【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学精密测量，具体涉及一种用于离轴非球柱面镜的非零位干涉测量装置及方法。
技术介绍
1、柱面光学元件一般指仅在一个方向上有曲率的光学元件，可以实现光束的单轴向变换，在成像激光雷达、制导武器、高能激光等事关国家安全的领域中离轴非球柱面元件发挥着重要作用；此外，在全息照明、医疗内窥镜、扫描成像及检测、先进同步辐射光源等其他领域光学系统中，也广泛地应用了复杂离轴非球柱面元件，甚至成为某些系统中起支撑作用的关键部件。
2、目前限制柱面光学元件、特别是离轴非球柱面光学元件制造精度的主要因素仍然是测量方法与测量精度。常规的接触式测量方法(如三坐标、轮廓仪)、几何光学测量方法(如结构光测量、长程面形仪)、非接触式扫描测量设备(如luphoscan、nanomefos)在测量精度或测量范围等方面均存在不足。
3、针对离轴非球柱面光学元件的高精度测量需求，干涉法是最有望满足需求的方法，用于离轴非球柱面光学元件的干涉测量法从补偿方式上可分为零位干涉法与非零位干涉法，其中，零位干涉法具有极高的精度，但针对不同形状的离轴非...
【技术保护点】
1.一种用于离轴非球柱面镜的非零位干涉测量装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于离轴非球柱面镜的非零位干涉测量装置，其特征在于，还包括计算机(50)，所述计算机(50)与所述干涉仪(10)连接，用于接收并处理所述干涉仪(10)的干涉数据，以对待测离轴非球柱面镜(1)进行测量。
3.根据权利要求2所述的用于离轴非球柱面镜的非零位干涉测量装置，其特征在于，所述计算机(50)与所述正交位移机构连接，用于控制所述正交位移机构(20)沿x轴方向和y轴方向位移。
4.根据权利要求1所述的用于离轴非球柱面镜的非零位干涉测量装置，其...
【技术特征摘要】
1.一种用于离轴非球柱面镜的非零位干涉测量装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于离轴非球柱面镜的非零位干涉测量装置，其特征在于，还包括计算机(50)，所述计算机(50)与所述干涉仪(10)连接，用于接收并处理所述干涉仪(10)的干涉数据，以对待测离轴非球柱面镜(1)进行测量。
3.根据权利要求2所述的用于离轴非球柱面镜的非零位干涉测量装置，其特征在于，所述计算机(50)与所述正交位移机构连接，用于控制所述正交位移机构(20)沿x轴方向和y轴方向位移。
4.根据权利要求1所述的用于离轴非球柱面镜的非零位干涉测量装置，其特征在于，所述补偿组件(30)包括补偿副(31)和球面柱面非零位补偿镜(32)，所述球面柱面非零位补偿镜(32)与所述补偿副(31)可拆卸连接；
5.根据权利要求1所述的用于离轴非球柱面镜的非零位干涉测量装置，其特征在于，所述正交位移机构(20)包括移动...
【专利技术属性】
技术研发人员：臧仲明，陈杨，李柱，海阔，黄文，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，
类型：发明
国别省市：
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