【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及测控系统,尤其涉及一种基于硬同步的数字调制与解调系统及方法。
技术介绍
1、随着科技的发展,人们对测控系统的精度和性能的要求逐步提高,尤其是对数字信号处理的结果提出了高准确性的要求。在先进测控系统中,尤其是极紫外光刻设备的先进系统中,传输的光信号往往携带了对准标记位置信息,为了解决光信号的传输问题,通常需要对光电信号进行调制和解调,过程包括:将携带位置信息的光信号调制到适于传输的高频信号,形成已调信号,然后将已调信号经信号处理后,进行解调,获取基频光信号,从中提取对准标记位置信息。
2、现有的测控系统中,负责调制的系统和负责解调的系统是两个分系统,在负责调制的系统中,载波信号是由信号发生器所产生的具有一定频率和相位的正弦波信号,所述频率和相位参数根据需求设定,光调制器将此载波与基频光信号进行调制,产生已调制光信号进入负责解调的系统,解调系统根据所设定的频率和相位参数,得到参考信号,基于此参考信号,对已调信号解调,得到基频信号。然而,信号发生器实际所产生的正弦波信号的频率和相位参数,往往与所设值不同,存在偏差,也
...【技术保护点】
1.一种基于硬同步的数字调制与解调系统,其特征在于,包括:上位机、数字采集板卡、信号调制模块以及信号处理板卡;其中,
2.根据权利要求1所述的基于硬同步的数字调制与解调系统,其特征在于,所述数据采集板卡包括:
3.根据权利要求2所述的基于硬同步的数字调制与解调系统,其特征在于,所述基带信号为基频光信号;所述已调模拟信号是已调模拟光信号;
4.根据权利要求3所述的基于硬同步的数字调制与解调系统,其特征在于,所述模拟调制载波的参数序列,由数模转换单元生成,发送至FPGA控制单元。
5.根据权利要求4所述的基于硬同步的数字调制
...【技术特征摘要】
1.一种基于硬同步的数字调制与解调系统,其特征在于,包括:上位机、数字采集板卡、信号调制模块以及信号处理板卡;其中,
2.根据权利要求1所述的基于硬同步的数字调制与解调系统,其特征在于,所述数据采集板卡包括:
3.根据权利要求2所述的基于硬同步的数字调制与解调系统,其特征在于,所述基带信号为基频光信号;所述已调模拟信号是已调模拟光信号;
4.根据权利要求3所述的基于硬同步的数字调制与解调系统,其特征在于,所述模拟调制载波的参数序列,由数模转换单元生成,发送至fpga控制单元。
5.根据权利要求4所述的基于硬同步的数字调制与解调系统,其特征在于,所述信号处理板卡,采用dsp芯片,包括:dsp数字控制单元、解调单元、滤波器以及数字信号处理单元;其中,
6.根据权利要求5所述的基于硬同步的数字调制与解调系统,其特征在于,所述信号处理板卡的dsp数...
【专利技术属性】
技术研发人员:马会娟,郭瑞,邱昕,
申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所,
类型:发明
国别省市:
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