动的框架，若干个顶杆从前之后均匀设置在框架的内侧，所述杠杆包括一根轴杆和一端设置在轴杆外壁的若干个条形杆，若干个条形杆的一端可与若干个凸轮片的凸起处接触，若干个条形杆的另一端与若干个顶杆的底端接触，若干个凸轮片、若干个条形杆与若干个顶杆位置相对应，若干个凸轮片中的一个凸轮片和对应位置的条形杆以及
4、优选的，若干个凸轮片中任意一个凸轮片的凸起处与对应位置的条形杆接触时，条形杆的一端围绕轴杆转动，条形杆的另一端提起顶杆上升。
5、优选的，对应位置的一个凸轮片、一根围绕轴杆转动的条形杆和一个顶杆组成杠杆提升连杆。
6、优选的，测量机构包括若干个激光测量头和调节若干个激光测量头位置的架体。
7、优选的，驱动机构包括电机二，所述电机二通过丝杠和移动座的螺纹连接将电机二的回转运动转换成移动座的横向往复移动。
8、本技术提出的一种应用凸轮机构的测量系统，有益效果在于：本技术设计独特，通过凸轮顶升机构和测量组件的配合，实现在线全检，对清洗盒中的每个盘基片进行提升检测，大大了提升了检测的速度，实现了在线的检测，满足生产需求。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种应用凸轮机构的测量系统，设置在机台的顶部，其特征在于：包括设置在机台一侧的测量组件和设置在机台顶端与测量组件相对应位置的凸轮顶升组件，测量组件包括测量机构、支撑测量机构的支架和驱动支架横向移动的驱动机构；所述凸轮顶升组件包括凸轮、支撑凸轮的支撑架和驱动凸轮转动的动力元件，在凸轮的底端设置杠杆的一端，杠杆的另一端顶部设置顶升机构；
2.根据权利要求1所述的一种应用凸轮机构的测量系统，其特征在于：若干个凸轮片、若干个条形杆与若干个顶杆位置相对应，若干个凸轮片中的一个凸轮片和对应位置的条形杆以及对应位置的顶杆处于同一个平面。
3.根据权利要求2所述的一种应用凸轮机构的测量系统，其特征在于：若干个凸轮片中任意一个凸轮片的凸起处与对应位置的条形杆接触时，条形杆的一端围绕轴杆转动，条形杆的另一端提起顶杆上升。
4.根据权利要求3所述的一种应用凸轮机构的测量系统，其特征在于：对应位置的一个凸轮片、一根围绕轴杆转动的条形杆和一个顶杆组成杠杆提升连杆。
5.根据权利要求1-4任一所述的一种应用凸轮机构的测量系统，其特征在于：测量机构包括若干个
6.根据权利要求5所述的一种应用凸轮机构的测量系统，其特征在于：驱动机构包括电机二，所述电机二通过丝杠和移动座的螺纹连接将电机二的回转运动转换成移动座的横向往复移动。
...【技术特征摘要】
1.一种应用凸轮机构的测量系统，设置在机台的顶部，其特征在于：包括设置在机台一侧的测量组件和设置在机台顶端与测量组件相对应位置的凸轮顶升组件，测量组件包括测量机构、支撑测量机构的支架和驱动支架横向移动的驱动机构；所述凸轮顶升组件包括凸轮、支撑凸轮的支撑架和驱动凸轮转动的动力元件，在凸轮的底端设置杠杆的一端，杠杆的另一端顶部设置顶升机构；
2.根据权利要求1所述的一种应用凸轮机构的测量系统，其特征在于：若干个凸轮片、若干个条形杆与若干个顶杆位置相对应，若干个凸轮片中的一个凸轮片和对应位置的条形杆以及对应位置的顶杆处于同一个平面。
3.根据权利要求2所述的一种应用凸轮机构的测量系统，...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹拥斌，张新虎，秦献超，张龙，
申请(专利权)人：深圳长城开发精密技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。