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描述了一种用于坐标定位设备(比如机床)的扫描探针，该扫描探针包括探针本体，该探针本体通过应变感测结构(100)连接到触针支架(102)。应变感测结构具有内部部分(202)，该内部部分通过多个可弯折构件(204)连接到外部部分(200)。每个...
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