【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
技术实现思路
【技术保护点】
1.一种用于坐标定位设备的扫描探针，包括：
2.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，每个可弯折构件的宽度沿其长度变化。
3.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，每个可弯折构件的最外边缘和最内边缘是弯曲的，所述最内边缘的弯曲和所述最外边缘的弯曲是以不同点为中心的圆弧。
4.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，每个可弯折构件的厚度基本上沿其长度不变。
5.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，所述内部部分包括圆形中心毂，所述外部部分包括外环，并且所述多个可弯折构件包括彼此等距间隔开的三个可弯折构件。
6.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，所述应变感测结构包括一体式机加工部件。
7.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，所述多个可弯折构件的厚度小于所述内部部分的厚度和所述外部部分的厚度。
8.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，所述应变感测结构是基本上平面的，并且所述多个可弯折构件在垂直于所述应变感测结构的平面的方向上是可弯折的。
9.根据任一前述权利
10.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，所述触针支架固持触针，使得所述触针轴线位于所述中心轴线上。
11.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，所述内部部分固定到探针壳体，并且所述触针支架连接到所述外部部分。
12.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，所述触针支架通过保护机构连接到所述应变感测结构，所述保护机构包括弹簧，以在没有施加力的情况下将所述触针支架偏置成与所述应变感测结构接触，但是当施加到所述触针支架的外力超过阈值水平时允许所述触针支架与所述应变感测结构脱离接合。
13.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，包括至少一个流体阻尼器，所述至少一个流体阻尼器用于阻尼所述应变感测结构的振荡。
14.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，包括扫描单元，所述扫描单元被配置成从所述至少一个应变感测元件接收信号并产生扫描数据以输出到远程探针接口。
15.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，进一步包括接触触发式单元，所述接触触发式单元被配置成：接收来自所述至少一个应变感测元件的信号；将所接收的信号与触针偏转阈值进行比较；并且当越过所述触针偏转阈值时，产生触发信号以输出到远程探针接口。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于坐标定位设备的扫描探针，包括：
2.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，每个可弯折构件的宽度沿其长度变化。
3.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，每个可弯折构件的最外边缘和最内边缘是弯曲的，所述最内边缘的弯曲和所述最外边缘的弯曲是以不同点为中心的圆弧。
4.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，每个可弯折构件的厚度基本上沿其长度不变。
5.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，所述内部部分包括圆形中心毂，所述外部部分包括外环，并且所述多个可弯折构件包括彼此等距间隔开的三个可弯折构件。
6.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，所述应变感测结构包括一体式机加工部件。
7.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，所述多个可弯折构件的厚度小于所述内部部分的厚度和所述外部部分的厚度。
8.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，所述应变感测结构是基本上平面的，并且所述多个可弯折构件在垂直于所述应变感测结构的平面的方向上是可弯折的。
9.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，至少一个应变感测元件位于每个可弯折构件上。
...【专利技术属性】
技术研发人员：杰米·约翰·白金汉，M·J·A·赫姆斯，史蒂芬·爱德华·卢默斯，
申请(专利权)人：瑞尼斯豪公司，
类型：发明
国别省市：
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