一种具有声学减速带结构的Lamb波谐振器制造技术

本申请属于射频MEMS器件领域，涉及一种具有声学减速带结构的Lamb波谐振器。本发明专利技术提供的Lamb波谐振器，包括压电振动结构、配置于压电振动结构上表面的顶部叉指电极、配置于压电振动结构下表面的底部叉指电极、配置于顶部叉指电极Bus区域上表面的声学减速带结构。本发明专利技术申请的具有声学减速带结构的Lamb波谐振器，具有高品质因数、高有效机电耦合系数的特点，能够实现大带宽且显著抑制带内纹波的滤波器。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于射频mems器件领域，涉及一种具有声学减速带结构的lamb波谐振器。

技术介绍

1、随着无线通信技术的发展，通信频段资源变得日益拥挤。其中，400mhz附近的频段在军事及公共安全通信，和航空无线电导航等领域发挥着重要的作用，因此迫切需要适用于该频段的高性能滤波器来消除信号间的相互干扰。目前，电磁式滤波器(包括lc滤波器、微带滤波器和介质滤波器等)凭借其制作成本低、周期短等优势在400mhz附近的滤波器市场中实现了商业化应用。然而，电磁式滤波器的体积较大，不利于通信系统的微型化设计，且其性能受温度影响较大，难以胜任极端工作环境。近年来，基于氮化铝(aln)压电薄膜的lamb波声学滤波器凭借其小体积、优异的性能、良好的温度稳定性和可片上多频段集成等优势而受到广泛关注。lamb波滤波器是由多个lamb波谐振器级联而成，谐振器的性能直接影响了滤波器的性能。因此，优化lamb波谐振器的关键性能参数是至关重要的。

2、品质因数(q值)、有效机电耦合系数(k2eff)和频谱纯净度是衡量谐振器性能的关键指标，直接决定了由其构成的滤波器的插入损耗、带外本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有声学减速带结构的Lamb波谐振器，所述Lamb波谐振器的工作频率为410-420MHz，其特征在于，包括声学减速带结构(5)，所述声学减速带结构(5)为配置于所述顶部Bus区域(4)上表面的金属薄膜。

2.根据权利要求1所述的Lamb波谐振器，其特征在于，所述Lamb波谐振器的压电振动结构(1)为钪掺杂浓度9.5％的氮化铝薄膜。

3.根据权利要求2所述的Lamb波谐振器，其特征在于，所述声学减速带结构(5)的材料选自铜或钼。

4.根据权利要求3所述的Lamb波谐振器，其特征在于，所述声学减速带结构(5)厚度为100nm-250nm。

【技术特征摘要】

1.一种具有声学减速带结构的lamb波谐振器，所述lamb波谐振器的工作频率为410-420mhz，其特征在于，包括声学减速带结构(5)，所述声学减速带结构(5)为配置于所述顶部bus区域(4)上表面的金属薄膜。

2.根据权利要求1所述的lamb波谐振器，其特征在于，所述lamb波...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵继聪，马迅言，吕世涛，党岩盟，孙泽鑫，叶文淏，孙海燕，
申请(专利权)人：南通大学，
类型：发明
国别省市：