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本技术涉及晶圆清洗机技术领域,公开了一种晶圆清洗机台自动化装置,包括储水箱,所述储水箱的左右两侧均固定连接有运输组件,其中一个所述运输组件的顶部固定连接有上料组件,其中一个所述运输组件的右侧固定连接有清理组件,所述运输组件的顶部固定连接有支...该专利属于天津市晓川过滤设备发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津市晓川过滤设备发展有限公司授权不得商用。
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