一种图像引导的激光聚焦扫描系统技术方案

本发明专利技术涉及一种图像引导的激光聚焦扫描系统，包括：激光模块、波前校正调制模块、干涉光成像模块、指示光成像模块、数据处理模块和控制模块；通过利用有调制成像和无调制光传输组合式的自适应光学技术完成对样品相对位置变化及样品像差引起激光波前变化的实时调整，实现了在无调制光传输时提高信噪比，在有调制成像时提高了成像分辨率，为样品情况提供实时的高分辨率的干涉图像信息，通过实时扫描样品内部不同深度、宽度和轴向位置并记录的所述扫描点的位置、定向信息和指示光成像模块拍摄的所述扫描点的样品实时照片反馈调整激光光束聚焦至样品，重新规划扫描路径，有效提高了该图像引导的激光聚焦扫描系统的准确度和速度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学检测，特别是涉及一种图像引导的激光聚焦扫描系统。

技术介绍

1、利用激光光束、光学相干层析技术高精度检测和计算机精密计算进行轨迹规划，将传统检测中由人工完成的关键步骤自动化、智能化实现的一种检测方法。光学相干层析成像系统需要在激光切削前精确测量物体表面的位置及轮廓，切削后观测切削的位置。切削过程中存在各种误差：激光控制器可能因各种原因误算了激光脉冲的位置，包括光学像差、光路误差、激光的制造公差问题、诊断误差和组件的热力蠕变等等。

2、通常采用光学相关断层扫描成像系统（optical coherence tomography, oct）对样品进行扫描成像，获取样品图像，再根据获取的样品图像信息，重新规划扫描路径。oct成像系统的分辨率直接影响手术精度，而oct成像系统的横向分辨率，同样与聚焦光斑的大小相关。oct成像系统的成像速度也影响了切削速度，减少成像准备时间，提高成像速度也与光路能否快速灵敏聚焦相关。

3、因此，迫切需要研制出一种能够快速的将成像光束聚焦样品高分辨率成像，通过图像信息反馈校正扫描光束扫描样品的激本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种图像引导的激光聚焦扫描系统，其特征在于，包括：激光模块、波前校正调制模块、干涉光成像模块、指示光成像模块、数据处理模块和控制模块；

2.根据权利要求1所述的图像引导的激光聚焦扫描系统，其特征在于，所述激光模块包括依次连接的激光器、光束整形器、激光快闪开关、光栅和激光振镜扫描单元，所述激光器用于发射激光光束，所述光束整形器用于获取所述激光光束中的圆形光斑，并使所述激光光束聚焦后光斑径向均匀分布；所述激光快闪开关连接于所述控制模块，用于控制所述激光光束在工作过程中的通断；所述光栅用于增大所述激光光束的能量；所述激光振镜扫描单元用于调节所述激光光束的水平横截面位置、水平纵面...

【技术特征摘要】

1.一种图像引导的激光聚焦扫描系统，其特征在于，包括：激光模块、波前校正调制模块、干涉光成像模块、指示光成像模块、数据处理模块和控制模块；

2.根据权利要求1所述的图像引导的激光聚焦扫描系统，其特征在于，所述激光模块包括依次连接的激光器、光束整形器、激光快闪开关、光栅和激光振镜扫描单元，所述激光器用于发射激光光束，所述光束整形器用于获取所述激光光束中的圆形光斑，并使所述激光光束聚焦后光斑径向均匀分布；所述激光快闪开关连接于所述控制模块，用于控制所述激光光束在工作过程中的通断；所述光栅用于增大所述激光光束的能量；所述激光振镜扫描单元用于调节所述激光光束的水平横截面位置、水平纵面位置和垂直深度位置，传输所述激光光束聚焦至样品进行扫描并记录所述扫描点的位置、定向信息。

3.根据权利要求2所述的图像引导的激光聚焦扫描系统，其特征在于，所述激光器为全光纤振荡器，所述激光器发射出的激光光束为连续发射的平行激光光束，或者脉冲发射的脉冲激光光束。

4.根据权利要求2所述的图像引导的激光聚焦扫描系统，其特征在于，所述光束整形器为视场光阑；和/或所述光栅为布拉格光栅。

5.根据权利要求1所述的图像引导的激光聚焦扫描系统，其特征在于，所述干涉光成像模块包括依次设置在光路上的成像光源、偏振光产生模块、图像束偏振光产生模块和相干光发生模块；

6.根据权利要求5所述的图像引导的激光聚焦扫描系统，其特征在于，所述第二透镜用于将所述激光模块发出的激光光束和所述干涉光成像模块发射的成像光束聚焦至样品，并用于作为所述图像引导的激光聚焦扫描系统的成像聚焦镜头和激光束扫描聚焦镜头，所述第二透镜构成远距离校正光学系统的聚焦物镜，所述激光模块、所述干涉光成像模块、所述指示光成像模块共同组成远距...

【专利技术属性】
技术研发人员：周辉，
申请(专利权)人：广东普洛宇飞生物科技有限公司，
类型：发明
国别省市：