System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 半导体器件及其制造方法技术_技高网

半导体器件及其制造方法技术

技术编号:41130934 阅读:2 留言:0更新日期:2024-04-30 18:00
一种包括振荡电路的半导体器件,其包括在半导体衬底上形成的具有晕圈区域的MISFET和在该半导体衬底上形成的不具有晕圈区域的多个MISFET。该不具有晕圈区域的多个MISFET的栅极电极彼此电连接。在该振荡电路中包括的晶体管对中使用不具有晕圈区域的多个MISFET。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及一种半导体器件及其制造方法,并且可以适用于例如包括振荡电路的半导体器件及其制造方法。


技术介绍

1、下面列出了公开的技术。

2、[专利文献1]日本特开平9-45906号专利

3、[专利文献2]日本特开2019-9345号专利

4、专利文献1公开了一种在形成源极区域和漏极区域之后形成袋区域的技术。

5、专利文献2公开了与包括振荡电路的半导体器件相关的技术。


技术实现思路

1、期望提高包括振荡电路的半导体器件的性能。

2、从本说明书和附图的描述中,其他目的和新颖特征将变得显而易见。

3、根据一个实施例,包括振荡电路的半导体器件包括半导体衬底、形成在半导体衬底中的多个第一misfet和形成在半导体衬底中的多个第二misfet。多个第一misfet中的每个第一misfet包括晕圈区域,并且多个第二misfet中的每个第二misfet不包括晕圈区域。多个第二misfet用作振荡电路中包括的晶体管对。

4、根据一个实施例,可以提高包括振荡电路的半导体器件的性能。

【技术保护点】

1.一种包括振荡电路的半导体器件,所述半导体器件包括:

2.根据权利要求1所述的半导体器件,包括:

3.根据权利要求1所述的半导体器件,

4.根据权利要求1所述的半导体器件,其包括:

5.根据权利要求1所述的半导体器件,其包括:

6.根据权利要求1所述的半导体器件,

7.根据权利要求1所述的半导体器件,

8.一种包括振荡电路的半导体器件,其包括:

9.根据权利要求8的半导体器件,包括:

10.根据权利要求8的半导体器件,包括:

11.根据权利要求10所述的半导体器件,

12.根据权利要求10所述的半导体器件,

13.根据权利要求10所述的半导体器件,

14.根据权利要求13所述的半导体器件,

15.根据权利要求13所述的半导体器件,

16.一种制造包括振荡电路的半导体器件的方法,所述方法包括:

17.根据权利要求16所述的方法,

18.根据权利要求16所述的方法,

19.根据权利要求16所述的方法,

20.根据权利要求16所述的方法,

...

【技术特征摘要】

1.一种包括振荡电路的半导体器件,所述半导体器件包括:

2.根据权利要求1所述的半导体器件,包括:

3.根据权利要求1所述的半导体器件,

4.根据权利要求1所述的半导体器件,其包括:

5.根据权利要求1所述的半导体器件,其包括:

6.根据权利要求1所述的半导体器件,

7.根据权利要求1所述的半导体器件,

8.一种包括振荡电路的半导体器件,其包括:

9.根据权利要求8的半导体器件,包括:

10.根据权利要求8的半导体器件,包括:...

【专利技术属性】
技术研发人员:池田菜摘河合彻
申请(专利权)人:瑞萨电子株式会社
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1