【技术实现步骤摘要】
本技术涉及有机硅生产过程中的低沸副产物处理与半导体前驱体材料制备,具体地,涉及一种通过纯化低沸副产物获得高纯四甲基硅烷的装置。
技术介绍
1、四甲基硅烷是一种重要的有机硅材料,在医药、航空航天、半导体制造等领域有着广泛应用。由于较低的电负性,对氢原子影响小,高纯四甲基硅烷可用作核磁共振分析中的内标基准试剂。此外,在燃烧法制备气相白炭黑时,四甲基硅烷也是重要的原料来源。在半导体制造领域中,超高纯(质量分数大于99.99%)四甲基硅烷是市场新兴的化学气相沉积(cvd)和等离子体增强化学气相沉积(pecvd)的前驱体材料,用于制备碳掺杂含硅膜、硅薄膜、低介电常数薄膜等领域,在90nm集成电路铜芯片制程中用于沉积刻蚀阻挡层和铜扩散阻挡层。
2、目前,国内电子级超高纯四甲基硅烷的来源主要由国外厂商提供,国内暂无生产并批量供应该产品的厂家。目前国内有过报道的四甲基硅烷的制备工艺主要为有机硅转化法,主要原理是利用甲基氯硅烷、氯甲烷与氯接受剂发生系列反应生成四甲基硅烷,后续通过纯化得到高纯四甲基硅烷产品。然而,有机硅转化法具有工艺条件苛刻、副产物难以处理、生产成本高等缺点。有文献报道了一种无催化剂的搅拌式反应法,可以实现连续化操作,提高了四甲基硅烷的产量。但是,连续搅拌式的反应设备会造成磨损,且生成的副产物alcl3会造成设备和管路堵塞,使该方案的风险性增加。随着国家有机硅产能的扩增,有机硅低沸副产物产量随之上升,其主要组分为四甲基硅烷、二甲基一氯硅烷、2-甲基丁烷等,从低沸中分离提纯四甲基硅烷极具经济价值和重要的战略意义。
...【技术保护点】
1.一种高纯四甲基硅烷连续化生产装置,其特征在于,包括如下部分:
2.根据权利要求1所述的高纯四甲基硅烷连续化生产装置,其特征在于,
3.根据权利要求1所述的高纯四甲基硅烷连续化生产装置,其特征在于,脱重精馏塔(21)底部设置有30℃以上的馏分出料管;脱重精馏塔(21)下部设置有再沸器一(25)。
4.根据权利要求1所述的高纯四甲基硅烷连续化生产装置,其特征在于,脱轻精馏塔(22)顶部设置有冷凝器二(24),冷凝器二(24)设置有20℃以下的馏分出料管。
5.根据权利要求1所述的高纯四甲基硅烷连续化生产装置,其特征在于,脱重精馏塔(21)的另一端与脱轻精馏塔(22)连通,脱轻精馏塔(22)底部经管道与吸附装置(3)连通;脱重精馏塔(21)与脱轻精馏塔(22)的顶部分别设置有冷凝器一(23)、冷凝器二(24);脱重精馏塔(21)与脱轻精馏塔(22)的底部分别设置有再沸器一(25)、再沸器二(26)。
【技术特征摘要】
1.一种高纯四甲基硅烷连续化生产装置,其特征在于,包括如下部分:
2.根据权利要求1所述的高纯四甲基硅烷连续化生产装置,其特征在于,
3.根据权利要求1所述的高纯四甲基硅烷连续化生产装置,其特征在于,脱重精馏塔(21)底部设置有30℃以上的馏分出料管;脱重精馏塔(21)下部设置有再沸器一(25)。
4.根据权利要求1所述的高纯四甲基硅烷连续化生产装置,其特征在于,脱轻精馏塔(22)顶部设置...
【专利技术属性】
技术研发人员:贺兆波,万富强,杨着,曾靖淞,程正鹏,蔡俊霄,王尚琪,
申请(专利权)人:湖北兴福电子材料股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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