【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种干涉衍射测量装置及其结构复原方法，尤其涉及一种微结构的干涉衍射测量装置及其结构复原方法。
技术介绍
1、傅里叶变换全息是被广泛应用于复原二维或三维复杂微结构的无透镜成像技术。该方法虽然只需对全息图进行傅里叶变换就可以实现对复杂微结构的快速复原，但存在无法消除的零级斑和共轭像。2014年oren raz等人在optics express期刊上发表了题为direct phase retrieval in double blind fourier holography的论文，他们首次报道了使用double-blind fourier holography(dbfh)方法实现复杂二维结构的复原。此后，ben leshem等人于次年在nature communications期刊上发表的题为direct single-shotphase retrieval from the diffraction pattem of separated objects文章，他们利用傅里叶变换全息技术结合dbfh算法实现了对两个微小物体振幅和相位...
【技术保护点】
1.一种微结构的干涉衍射测量装置，其特征在于，包括相干光源、偏振片、扩束准直系统、第一分束棱镜、衰减片、第一反射镜、微结构产生装置、第二双凸透镜、第二分束棱镜和CCD，由相干光源发出的光经过偏振片和扩束准直系统后，再经过第一分束棱镜分为两路光，一路通过衰减片后被第一反射镜反射形成参考光，另一路到达微结构产生装置形成衍射光，衍射光经过第二双凸透镜后，与参考光在第二分束棱镜合束后发生干涉，第二双凸透镜的像方焦平面经过第二分束棱镜后发生平移，将CCD感光面放置在平移后的像面上。
2.根据权利要求1所述的一种微结构的干涉衍射测量装置，其特征在于，所述微结构产生装置...
【技术特征摘要】
1.一种微结构的干涉衍射测量装置，其特征在于，包括相干光源、偏振片、扩束准直系统、第一分束棱镜、衰减片、第一反射镜、微结构产生装置、第二双凸透镜、第二分束棱镜和ccd，由相干光源发出的光经过偏振片和扩束准直系统后，再经过第一分束棱镜分为两路光，一路通过衰减片后被第一反射镜反射形成参考光，另一路到达微结构产生装置形成衍射光，衍射光经过第二双凸透镜后，与参考光在第二分束棱镜合束后发生干涉，第二双凸透镜的像方焦平面经过第二分束棱镜后发生平移，将ccd感光面放置在平移后的像面上。
2.根据权利要求1所述的一种微结构的干涉衍射测量装置，其特征在于，所述微结构产生装置采用振幅或相位调制器，包括反射型振幅或相位调制器和透射型振幅或相位调制器。
3.根据权利要求2所述的一种微结构的干涉衍射测量装置，其特征在于，所述微结构产生装置采用反射型振幅或相位调制器时，在微结构产生装置前方的光路上放置第三反射镜和第二反射镜。
4.根据权利要求1所述的一种微结构的干涉衍射测量装置，其特征在于，所述第二双凸透镜将衍射图样成像在透镜像方焦平面上。
5.根据权利要求4所述的一种微结构的干涉衍射测量装置，其特征在于，所述第二分束棱镜导致衍射图样的像面发生平移，平移...
【专利技术属性】
技术研发人员：荆庆丽，汪园香，窦健泰，喻子曦，鲍柯宇，金忠成，胡友友，赵明琳，刘俊，
申请(专利权)人：江苏科技大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。