【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学器件制造领域，特别涉及一种高效的玻璃微孔制备装置及方法。
技术介绍
1、玻璃通孔（through glass via，tgv）技术在半导体2.5d和3d先进封装领域具有重要作用。相比硅基中介层，玻璃中介层具有高频电学性能优越、热稳定性良好、可调节热膨胀系数、低成本和大尺寸等优势。可以被广泛应用于高密度微电子系统中的电导通基底器件的制造，实现高频芯片、先进微机电系统（mems）、传感器等的低损耗传输。
2、然而，传统制孔技术在玻璃通孔制备过程中存在诸多问题，如表面缺陷、加工热损伤、应力裂纹、孔距难控和低生产效率等，限制了tgv技术的广泛应用。
3、为解决这些问题，专利cn202211088286.4公开了一种多点贝塞尔光束玻璃打孔装置及方法，提出了一种采用多点贝塞尔光束加工的方法，再结合湿法选择性刻蚀的方法实现高效高质量的tgv通孔制备方法。其加工效率仍然有进一步提高空间，针对以上问题以下提出一种解决方案。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一...
【技术保护点】
1.一种高效的玻璃微孔制备装置，其特征在于，包括激光器(1)、控制台(4)、衍射光学元件(3)、光路控制系统(2)和运动控制系统(5)；
2.根据权利要求1所述的一种高效的玻璃微孔制备装置，其特征在于，所述激光器(1)输出的激光光束为红激光或绿光激光。
3.根据权利要求1所述的一种高效的玻璃微孔制备装置，其特征在于，所述衍射光学元件(3)用于对出射脉冲激光进行光束整形，将单一光束变化为周期性排布的多点光束。
4.根据权利要求1所述的一种高效的玻璃微孔制备装置，其特征在于，所述光路控制系统(2)，用于对光路和光束进行变化满足衍射光学元...
【技术特征摘要】
1.一种高效的玻璃微孔制备装置，其特征在于，包括激光器(1)、控制台(4)、衍射光学元件(3)、光路控制系统(2)和运动控制系统(5)；
2.根据权利要求1所述的一种高效的玻璃微孔制备装置，其特征在于，所述激光器(1)输出的激光光束为红激光或绿光激光。
3.根据权利要求1所述的一种高效的玻璃微孔制备装置，其特征在于，所述衍射光学元件(3)用于对出射脉冲激光进行光束整形，将单一光束变化为周期性排布的多点光束。
4.根据权利要求1所述的一种高效的玻璃微孔制备装置，其特征在于，所述光路控制系统(2)，用于对光路和光束进行变化满足衍射光学元件(3)入射要求。
5.根据权利要求1所述的一种高效的玻璃微孔制备装置，其特征在于，所述控制台(4)上放置的待加工样品表面扫描激光束，形成密集排布的微孔阵列(12)。
6.根据权利要求1所述的一种高效的玻璃微...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋立佳，李夏，蒋仕彬，
申请(专利权)人：杭州银湖激光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。