一种半导体机台附属产物循环冷凝处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公布了一种半导体机台附属产物循环冷凝处理装置，包括底座、冷凝器和阀门，所述底座的右侧顶端固定安装有冷凝器，且冷凝器的顶端左侧固定安装有第一通管，所述底座的内部开设有收集槽，所述底座的左侧固定安装有出液管，且出液管的左端外壁固定安装有阀门，所述底座的左侧顶端固定安装有支撑管，且支撑管的顶端固定安装有冷凝罐，所述冷凝罐的内部顶端固定安装有支撑杆，且支撑杆的底端固定安装有挡块。本实用新型专利技术设置有集灰槽和通孔，可以将气体中的灰尘进行过滤，套筒和安装块可以将集灰槽从进气管的内部脱离，方便对灰尘进行清洗，扇叶可以将气体与冷凝气体进行混合，使冷凝的效果更加好，更加快速。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体机台附属产物循环冷凝处理装置
本技术涉及冷凝处理装置
，具体为一种半导体机台附属产物循环冷凝处理装置。
技术介绍
随着社会的不断发展，工业的不断进步，半导体机台是生产半导体材料的一种机器，半导体是指常温情况导电性能介于导体与绝缘体之间的一种材料，具有广泛的用途，在半导体生产中，常常需要硅等气体进行冷凝，随后进行生产。但是现有的半导体机台附属产物循环冷凝处理装置只是简单的进行冷凝作用，气体中含有的一些空气灰尘会随之一起冷凝，导致实验的精度有所欠缺，使用较为不便，因此亟需一种半导体机台附属产物循环冷凝处理装置来解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体机台附属产物循环冷凝处理装置，以解决上述
技术介绍
中提出的在气体冷凝时，气体中含有的一些空气灰尘会一起冷凝，导致实验的精度有所欠缺等问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体机台附属产物循环冷凝处理装置，包括底座、冷凝器和阀门，所述底座的右侧顶端固定安装有冷凝器，且冷凝器的顶端左侧固定安装有第一通管，所述底座的内部开设有收集槽，所述底座的左侧固定安装有出液管，且出液管的左端外壁固定安装有阀门，所述底座的左侧顶端固定安装有支撑管，且支撑管的顶端固定安装有冷凝罐，所述冷凝罐的内部顶端固定安装有支撑杆，且支撑杆的底端固定安装有挡块，所述支撑杆的底端外壁套接有轴套，所述轴套的外壁固定安装有扇叶，所述冷凝罐的左侧固定安装有进气管，且进气管的外壁插设有套筒，所述套筒的顶端插设有转杆，且转杆的顶端固定安装有安装块，所述转杆的底端固定安装有挤压板，所述套筒的内部中间位置处固定安装有集灰槽，且集灰槽的两侧皆开设有通孔。优选的，所述第一通管为倾斜设置，且第一通管插设在冷凝罐的内部。优选的，所述收集槽的底端靠近出液管的一端为倾斜设置，所述收集槽与出液管相连通。优选的，所述轴套的内壁直径与支撑杆的外壁直径大小相等，所述轴套与挡块组成转动式结构。优选的，所述转杆的外壁设置有外螺纹，所述套筒的内壁设置有内螺纹，所述转杆与套筒螺纹连接。优选的，所述通孔的靠近集灰槽一端的内壁直径逐渐减小，两组所述通孔关于集灰槽呈对称关系。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该半导体机台附属产物循环冷凝处理装置设置有集灰槽和通孔，可以将气体中的灰尘进行过滤，套筒和安装块可以将集灰槽从进气管的内部脱离，方便对灰尘进行清洗，扇叶可以将气体与冷凝气体进行混合，使冷凝的效果更加好，更加快速。(1)该装置设置有集灰槽和通孔，气体从进气管处进入到冷凝罐的内部，随后气体通过通孔进入到集灰槽的内部，随后通孔对灰尘进行阻挡，使灰尘无法通过通孔进入到冷凝罐的内部，进而使灰尘遗留在集灰槽的内部，进而对气体中的灰尘进行过滤，避免灰尘进入到冷凝罐的内部冷凝后吸附在冷凝罐的内壁，使冷凝的效果更好，使用方便。(2)该装置设置有安装块和套筒，转动安装块，安装块带动转杆进行转动，随后通过螺纹结构使转杆在套筒的顶端进行上升，随后转杆带动挤压板进行上升，随后使挤压板与进气管的外壁脱离，进而可以使套筒与进气管脱离，方便对集灰槽的内部进行清理，使集灰槽的过滤效果更好，使用方便。(3)该装置设置有扇叶，冷凝器将冷凝气体通过第一通管输送进入到冷凝罐的内部，随后气体对扇叶进行冲击，使扇叶发生转动，随后扇叶带动冷凝罐内部的气体进行转动，进而使冷凝气体与硅等气体进行充分混合，加大了冷凝气体与硅气体的接触面积，从而加快了冷凝的所需时间，使冷凝的效果更好，使用方便。附图说明图1为本技术的正视剖面结构示意图；图2为本技术的俯视剖面结构示意图；图3为本技术图1中A处的放大结构示意图。图中：1、底座；2、冷凝器；3、第一通管；4、收集槽；5、出液管；6、阀门；7、支撑管；8、冷凝罐；9、支撑杆；10、挡块；11、轴套；12、扇叶；13、进气管；14、套筒；15、安装块；16、转杆；17、挤压板；18、集灰槽；19、通孔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供的一种实施例：一种半导体机台附属产物循环冷凝处理装置，包括底座1、冷凝器2和阀门6，该冷凝器2的型号可以为YY120-50/4，底座1的右侧顶端固定安装有冷凝器2，且冷凝器2的顶端左侧固定安装有第一通管3，第一通管3为倾斜设置，且第一通管3插设在冷凝罐8的内部，冷凝器2中的冷凝气可以通过第一通管3进入到冷凝罐8的内部，随后通过第一通管3在冷凝罐8的内部进行转动循环状态，加大了冷凝气与冷凝罐8内部的气体接触面积，从而使冷凝的效果更好，使用方便。底座1的内部开设有收集槽4，底座1的左侧固定安装有出液管5，且出液管5的左端外壁固定安装有阀门6，收集槽4的底端靠近出液管5的一端为倾斜设置，收集槽4与出液管5相连通，冷凝后的气体变成液体通过支撑管7进入到收集槽4的内部，随后在收集槽4的内部进行存储，随后通过打开阀门6可以将收集槽4的内部的液体取出，使用方便。底座1的左侧顶端固定安装有支撑管7，且支撑管7的顶端固定安装有冷凝罐8，冷凝罐8的内部顶端固定安装有支撑杆9，且支撑杆9的底端固定安装有挡块10，支撑杆9的底端外壁套接有轴套11，轴套11的外壁固定安装有扇叶12，轴套11的内壁直径与支撑杆9的外壁直径大小相等，轴套11与挡块10组成转动式结构，冷凝器2将冷凝气体通过第一通管3输送进入到冷凝罐8的内部，随后气体对扇叶12进行冲击，使扇叶12发生转动，随后扇叶12带动冷凝罐8内部的气体进行转动，进而使冷凝气体与硅等气体进行充分混合，加大了冷凝气体与硅气体的接触面积，从而加快了冷凝的所需时间，使冷凝的效果更好，使用方便。冷凝罐8的左侧固定安装有进气管13，且进气管13的外壁插设有套筒14，套筒14的顶端插设有转杆16，且转杆16的顶端固定安装有安装块15，转杆16的底端固定安装有挤压板17，转杆16的外壁设置有外螺纹，套筒14的内壁设置有内螺纹，转杆16与套筒14螺纹连接，转动安装块15，安装块15带动转杆16进行转动，随后通过螺纹结构使转杆16在套筒14的顶端进行上升，随后转杆16带动挤压板17进行上升，随后使挤压板17与进气管13的外壁脱离，进而可以使套筒14与进气管13脱离，方便对集灰槽18的内部进行清理，使集灰槽18的过滤效果更好，使用方便。套筒14的内部中间位置处固定安装有集灰槽18，且集灰槽18的两侧皆开设有通孔19，通孔19的靠近集灰槽18一端的内壁直径逐渐减小，两组通孔19关于集灰槽18呈对称关系，气体从进气管13处进入到冷凝罐8的内部，随后气体通过通孔19进入到集灰槽18的内部，随后通本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体机台附属产物循环冷凝处理装置，包括底座(1)、冷凝器(2)和阀门(6)，其特征在于：所述底座(1)的右侧顶端固定安装有冷凝器(2)，且冷凝器(2)的顶端左侧固定安装有第一通管(3)，所述底座(1)的内部开设有收集槽(4)，所述底座(1)的左侧固定安装有出液管(5)，且出液管(5)的左端外壁固定安装有阀门(6)，所述底座(1)的左侧顶端固定安装有支撑管(7)，且支撑管(7)的顶端固定安装有冷凝罐(8)，所述冷凝罐(8)的内部顶端固定安装有支撑杆(9)，且支撑杆(9)的底端固定安装有挡块(10)，所述支撑杆(9)的底端外壁套接有轴套(11)，所述轴套(11)的外壁固定安装有扇叶(12)，所述冷凝罐(8)的左侧固定安装有进气管(13)，且进气管(13)的外壁插设有套筒(14)，所述套筒(14)的顶端插设有转杆(16)，且转杆(16)的顶端固定安装有安装块(15)，所述转杆(16)的底端固定安装有挤压板(17)，所述套筒(14)的内部中间位置处固定安装有集灰槽(18)，且集灰槽(18)的两侧皆开设有通孔(19)。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体机台附属产物循环冷凝处理装置，包括底座(1)、冷凝器(2)和阀门(6)，其特征在于：所述底座(1)的右侧顶端固定安装有冷凝器(2)，且冷凝器(2)的顶端左侧固定安装有第一通管(3)，所述底座(1)的内部开设有收集槽(4)，所述底座(1)的左侧固定安装有出液管(5)，且出液管(5)的左端外壁固定安装有阀门(6)，所述底座(1)的左侧顶端固定安装有支撑管(7)，且支撑管(7)的顶端固定安装有冷凝罐(8)，所述冷凝罐(8)的内部顶端固定安装有支撑杆(9)，且支撑杆(9)的底端固定安装有挡块(10)，所述支撑杆(9)的底端外壁套接有轴套(11)，所述轴套(11)的外壁固定安装有扇叶(12)，所述冷凝罐(8)的左侧固定安装有进气管(13)，且进气管(13)的外壁插设有套筒(14)，所述套筒(14)的顶端插设有转杆(16)，且转杆(16)的顶端固定安装有安装块(15)，所述转杆(16)的底端固定安装有挤压板(17)，所述套筒(14)的内部中间位置处固定安装有集灰槽(18)，且集灰槽(18)的两侧皆开设有通孔(19)。


2.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：王天奇，
申请(专利权)人：天津市晓川过滤设备发展有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12