【技术实现步骤摘要】
本技术涉及磁控溅镀机，具体为一种高功率脉冲电源的磁控溅镀机。
技术介绍
1、磁溅射镀膜机是一种普适镀膜机，用于各种单层膜、多层膜和掺杂膜系。可镀各种硬质膜、金属膜、合金、化合物、半导体、陶瓷膜、介质复合膜和其他化学反应膜，亦可镀铁磁材料。主要用于实验室制备有机光电器件的金属电极及介电层，以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层。
2、现有的高功率脉冲电源的磁控溅镀机，无法在磁控溅镀时对工件进行与外界隔离，导致外界环境对磁控溅镀进行影响，使得磁控溅镀效果不佳，另外不能便捷的移动该磁控溅镀机，移动时费时费力，因此迫切的需要一种高功率脉冲电源的磁控溅镀机来解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种高功率脉冲电源的磁控溅镀机，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的高功率脉冲电源的磁控溅镀机，无法在磁控溅镀时对工件进行与外界隔离，导致外界环境对磁控溅镀进行影响，使得磁控溅镀效果不佳，另外不能便捷的移动该磁控溅镀机，移动时费时费力的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
3、一种高功率脉冲电源的磁控溅镀机，包括底座，所述底座的底部设置有万向轮，所述底座的上端四个靠边缘处均设置有立柱，四个所述立柱的上端连接有箱体，所述箱体的前端面两侧均通过铰链连接有箱门，所述箱体的右上端安装有控制器，所述箱体的左上端安装有工作台，所述工作台的上端安装有下玻璃罩体，所述箱体的内部底端设置有电机，所述电机的上端连接有主动轮，所述主动轮通过链条与左侧的从动
4、作为本技术的一种优选技术方案，所述万向轮上安装有制动器，所述万向轮的数量设置为四个，四个所述万向轮呈两两相对设置在底座的底部。
5、作为本技术的一种优选技术方案，所述限位杆的数量设置为两个，两个所述限位杆关于螺母座呈前后轴对称设置。
6、作为本技术的一种优选技术方案，所述上玻璃罩体与下玻璃罩体的直径相同，所述上玻璃罩体的底部安装有橡胶环。
7、作为本技术的一种优选技术方案，所述支撑架的形状为睡倒的l型结构。
8、作为本技术的一种优选技术方案，所述下玻璃罩体的一侧安装有排气口，所述排气口上安装有阀门。
9、与现有技术对比，本技术具备以下有益效果：
10、1、本技术通过设置真空泵、抽真空管道、上玻璃罩体和玻璃罩体以及橡胶环，利用真空泵、抽真空管道、上玻璃罩体、下玻璃罩体和橡胶环之间的相互配合作用，从而可以实现在磁控溅镀时对工件进行与外界隔离，避免外界对磁控溅镀进行影响，且设置橡胶环可以在上玻璃罩体、下玻璃罩体合体时进行缓冲，避免上玻璃罩体和下玻璃罩体合体时碰撞导致损耗，且密封效果好。
11、2、本技术通过在底座的底部设置四个万向轮，可以实现便捷的移动到所需位置，省时省力。
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1.一种高功率脉冲电源的磁控溅镀机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的底部设置有万向轮(2)，所述底座(1)的上端四个靠边缘处均设置有立柱(3)，四个所述立柱(3)的上端连接有箱体(4)，所述箱体(4)的前端面两侧均通过铰链(5)连接有箱门(6)，所述箱体(4)的右上端安装有控制器(7)，所述箱体(4)的左上端安装有工作台(8)，所述工作台(8)的上端安装有下玻璃罩体(9)，所述箱体(4)的内部底端设置有电机(15)，所述电机(15)的上端连接有主动轮(17)，所述主动轮(17)通过链条与左侧的从动轮(16)相连接，所述从动轮(16)的轴心处穿设有螺杆(11)，所述螺杆(11)的上端穿过箱体(4)的顶部并通过螺母(24)与螺母座(10)相连接，所述螺母座(10)上并位于螺杆(11)的一侧设置有限位杆(12)，所述螺母座(10)的右下端安装有磁控溅镀头(23)，所述螺母座(10)的右下端并位于磁控溅镀头(23)的外围连接有上玻璃罩体(25)，所述上玻璃罩体(25)位于下玻璃罩体(9)的正上方，所述箱体(4)的内部顶部安装有支撑架(20)，所述支撑架(20)上安装有真空泵(
2.根据权利要求1所述的一种高功率脉冲电源的磁控溅镀机，其特征在于：所述万向轮(2)上安装有制动器，所述万向轮(2)的数量设置为四个，四个所述万向轮(2)呈两两相对设置在底座(1)的底部。
3.根据权利要求1所述的一种高功率脉冲电源的磁控溅镀机，其特征在于：所述限位杆(12)的数量设置为两个，两个所述限位杆(12)关于螺母座(10)呈前后轴对称设置。
4.根据权利要求1所述的一种高功率脉冲电源的磁控溅镀机，其特征在于：所述上玻璃罩体(25)与下玻璃罩体(9)的直径相同，所述上玻璃罩体(25)的底部安装有橡胶环(22)。
5.根据权利要求1所述的一种高功率脉冲电源的磁控溅镀机，其特征在于：所述支撑架(20)的形状为睡倒的L型结构。
6.根据权利要求1所述的一种高功率脉冲电源的磁控溅镀机，其特征在于：所述下玻璃罩体(9)的一侧安装有排气口(21)，所述排气口(21)上安装有阀门。
...【技术特征摘要】
1.一种高功率脉冲电源的磁控溅镀机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的底部设置有万向轮(2)，所述底座(1)的上端四个靠边缘处均设置有立柱(3)，四个所述立柱(3)的上端连接有箱体(4)，所述箱体(4)的前端面两侧均通过铰链(5)连接有箱门(6)，所述箱体(4)的右上端安装有控制器(7)，所述箱体(4)的左上端安装有工作台(8)，所述工作台(8)的上端安装有下玻璃罩体(9)，所述箱体(4)的内部底端设置有电机(15)，所述电机(15)的上端连接有主动轮(17)，所述主动轮(17)通过链条与左侧的从动轮(16)相连接，所述从动轮(16)的轴心处穿设有螺杆(11)，所述螺杆(11)的上端穿过箱体(4)的顶部并通过螺母(24)与螺母座(10)相连接，所述螺母座(10)上并位于螺杆(11)的一侧设置有限位杆(12)，所述螺母座(10)的右下端安装有磁控溅镀头(23)，所述螺母座(10)的右下端并位于磁控溅镀头(23)的外围连接有上玻璃罩体(25)，所述上玻璃罩体(25)位于下玻璃罩体(9)的正上方，所述箱体(4)的内部顶部安装有支撑架(20)，所述支撑架(20)上安装有真空泵(18)，所述箱体(...
【专利技术属性】
技术研发人员：邹春燕，
申请(专利权)人：苏州智辐材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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