【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
技术实现思路
【技术保护点】
1.一种用于坐标定位设备的扫描探针，包括：
2.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，每个可弯折构件的宽度沿其长度变化。
3.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，每个可弯折构件的最外边缘和最内边缘是弯曲的，所述最内边缘的弯曲和所述最外边缘的弯曲是以不同点为中心的圆弧。
4.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，每个可弯折构件的厚度基本上沿其长度不变。
5.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，所述内部部分包括圆形中心毂，所述外部部分包括外环，并且所述多个可弯折构件包括彼此等距间隔开的三个可弯折构件。p>
6.根据任...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于坐标定位设备的扫描探针，包括：
2.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，每个可弯折构件的宽度沿其长度变化。
3.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，每个可弯折构件的最外边缘和最内边缘是弯曲的，所述最内边缘的弯曲和所述最外边缘的弯曲是以不同点为中心的圆弧。
4.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，每个可弯折构件的厚度基本上沿其长度不变。
5.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，所述内部部分包括圆形中心毂，所述外部部分包括外环，并且所述多个可弯折构件包括彼此等距间隔开的三个可弯折构件。
6.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，所述应变感测结构包括一体式机加工部件。
7.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，所述多个可弯折构件的厚度小于所述内部部分的厚度和所述外部部分的厚度。
8.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，所述应变感测结构是基本上平面的，并且所述多个可弯折构件在垂直于所述应变感测结构的平面的方向上是可弯折的。
9.根据任一前述权利要求所述的扫描探针，其中，至少一个应变感测元件位于每个可弯折构件上。
...【专利技术属性】
技术研发人员：杰米·约翰·白金汉，M·J·A·赫姆斯，史蒂芬·爱德华·卢默斯，
申请(专利权)人：瑞尼斯豪公司，
类型：发明
国别省市：
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