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本发明公开了一种微结构的干涉衍射测量装置及其结构复原方法，包括相干光源，由相干光源发出的光经过偏振片和扩束准直系统后经第一分束棱镜分为两路光，一路通过衰减片后被第一反射镜反射形成参考光，另一路到达微结构产生装置形成衍射光，衍射光经过第二双凸...
该专利属于江苏科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏科技大学授权不得商用。

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