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本发明公开了一种高效的玻璃微孔制备装置及方法，包括激光器、控制台、衍射光学元件、光路控制系统和运动控制系统；所述激光器，用于输出激光光束，其输出脉宽介于10飞秒‑500飞秒之间的脉冲激光光束，其输出功率大于50瓦；所述控制台用于承载待加工样...
该专利属于杭州银湖激光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州银湖激光科技有限公司授权不得商用。

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