一种TiVCrZrWAg高熵合金薄膜材料及其制备方法和应用技术

本发明专利技术提供一种TiVCrZrWAg高熵合金薄膜材料及其制备方法和应用，包括如下步骤：对硅基底进行清洗和烘干处理；将清洗和烘干后的硅基底置于磁控溅射装置的真空腔体中，将TiVCrZrW靶材和Ag靶材安装在磁控溅射装置的靶位上；向真空腔体中通入Ar气体作为溅射气体，调节腔体中的工作压强；轰击TiVCrZrW靶材和Ag靶材后，TiVCrZrW靶材、Ag靶材同时开始溅射，两个靶材的溅射厚度相等；溅射结束后，将腔体冷却到室温，得到TiVCrZrWAg高熵合金薄膜。本发明专利技术提供的TiVCrZrWAg高熵合金薄膜材料及其制备方法和应用，在TiVCrZrW高熵合金中引入银元素，细化了薄膜的晶粒结构，提高了其致密性，显著改善了摩擦性能和耐腐蚀性能，对于高性能机械部件的性能提升具有重大意义。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于防护材料，具体说是涉及一种tivcrzrwag高熵合金薄膜材料及其制备方法和应用。

技术介绍

1、随着科技的迅猛发展，薄膜材料在航空航天发动机部件、精密机械组件和生物医学植入物等领域发挥着至关重要的作用。然而，这些应用领域中，薄膜材料高摩擦系数和不足的耐磨损性能仍是影响部件性能的主要瓶颈，因此，提升薄膜材料的自润滑特性和耐磨损性能成为了迫切的科学课题。

2、高熵合金与人们所熟知的镍基合金、钛合金、铁基合金、铝合金等传统合金不同。传统合金是以1-2种金属元素为基础，添加不同的合金元素以改善性能的材料。而高熵合金定义为由5种或5种以上元素以等摩尔比(或近等摩尔比)组成。

3、在高熵合金中，各种元素的原子无序随机的分布在晶格位置上，独特的晶体结构为合金提供了更加优异的性能，包括高强韧度，高抗磨性，高硬度，高塑性，抗腐蚀，磁学性能以及高温上良好的稳定性等优异性能。在学术交流网站上国内外学者的研究热点中，足以看出高熵合金和高熵合金涂层作为新型材料的巨大潜力，有望成为新一代材料的佼佼者。本方案探究将银元素引入tivcrzrw高熵合本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种TiVCrZrWAg高熵合金薄膜材料的制备方法，其特征在于，具体包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种TiVCrZrWAg高熵合金薄膜材料的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中，依次使用无水乙醇、丙酮和去离子水对硅基底进行超声清洗，各清洗15min～20min，最后在70℃下烘干。

3.根据权利要求1所述的一种TiVCrZrWAg高熵合金薄膜材料的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中，通过涡轮分子泵将腔体的真空度抽至1×10-4Pa～1.2×10-4Pa。

4.根据权利要求1所述的一种TiVCrZrWAg高熵合金薄膜材料的制备方法，其特征...

【技术特征摘要】

1.一种tivcrzrwag高熵合金薄膜材料的制备方法，其特征在于，具体包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种tivcrzrwag高熵合金薄膜材料的制备方法，其特征在于，所述步骤s1中，依次使用无水乙醇、丙酮和去离子水对硅基底进行超声清洗，各清洗15min～20min，最后在70℃下烘干。

3.根据权利要求1所述的一种tivcrzrwag高熵合金薄膜材料的制备方法，其特征在于，所述步骤s2中，通过涡轮分子泵将腔体的真空度抽至1×10-4pa～1.2×10-4pa。

4.根据权利要求1所述的一种tivcrzrwag高熵合金薄膜材料的制备方法，其特征在于，所述步骤s3中，设定tivcrzrw靶材采用直...

【专利技术属性】
技术研发人员：任萍，王文哲，李奂宇，马啸飞，张尚洲，
申请(专利权)人：烟台大学，
类型：发明
国别省市：