超低频振动计量器具校准系统及其激光干涉仪技术方案

本发明专利技术公开了一种适于在超低频振动计量器具校准系统中使用的激光干涉仪，所述超低频振动计量器具校准系统还包括用于产生超低频振动的振动台，该激光干涉仪包括平面反射镜，其中所述激光干涉仪发射到所述振动台上的测量光由所述平面反射镜进行反射。另外，本发明专利技术还公开了采用该激光干涉仪的超低频振动计量器具校准系统。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及低频或超低频振动测量领域，尤其涉及用于对低频或超低频振动计量 器具(如低频振动传感器)进行校准的超低频振动计量器具校准系统及其中采用的激光干 涉仪。
技术介绍
低频和超低频振动属于自然界中存在面较广的物理现象，如桥梁、大坝、高楼、大 型水轮机组等大型结构的环境振动以及地震中的一些振动等都属于低频或超低频振动。这 些大型结构一旦发生危险，将会造成不可估量的损失，因此开展低频和超低频振动的研究意义重大。随着中国现代化建设的飞速发展，大型工程结构如高层建筑和大跨度桥梁自振频 率越来越低(多数低于0. IHz)，其状态监测和故障诊断已成为工程界研究的热点；城市轨 道交通网的兴建，也使对振敏型精密仪器环境振动的测量和评估方法的研究成为社会广泛 关注的焦点。用于地震预报和观测研究用的仪器要求具有良好的超低频(甚至零频)特 性，如中周期地震计的频率下限为0. 05Hz,宽频带地震计的频率下限甚至达到0. 003Hz，海 底地震观测和海浪的测量则更是属于超低频特大位移(0.05Hz，士 10m)的振动测量。生物 动力学研究、地质勘探、新能源的开发也都与超低频振动密切相关，核爆炸的监本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种适于在超低频振动计量器具校准系统中使用的激光干涉仪，所述超低频振动计量器具校准系统还包括用于产生超低频振动的振动台，该激光干涉仪包括：　　平面反射镜，其中所述激光干涉仪发射到所述振动台上的测量光由所述平面反射镜进行反射。

【技术特征摘要】
一种适于在超低频振动计量器具校准系统中使用的激光干涉仪，所述超低频振动计量器具校准系统还包括用于产生超低频振动的振动台，该激光干涉仪包括平面反射镜，其中所述激光干涉仪发射到所述振动台上的测量光由所述平面反射镜进行反射。2.如权利要求1所述的激光干涉仪，其中所述激光干涉仪还具有参考光路，而且所述 参考光路包括多个反射镜，所述多个反射镜固定在所述参考光路的镜架上，并且根据与所述镜架底 座的距离而分为多个反射镜组，其中每个反射镜组包括多个反射镜，每个反射镜组中的一个反射镜将光反射到其他反 射镜组中。3.如权利要求2所述的激光干涉仪，其中所述反射镜组为两个。4.如权利要求1-3中的任一个所述的激光干涉仪，其中所述激光干涉仪采用参考光和 测量光等光程设计。5.如权利要求1-3中的任一个所述的激光干涉仪，其中所述激光干涉仪还包括沃拉斯 顿棱镜以产生两路正交的干涉光，而且所述激光干涉仪还包括两个光电接收-放大器，用 于分别对所述干涉光进行光电转换以产生电信号，其中所述两个光电接收-放大器中的每 个均包括光电倍增管，用于对入射到所述光电倍增管的光信号进行光电转换。6.如权利要求5所述的激光干涉仪，其中所述两个光电接收-放大器中的每个均还包括跟随电路，对所述光电倍增管产生的电信号进行扩流；零偏置电路，对所述扩流后的电信号进行偏置调零；以及放大电路，用于对所述扩流且经过偏置调零后的电信号进行放大。7.一种超低频振动计量器具校准系统，包括如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：于梅，刘爱东，马明德，左爱斌，杨丽峰，胡红波，何闻，
申请(专利权)人：中国计量科学研究院，浙江大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]