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本发明公开了一种用于离轴非球柱面镜的非零位干涉测量装置，包括干涉仪、正交位移机构、补偿组件及反射标准镜，干涉仪能够沿z轴方向输出平行光，干涉仪的端口设有透射标准镜，平行光垂直透过透射标准镜形成输出光，平行光经透射标准镜反射形成参考光；正交位...
该专利属于中国工程物理研究院机械制造工艺研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院机械制造工艺研究所授权不得商用。

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