【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于电子元器件测试领域,进一步来说涉及破坏性物理分析(dpa),具体来说,涉及一种电子元器件dpa试验磨抛装置及其使用方法。
技术介绍
1、dpa检测(破坏性物理分析)是为了验证电子元器件(以下简称产品)的设计、结构、材料和制造质量是否满足预定用途或有关规范要求,对电子元器件进行解剖。其作用主要在于以预防失效为目的,防止有明显或潜在缺陷的元器件上机使用、确定元器件在设计与制造过程中存在的偏差和工艺缺陷、检验验证元器件质量。dpa检测通常对电子元器件解剖面进行打磨抛光处理,然后在显微镜下完成镜检。
2、电子元器件在对底部端面进行打磨抛光时,采用常规人工手持砂纸抛光办法,人为操作较为困难,且打磨抛光力度不均匀,存在局部磨抛不完全的现象。若采用砂轮机打磨,电子元器件磨抛厚度仅为2-3mm,操作人员难以确保磨抛厚度均匀性、一致性,保证磨抛质量,易打滑导致砂轮伤手,造成安全事故,同时每个电子元器件磨抛纹路一致性要求也很难满足。
3、有鉴于此,特提出本专利技术。
技术实现思路
...【技术保护点】
1.一种电子元器件DPA试验磨抛装置,其特征在于:包括产品装持定位机构、产品磨抛下压机构以及圆盘磨抛机构;
2.如权利要求1所述的一种电子元器件DPA试验磨抛装置,其特征在于,所述产品装持定位机构包含:10颗球头柱塞(2)、10工位产品装持定位部件(12),可同时一次性磨抛10个产品。
3.如权利要求1所述的一种电子元器件DPA试验磨抛装置,其特征在于,所述产品磨抛下压机构包含:1块产品下压缓冲部件(3)、1块产品下压连接部件(4)、5根销轴(9)、5颗止紧螺钉A(10)、10件产品压块(11)、5块弧形压块(13)。
4.如权利要
...【技术特征摘要】
1.一种电子元器件dpa试验磨抛装置,其特征在于:包括产品装持定位机构、产品磨抛下压机构以及圆盘磨抛机构;
2.如权利要求1所述的一种电子元器件dpa试验磨抛装置,其特征在于,所述产品装持定位机构包含:10颗球头柱塞(2)、10工位产品装持定位部件(12),可同时一次性磨抛10个产品。
3.如权利要求1所述的一种电子元器件dpa试验磨抛装置,其特征在于,所述产品磨抛下压机构包含:1块产品下压缓冲部件(3)、1块产品下压连接部件(4)、5根销轴(9)、5颗止紧螺钉a(10)、10件产品压块(11)、5块弧形压块(13)。
4.如权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员:张清综,胥越阳,周浩,娄经红,
申请(专利权)人:中国振华集团云科电子有限公司,
类型:发明
国别省市:
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