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本发明公开了一种适于在超低频振动计量器具校准系统中使用的激光干涉仪，所述超低频振动计量器具校准系统还包括用于产生超低频振动的振动台，该激光干涉仪包括平面反射镜，其中所述激光干涉仪发射到所述振动台上的测量光由所述平面反射镜进行反射。另外，本发...
该专利属于中国计量科学研究院;浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量科学研究院;浙江大学授权不得商用。

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