【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于靶材制备，涉及一种脱气管的闭气方法。
技术介绍
1、大规模集成电路使用溅射靶材进行真空溅镀。用粉末冶金的方法制作溅射靶材时，粉末等静压成型时容易发生氧化现象，需将粉末装入包套内，经过脱气处理，再将包套密封，然后放入等静压炉中进行致密化；溅射靶材与背板在进行扩散焊接时，也需要先制作相应包套来防止氧化，经过脱气处理，再将包套密封，然后放入等静压炉中进行焊接。
2、但在包套完成后内部还是会有空气，需要做脱气处理，这时就需要一个管道连接外部的包裹物，用设备将内部的空气及产品内的气体排出，通常使用最多的是铝、铁等材质做脱气管来进行连接脱气，完成后再进行闭气处理。
3、cn102513797a公开了一种脱气管的密封方法，所述脱气管的第一端连接真空设备，第二端连接真空包套；在加热环境中进行抽真空处理后，执行所述密封方法；所述密封方法包括：将所述脱气管的第一端脱离真空设备；对所述脱气管的第一端进行冷却处理；对冷却处理后的所述脱气管的第一端进行压扁处理，形成压扁区；对所述压扁区进行截断处理。所述脱气管的材料为铝。
4、但经试验，用常规方法来直接对钛脱气管进行闭气后，管道内还是会有气体流入，造成内部不再处于真空状态。且钛脱气管由于材料的原因，本身较为坚硬，同时又比较脆，用常规的闭气方法极大概率会使脱气管在夹紧的过程中由于形变过大而产生裂纹或管壁无法紧密贴合，使得结束闭气后管道内部不再处于真空状态，导致空气流入，对产品造成影响，在进行生产时就会因漏气而造成报废。
5、因此，如何对钛脱气管进
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种脱气管的闭气方法，通过特定的闭气方法及夹具对脱气管进行闭气处理，实现脱气管管道内与外界进行隔绝，保证包套内的产品处于真空状态，避免包套在冷却、储运过程中出现缝隙和漏气现象。
2、为达到此专利技术目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、本专利技术提供了一种脱气管的闭气方法，所述闭气方法包括以下步骤：
4、(1)对连接包套端的脱气管进行第一热处理，形成加热区；
5、(2)对步骤(1)所述加热区进行捶扁处理，形成凹槽区；
6、(3)对步骤(2)所述凹槽区进行至少两次夹扁处理，形成至少两个夹扁处；
7、(4)对离包套最远的夹扁处依次进行第二热处理和切断处理。
8、本专利技术中，所述脱气管的一端连接真空装置，另一端连接包套，然后进行抽真空处理后，将脱气管脱离真空装置，之后进行所述闭气方法。
9、本专利技术所述闭气方法通过对脱气管进行第一热处理，然后立即对加热区进行捶扁处理，之后对凹槽区进行至少两次夹扁处理，最后对离包套最远的夹扁处依次进行第二热处理和切断处理，使得脱气管的闭气工作可以有效进行，实现脱气管管道内与外界进行隔绝，解决了包套内的真空度不能维持以及包套出现缝隙和漏气的问题。所述闭气方法工艺简单，操作方便，密封效果好。
10、作为本专利技术优选的技术方案，所述脱气管的材质为钛。
11、本专利技术对脱气管的尺寸和形状等结构特征不作具体要求和特殊限定，脱气管在本专利技术中的作用是连接包套，且为包套的密封做准备，因此可以理解的是，其他能实现此类功能的脱气管均可用于本专利技术中，本领域技术人员可以根据使用场景和测试条件对脱气管的尺寸和形状进行适应性调整。
12、作为本专利技术优选的技术方案，步骤(1)所述第一热处理的电流为1200-1300a，例如可以是1210a、1220a、1230a、1240a、1250a、1260a、1270a、1280a或1290a等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
13、优选地，步骤(1)所述第一热处理的时间为40-50s，例如可以是41s、42s、43s、44s、45s、46s、47s、48s或49s等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
14、本专利技术对脱气管进行第一热处理后，使其表面褪去原有的金属颜色，呈现亮眼的金红色，并加热至脱气管彻底软化为止。
15、优选地，步骤(1)所述加热区与包套端之间的距离为10-15mm，例如可以是10.5mm、11mm、11.5mm、12mm、12.5mm、13mm、13.5mm、14mm或14.5mm等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
16、本专利技术中，所述加热区与包套端之间的距离指的是加热区离包套最近的端点与包套端之间的距离；且本专利技术将加热区与包套端之间的距离控制在10-15mm内，避免后续进行加热、捶扁及夹扁处理时对包套产生影响。
17、作为本专利技术优选的技术方案，步骤(2)所述捶扁处理包括：将脱气管置于凹槽内，使用锤状物对步骤(1)所述加热区进行捶扁处理。
18、本专利技术在所述第一热处理后10s内进行捶扁处理，且当脱气管恢复金属原有颜色时，则再次进行第一热处理。
19、本专利技术对锤状物的尺寸、形状和材质等结构特征不作具体要求和特殊限定，锤状物在本专利技术中的作用是将脱气管捶打形成凹槽，因此可以理解的是，其他能实现此类功能的锤状物均可用于本专利技术中，本领域技术人员可以根据使用场景和测试条件对锤状物的尺寸、形状和材质进行适应性调整。
20、作为本专利技术优选的技术方案，步骤(2)所述凹槽区的长度≥150mm，例如可以是170mm、190mm、200mm、220mm、240mm、250mm、270mm或290mm等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用，优选为150-250mm；
21、优选地，步骤(2)所述凹槽区的深度为4-5mm，例如可以是4.1mm、4.2mm、4.3mm、4.4mm、4.5mm、4.6mm、4.7mm、4.8mm或4.9mm等，但不仅限于所列举的数值，数值范围内其他未列举的数值同样适用。
22、本专利技术设置凹槽区的目的是避免直接对脱气管进行夹紧，导致变形过大影响脱气管管壁，进而导致开裂，设置凹槽区作为缓冲，再进行夹紧时可以有效的避免脱气管开裂。
23、作为本专利技术优选的技术方案，步骤(3)所述夹扁处理包括：使用夹具夹扁步骤(2)所述凹槽区，形成所述夹扁处。
24、本专利技术采用特制的夹具进行夹扁处理，仅对凹槽区侧进行夹扁处理，而不是现有技术中对脱气管的两侧均进行夹扁处理。
25、优选地，所述夹具包括压力钳和模具压块，所述模具压块包括水平对立设置的第一夹片和第二夹片。
26、优选地，所述第一夹片为底部凹型的第一长方形。
27、优选地，所述第一夹片的长度为48-52mm、宽度为18-20mm。
28、优选地，所述凹型的长度为38-42mm、深度为0.8-1.2mm。
29、优选地，所述第二夹片的顶部为第二长方形，底部为圆弧形。
30、优选地，所本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种脱气管的闭气方法，其特征在于，所述闭气方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的闭气方法，其特征在于，所述脱气管的材质为钛。
3.根据权利要求1或2所述的闭气方法，其特征在于，步骤(1)所述第一热处理的电流为1200-1300A；
4.根据权利要求1-3任一项所述的闭气方法，其特征在于，步骤(2)所述捶扁处理包括：将脱气管置于凹槽内，使用锤状物对步骤(1)所述加热区进行捶扁处理。
5.根据权利要求1-4任一项所述的闭气方法，其特征在于，步骤(2)所述凹槽区的长度≥150mm，优选为150-250mm；
6.根据权利要求1-5任一项所述的闭气方法，其特征在于，步骤(3)所述夹扁处理包括：使用夹具夹扁步骤(2)所述凹槽区，形成所述夹扁处；
7.根据权利要求1-6任一项所述的闭气方法，其特征在于，步骤(3)所述夹扁处理的次数≥2次，优选为4-6次；
8.根据权利要求1-7任一项所述的闭气方法，其特征在于，步骤(4)所述第二热处理的电流为1200-1300A；
9.根据权利要求1-8
10.根据权利要求1-9任一项所述的闭气方法，其特征在于，所述闭气方法包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种脱气管的闭气方法，其特征在于，所述闭气方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的闭气方法，其特征在于，所述脱气管的材质为钛。
3.根据权利要求1或2所述的闭气方法，其特征在于，步骤(1)所述第一热处理的电流为1200-1300a；
4.根据权利要求1-3任一项所述的闭气方法，其特征在于，步骤(2)所述捶扁处理包括：将脱气管置于凹槽内，使用锤状物对步骤(1)所述加热区进行捶扁处理。
5.根据权利要求1-4任一项所述的闭气方法，其特征在于，步骤(2)所述凹槽区的长度≥150mm，优选为150-250mm；
6.根据权利要求1-5任一...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，沈安帅，曹欢欢，
申请(专利权)人：宁波江丰热等静压技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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