【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及水晶器件的制造方法。
技术介绍
1、水晶器件被广泛用于数码相机、智能手机、钟表、个人计算机、电视机、媒体播放器等各类电子设备等之中。水晶器件是产生对于数码控制而言不可或缺的基准信号(时钟)的部件，以人体来比喻时是发挥“心脏”作用的重要部件。(专利文献1)。
2、现有技术文献：
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开2013-089994号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的问题
2、在频率经时变化(老化特性)已成为重要特性的情况下，水晶振动片的电极已从以银电极为主流变成以金电极为主流。但是，金的材料费用昂贵，成为水晶器件的成本上涨的主因。
3、作为改进措施之一，使用金银合金(例如22金或20金等)作为电极材料的技术已实现实用化。但是，对主溅射装置中使用的靶材装置等上附着的金等进行回收、纯化的工序比单独一种金属的情况时复杂，成本降低效果弱。
4、另外，在使用金银合金靶进行成膜时，银均匀分布于金中，因此，在电极最表面也分布有银成分。因此，会与水晶器件的封装体内残留的逸出气体反应，成为与金电极制品相比老化特性差的原因。
5、因此，本专利技术的目的在于，提供能够在不降低老化特性的情况下降低作为原材料费用的贵金属靶的成本的水晶器件。
6、用于解决问题的方案
7、为了达到上述目的，本专利技术的水晶器件的制造方法中，使用旋转台(carousel)型溅射装置，以从水晶振动片
8、在此，第2金属可以为银层。
9、专利技术的效果
10、本专利技术可以提供能够在不降低老化特性的情况下降低作为原材料费用的贵金属的成本的水晶器件。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种水晶器件的制造方法，其使用旋转台型溅射装置，
2.根据权利要求1所述的水晶器件的制造方法，其中，所述第2金属为银层。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种水晶器件的制造方法，其使用旋转台型溅射装置，
2...
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