【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆清洗机，尤其涉及一种晶圆清洗机台自动化装置。
技术介绍
1、晶圆是在半导体制造过程中使用的一种基础材料，通常由单晶硅材料制成的圆片状物体，晶圆在集成电路的制造中具有重要的作用，而晶圆在生产后需要对晶圆的表面进行清理，以去除在制造过程中产生的杂质、残留物和污染物，常使用清洗机对其进行清洗。
2、传统的清洗机是由容纳晶圆的盒子，以及电动伸缩杆、毛刷、水泵、水管和喷头等部分组成，工作时，员工将晶圆放置在盒子上，并驱动电动伸缩杆带动毛刷对晶圆进行清理，同时驱动水泵使清理液进入水管并通过喷头喷出，可以对晶圆的表面进行清洁和冲洗，当清理完成后将晶圆取下，并替换上另一个需要清洗的晶圆，虽然可以完成对晶圆的清理，但是这种方式需要员工持续上料，同时员工精力有限，持续的工作会导致员工的劳动强度提高并会降低晶圆的清理效率，为此提出一种晶圆清洗机台自动化装置来解决上述问题。
技术实现思路
1、为了弥补以上不足，本技术提供了一种晶圆清洗机台自动化装置，旨在改善现有技术中需要员工持续上料的问题。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种晶圆清洗机台自动化装置，包括储水箱，所述储水箱的左右两侧均固定连接有运输组件，其中一个所述运输组件的顶部固定连接有上料组件，其中一个所述运输组件的右侧固定连接有清理组件，所述运输组件的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板的中部设置有移动组件，所述移动组件的中部滑动连接有升降组件，所述升降组件的底部固定连接有运料组件，所述储水箱的中部
3、所述上料组件包括壳体，所述壳体固定连接在其中一个运输组件的顶部，所述壳体的内部固定连接有多级液压缸，所述多级液压缸的输出端固定连接有齿条，所述壳体的内部转动连接有齿轮，所述齿条和齿轮相互啮合，所述齿轮的顶部固定连接有转盘，所述转盘的外侧固定连接有两个连接板，所述连接板的顶部固定连接有存料盒，所述转盘的顶部固定连接有两个电动推杆，所述电动推杆的输出端固定连接有推板，所述推板滑动连接在存料盒的中部。
4、作为上述技术方案的进一步描述：
5、所述清理组件包括电机一，所述电机一固定连接在其中一个运输组件的右侧，所述电机一的输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外周螺纹连接有螺母座，所述螺母座滑动连接在储水箱的前侧，所述螺母座的顶部固定连接有电机二，所述电机二的输出端固定连接有毛刷，所述毛刷和放料盘相接触。
6、作为上述技术方案的进一步描述：
7、所述存料盒的顶部开设有放料口。
8、作为上述技术方案的进一步描述：
9、所述存料盒的左右两侧均开设有下料口，所述推板具体滑动连接在下料口的中部。
10、作为上述技术方案的进一步描述：
11、所述存料盒的右侧设置有斜槽。
12、作为上述技术方案的进一步描述：
13、所述螺纹杆的顶部固定连接有罩体，所述电机二具体固定连接在罩体的中部。
14、作为上述技术方案的进一步描述：
15、所述转盘的顶部固定连接有防尘罩，所述电动推杆具体固定连接在防尘罩的内部。
16、本技术具有如下有益效果：
17、1、本技术中，通过多级液压缸、齿条、齿轮、转盘、连接板、存料盒、电动推杆、推板等结构的相互配合下，通过驱动电动推杆可将放置在存料盒的晶圆推入运输组件的顶部进行运输，通过驱动多级液压缸可使对存料盒进行更换，可对晶圆进行存储并进行依次下料工作，进而降低了员工的劳动强度，同时提高了晶圆清理的效率。
18、2、本技术中，通过电机一、螺纹杆、螺母座、电机二、毛刷等结构的相互配合下，通过驱动电机一可带动毛刷对晶圆进行清理，同时通过驱动电机二可带动毛刷进行转动，可使毛刷在旋转的过程中对晶圆进行清理，进而提高了清理晶圆的效率。
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1.一种晶圆清洗机台自动化装置，包括储水箱(1)，其特征在于：所述储水箱(1)的左右两侧均固定连接有运输组件(4)，其中一个所述运输组件(4)的顶部固定连接有上料组件(2)，其中一个所述运输组件(4)的右侧固定连接有清理组件(3)，所述运输组件(4)的顶部固定连接有支撑板(5)，所述支撑板(5)的中部设置有移动组件(12)，所述移动组件(12)的中部滑动连接有升降组件(6)，所述升降组件(6)的底部固定连接有运料组件(7)，所述储水箱(1)的中部固定连接有过滤网(10)，所述过滤网(10)的顶部固定连接有放料盘(11)，所述储水箱(1)的内部固定连接有水泵(8)，所述水泵(8)的输出端固定连接有出水管(9)，所述出水管(9)朝向放料盘(11)；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机台自动化装置，其特征在于：所述清理组件(3)包括电机一(301)，所述电机一(301)固定连接在其中一个运输组件(4)的右侧，所述电机一(301)的输出端固定连接有螺纹杆(302)，所述螺纹杆(302)的外周螺纹连接有螺母座(303)，所述螺母座(303)滑动连接在储水箱(1)的前侧，所述
3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机台自动化装置，其特征在于：所述存料盒(207)的顶部开设有放料口。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机台自动化装置，其特征在于：所述存料盒(207)的左右两侧均开设有下料口，所述推板(209)具体滑动连接在下料口的中部。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆清洗机台自动化装置，其特征在于：所述存料盒(207)的右侧设置有斜槽。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机台自动化装置，其特征在于：所述转盘(205)的顶部固定连接有防尘罩，所述电动推杆(208)具体固定连接在防尘罩的内部。
7.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗机台自动化装置，其特征在于：所述螺纹杆(302)的顶部固定连接有罩体，所述电机二(304)具体固定连接在罩体的中部。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗机台自动化装置，包括储水箱(1)，其特征在于：所述储水箱(1)的左右两侧均固定连接有运输组件(4)，其中一个所述运输组件(4)的顶部固定连接有上料组件(2)，其中一个所述运输组件(4)的右侧固定连接有清理组件(3)，所述运输组件(4)的顶部固定连接有支撑板(5)，所述支撑板(5)的中部设置有移动组件(12)，所述移动组件(12)的中部滑动连接有升降组件(6)，所述升降组件(6)的底部固定连接有运料组件(7)，所述储水箱(1)的中部固定连接有过滤网(10)，所述过滤网(10)的顶部固定连接有放料盘(11)，所述储水箱(1)的内部固定连接有水泵(8)，所述水泵(8)的输出端固定连接有出水管(9)，所述出水管(9)朝向放料盘(11)；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机台自动化装置，其特征在于：所述清理组件(3)包括电机一(301)，所述电机一(301)固定连接在其中一个运输组件(4)的右侧，所述电机一(301)的输出端固定连接有螺纹杆(302)，所述螺纹杆(302)的外周螺纹连接有螺母座(303)，...
【专利技术属性】
技术研发人员：王红佳，王红星，王守国，王天奇，
申请(专利权)人：天津市晓川过滤设备发展有限公司，
类型：新型
国别省市：
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