一种激光光学系统及工作方法技术方案

本申请提供的激光光学系统及工作方法，利用有调制闭环成像和无调制光传输组合式的自适应光学成像技术完成对样品相对位置变化及样品相差引起激光波前变化的实时校准，实现了无需对接接口固定样品完成激光聚焦样品，该系统不仅在光传输时提高信噪比，获得稳定的传输矩阵，而且在闭环工作时提高了系统灵敏度，引导激光束和成像光束精确聚焦样品扫描及成像，无需复杂机械臂或者操纵杆设备来辅助。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及光学成像，特别涉及一种激光光学系统及工作方法。

技术介绍

1、利用激光光束、光学相干层析技术高精度检测和计算机精密计算进行轨迹规划，将传统检测中由人工完成的关键步骤自动化、智能化实现的一种检测方法。在现代激光光学工程实践中，激光光学系统中通常需要激光聚焦样品表面扫描或者穿透样品在内部聚焦扫描。光学相干层析成像系统需要在激光切削前精确测量物体表面的位置及轮廓，切削后观测切削的位置。该光学系统体积庞大，不利于产品系统的集成，在维修保养时耗时较长。而且目前的光学系统通过聚焦透镜来聚焦成像光束和激光光束，需要应用复杂的机械臂或者操纵杆来实现成像。

技术实现思路

1、鉴于此，有必要针对当前需要应用复杂的机械臂或者操纵杆来实现成像的技术问题的提供一种无需复杂机械臂或者操纵杆设备来辅助的激光光学系统及工作方法。

2、为解决上述问题，本申请采用下述技术方案：

3、本申请提供了一种激光光学系统，包括：

4、激光光源(1)、波前校准单元(2)、分光单元(3)、光学相干断层成像单元(4本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种激光光学系统，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的激光光学系统，其特征在于，所述波前校准单元(2)包括依次连接的第一倾斜镜(21)、变形镜(22)和空间光调制器(23)，所述第一倾斜镜(21)为反射式倾斜校正镜，用于波前倾斜相差校正；所述变形镜(22)为连续表面变形镜用于进行离焦、像散等高阶相差校正；所述空间光调制器(23)为液晶空间光调制器，用于调制误差校正后的激光束的相位并传输至所述偏振分光镜(31)。

3.如权利要求1所述的激光光学系统，其特征在于，所述聚焦透镜(33)入射的分离后的部分第二激光束和所述光学相干断层成像单元(4)的成像光束精准地...

【技术特征摘要】

1.一种激光光学系统，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的激光光学系统，其特征在于，所述波前校准单元(2)包括依次连接的第一倾斜镜(21)、变形镜(22)和空间光调制器(23)，所述第一倾斜镜(21)为反射式倾斜校正镜，用于波前倾斜相差校正；所述变形镜(22)为连续表面变形镜用于进行离焦、像散等高阶相差校正；所述空间光调制器(23)为液晶空间光调制器，用于调制误差校正后的激光束的相位并传输至所述偏振分光镜(31)。

3.如权利要求1所述的激光光学系统，其特征在于，所述聚焦透镜(33)入射的分离后的部分第二激光束和所述光学相干断层成像单元(4)的成像光束精准地聚焦在样品，并作为所述光学相干断层成像系统(4)的成像镜头和所述高速相机(5)的拍摄镜头。

4.如权利要求1所述的激光光学系统，其特征在于，所述激光光源(1)、所述光学相干断层成像单元(4)、所述高速相机(5)和所述探测驱动单元(6)的光路同轴，所述样品同时在所述光学相干断层成像单元(4)...

【专利技术属性】
技术研发人员：周辉，
申请(专利权)人：广东普洛宇飞生物科技有限公司，
类型：发明
国别省市：