一种石英玻璃加热清洗槽制造技术

技术编号:41078525 阅读:2 留言:0更新日期:2024-04-25 10:32
本技术提供一种石英玻璃加热清洗槽,包括支架、固定壳以及载料盒,支架内部左右端通过多个连体支杆分别固定有石英玻璃清洗槽与收集槽,收集槽内部右端贯穿设置有喷头支管,且喷头支管左端安装有清洗喷头,固定壳固定在支架内部上端,固定壳右端安装有正反转电机,所述固定壳内部通过轴承安装有滚珠丝杆,且滚珠丝杆与正反转电机传动连接,滚珠丝杆环形侧面套有丝杆套筒,丝杆套筒下端安装有工字滑板,该设计解决了原有装置整体操作较为麻烦,不利于推广的问题,本技术结构合理,实用性好,整体操作简单快捷,利于推广。

【技术实现步骤摘要】

本技术是一种石英玻璃加热清洗槽,属于石英玻璃。


技术介绍

1、硅片在生产结束后其表面会有一些有机物残留无法人工去除,因此需要进行热酸洗去除有机物,目前,硅片的清洗通常是在石英玻璃加热清洗槽中进行。

2、中国专利号:cn213495298u,提及了一种石英玻璃加热清洗槽,通过设置喷头,在进行酸洗的过程中,先将硅片放置于载料斗内,电动滑轨驱动滑块向下移动,通过冲洗箱和导水箱,直至载料斗浸入清洗槽内的酸液内进行清洗,当清洗结束时,电动滑轨驱动载料斗上移,直至挡块嵌入冲洗箱的顶壁内,同时电动推杆推动两个导流挡板拼接,此时,将两个喷头外接水源从而对载料斗以及其内部的硅片进行水洗,以冲掉其表面的酸液,而混合有酸液的水通过导水槽进入连通槽,最终由出水管排出而进行集中处理,而挡块可防止冲洗的过程中酸液飞溅,整个过程都在相对密闭的空间内进行且水洗不影响清洗槽内酸液的ph值,达到了无接触水洗的效果,但该装置整体操作较为麻烦,不利于推广,现在急需一种石英玻璃加热清洗槽来解决上述出现的问题。


技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足,本技术目的是提供一种石英玻璃加热清洗槽,以解决上述
技术介绍
中提出的问题,本技术结构合理,实用性好,整体操作简单快捷,利于推广。

2、为了实现上述目的,本技术是通过如下的技术方案来实现:一种石英玻璃加热清洗槽,包括支架、固定壳以及载料盒,所述支架内部左右端通过多个连体支杆分别固定有石英玻璃清洗槽与收集槽,所述收集槽内部右端贯穿设置有喷头支管,且喷头支管左端安装有清洗喷头,所述固定壳固定在支架内部上端,所述固定壳右端安装有正反转电机,所述固定壳内部通过轴承安装有滚珠丝杆,且滚珠丝杆与正反转电机传动连接,所述滚珠丝杆环形侧面套有丝杆套筒,所述丝杆套筒下端安装有工字滑板,且工字滑板下端贯穿固定壳固定有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆下端固定有伺服电机,所述载料盒上端左右两侧对称固定有折弯卡块。

3、进一步地,所述石英玻璃清洗槽环形侧面设置有加热丝,所述石英玻璃清洗槽与收集槽左侧下端均贯穿设置有排液管,且两个排液管环形侧面均设置有阀门。

4、进一步地,所述载料盒环形侧面等距离贯穿开设有多个条形通槽,所述载料盒前端上侧固定有防腐蚀把手。

5、进一步地,所述喷头支管右端与外界清洗泵相连接。

6、进一步地,所述正反转电机、电动伸缩杆以及伺服电机均通过导线与外界控制器进行双向电性连接。

7、进一步地,所述伺服电机电机轴端固定有卡板,所述卡板前端左右两侧对称开设有折弯槽,两个所述折弯卡块完全卡设在两个折弯槽内。

8、本技术的有益效果:本技术的一种石英玻璃加热清洗槽,因本技术添加了石英玻璃清洗槽、收集槽、连体支杆、清洗喷头、固定壳、滚珠丝杆、正反转电机、丝杆套筒、工字滑板、电动伸缩杆、伺服电机、卡板、折弯卡块以及载料盒,经过我们的设计改进及实际使用表明,本装置能够对硅片进行无接触酸洗及冲洗,且整体操作便捷程度比上述对比文件最起码提高百分之二十,同时较为安全,利于推广。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种石英玻璃加热清洗槽,包括支架(1)、固定壳(6)以及载料盒(17),其特征在于:所述支架(1)内部左右端通过多个连体支杆(4)分别固定有石英玻璃清洗槽(2)与收集槽(3),所述收集槽(3)内部右端贯穿设置有喷头支管(7),且喷头支管(7)左端安装有清洗喷头(5);

2.根据权利要求1所述的一种石英玻璃加热清洗槽,其特征在于:所述石英玻璃清洗槽(2)环形侧面设置有加热丝,所述石英玻璃清洗槽(2)与收集槽(3)左侧下端均贯穿设置有排液管,且两个排液管环形侧面均设置有阀门。

3.根据权利要求1所述的一种石英玻璃加热清洗槽,其特征在于:所述载料盒(17)环形侧面等距离贯穿开设有多个条形通槽(19),所述载料盒(17)前端上侧固定有防腐蚀把手(18)。

4.根据权利要求1所述的一种石英玻璃加热清洗槽,其特征在于:所述喷头支管(7)右端与外界清洗泵相连接。

5.根据权利要求1所述的一种石英玻璃加热清洗槽,其特征在于:所述正反转电机(10)、电动伸缩杆(13)以及伺服电机(14)均通过导线与外界控制器进行双向电性连接。

6.根据权利要求1所述的一种石英玻璃加热清洗槽,其特征在于:所述伺服电机(14)电机轴端固定有卡板(15),所述卡板(15)前端左右两侧对称开设有折弯槽,两个所述折弯卡块(16)完全卡设在两个折弯槽内。

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【技术特征摘要】

1.一种石英玻璃加热清洗槽,包括支架(1)、固定壳(6)以及载料盒(17),其特征在于:所述支架(1)内部左右端通过多个连体支杆(4)分别固定有石英玻璃清洗槽(2)与收集槽(3),所述收集槽(3)内部右端贯穿设置有喷头支管(7),且喷头支管(7)左端安装有清洗喷头(5);

2.根据权利要求1所述的一种石英玻璃加热清洗槽,其特征在于:所述石英玻璃清洗槽(2)环形侧面设置有加热丝,所述石英玻璃清洗槽(2)与收集槽(3)左侧下端均贯穿设置有排液管,且两个排液管环形侧面均设置有阀门。

3.根据权利要求1所述的一种石英玻璃加热清洗槽,其特征在于:所述载料盒(17)环形侧面等距...

【专利技术属性】
技术研发人员:万沂江万曌陈建威宋程
申请(专利权)人:新沂市东方石英玻璃有限公司
类型:新型
国别省市:

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