【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆生产，具体涉及晶圆的存储设备。
技术介绍
1、晶圆盒，用于存储晶圆。存储在晶圆盒中的晶圆，在晶圆盒中分层放置。机械手将晶圆放入晶圆盒时，晶圆盒需要定位在相应的平台上。
技术实现思路
1、本技术所解决的技术问题：提供一种用于定位晶圆盒的平台。
2、为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种晶圆盒的自动上料定位平台设备，包括机架、安装在机架上的定位底板，定位底板上设有导正结构，机架上设有第一铰接座和第二铰接座，定位底板铰接在第一铰接座上，第二铰接座上铰接有旋转气缸，旋转气缸的活塞杆与第三铰接座铰接，第三铰接座安装在定位底板的底面上。
3、按上述技术方案，空载的晶圆盒放置在定位底板上，导正结构将晶圆盒定位在定位底板的预定位置上。机械手将晶圆放置入晶圆盒，晶圆盒满载后，旋转气缸动作，驱动定位底板，定位底板围绕第一铰接座转动，定位底板的前部上抬，晶圆盒向后倾斜，晶圆盒中的晶圆向后倾斜。之后，导正结构释放晶圆盒，操作者从定位底板上取走晶圆盒。
4、本技术的旋转气缸，能够使晶圆盒倾斜后，再被取走，如此，能够防止晶圆从晶圆盒的前部开口滑出，利于提高生产的安全性。
5、定位底板的底面上设有限位块，机架上设有限位座，限位块能够与限位座相抵。旋转气缸驱动定位底板倾斜时，限位块与限位座相抵，对定位底板的倾斜度进行限制，也利于定位底板倾斜后的稳定。
6、机架上设有用于支撑定位底板的支撑座，旋转气缸释放定位底板，定位底板水平，其前
7、定位底板上设有微动开关，微动开关向上突出定位底板。微动开关的数量为四个，位于正方形的四角处。晶圆盒放置在定位底板上，晶圆盒的底面与四个微动开关接触，作用于微动开关，无警报提示。如果四个微动开关中任一微动开关没有被动作，那么，有警报提示，表示晶圆盒在定位底板上没有得到水平放置。
8、所述导正结构包括右侧固定块、前侧固定块、左侧活动块和后侧活动块，右侧固定块和前侧固定块安装在定位底板上，左侧活动块连接左侧导正气缸，后侧活动块连接后侧导正气缸，左侧导正气缸和后侧导正气缸安装在定位底板底部。晶圆盒放置在右侧固定块、前侧固定块、左侧活动块和后侧活动块构成的方形区域内，之后，在左侧导正气缸的驱动下，左侧活动块作用于晶圆盒的左侧壁，驱动晶圆盒右移；在后侧导正气缸的驱动下，后侧活动块作用于晶圆盒的后壁，驱动晶圆盒前移。最终，晶圆盒的四侧壁被右侧固定块、前侧固定块、左侧活动块和后侧活动块夹持限位，晶圆盒在定位底板上得到定位。
9、本技术的自动上料定位平台设备还包括护罩，护罩包括活动罩，活动罩与护罩本体铰接，护罩本体与活动罩之间连接有电动推杆。机械手将晶圆放入晶圆盒时，活动罩盖合在护罩本体上。操作者取走晶圆盒时，电动推杆动作，驱动活动罩向上翻转，便于操作者取走晶圆盒。
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1.一种晶圆盒的自动上料定位平台设备，包括机架(10)、安装在机架上的定位底板(20)，定位底板上设有导正结构，其特征在于：机架上设有第一铰接座(11)和第二铰接座(12)，定位底板铰接在第一铰接座上，第二铰接座上铰接有旋转气缸(30)，旋转气缸的活塞杆与第三铰接座(21)铰接，第三铰接座安装在定位底板的底面上。
2.如权利要求1所述的一种晶圆盒的自动上料定位平台设备，其特征在于：定位底板(20)的底面上设有限位块(22)，机架(10)上设有限位座(13)，限位块能够与限位座相抵。
3.如权利要求1所述的一种晶圆盒的自动上料定位平台设备，其特征在于：机架(10)上设有用于支撑定位底板(20)的支撑座(14)。
4.如权利要求1所述的一种晶圆盒的自动上料定位平台设备，其特征在于：定位底板(20)上设有微动开关(40)，微动开关向上突出定位底板。
5.如权利要求1所述的一种晶圆盒的自动上料定位平台设备，其特征在于：所述导正结构包括右侧固定块(51)、前侧固定块(52)、左侧活动块(53)和后侧活动块(54)，右侧固定块和前侧固定块安装在
6.如权利要求1所述的一种晶圆盒的自动上料定位平台设备，其特征在于：还包括护罩，护罩包括活动罩(61)，活动罩与护罩本体(60)铰接，护罩本体与活动罩之间连接有电动推杆(62)。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒的自动上料定位平台设备，包括机架(10)、安装在机架上的定位底板(20)，定位底板上设有导正结构，其特征在于：机架上设有第一铰接座(11)和第二铰接座(12)，定位底板铰接在第一铰接座上，第二铰接座上铰接有旋转气缸(30)，旋转气缸的活塞杆与第三铰接座(21)铰接，第三铰接座安装在定位底板的底面上。
2.如权利要求1所述的一种晶圆盒的自动上料定位平台设备，其特征在于：定位底板(20)的底面上设有限位块(22)，机架(10)上设有限位座(13)，限位块能够与限位座相抵。
3.如权利要求1所述的一种晶圆盒的自动上料定位平台设备，其特征在于：机架(10)上设有用于支撑定位底板(20)的支撑座(14)。
4.如权...
【专利技术属性】
技术研发人员：常跃，魏小东，张寅虎，史兴旺，潘雨萌，
申请(专利权)人：苏州启航电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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