【技术实现步骤摘要】
本技术总体来说涉及石墨烯生产制备，具体而言，涉及一种石墨烯制备载具及石墨烯制备装置。
技术介绍
1、石墨烯为一种由单层碳原子堆积而成的二维薄膜材料，其具有优异的电学、热学、光学和力学性能，从而具有广阔的应用前景。由于石墨烯的电学性能远高于铜箔，则多层铜箔石墨烯复合可有效提高铜箔的电学性能。
2、现有多层二维薄膜材料制备载具的功能比较单一，在二维薄膜材料生长结束后，不能一步实现生长衬底压合的功能，因此，需要先将生长石墨烯的铜箔取出后多层铜箔叠放并压合，但是在非洁净实验室中，生长石墨烯的铜箔转移过程会引入很多杂质，降低铜箔的导电、导热性能，从而影响石墨烯的生产质量。
技术实现思路
1、本技术提供的石墨烯制备载具及石墨烯制备装置，提高石墨烯表面洁净度，以提高石墨烯生产质量。
2、根据本技术的第一个方面，提供了一种石墨烯制备载具，用于放置在cvd设备的石英管内，包括：
3、支架；
4、滑杆，设置于所述支架；
5、压合件，套设于所述滑杆并与其滑动配合；
6、多个生长衬底，与所述压合件沿所述滑杆的轴向方向排布并设置于所述压合件和所述支架之间，所述生长衬底套设于所述滑杆并与其滑动配合；
7、其中，所述支架被配置为相对于所述石英管转动，使所述压合件沿所述滑杆向靠近所述生长衬底的方向滑动并抵压所述生长衬底。
8、在其中一些实施方式中，所述支架设置有移动部和旋转部，所述移动部被配置为沿第一方向移动，使所述旋
9、其中，所述第一方向、所述第二方向和所述滑杆的轴向方向两两相互垂直。
10、在其中一些实施方式中，所述石墨烯制备载具还包括移动件，所述移动件的一端穿设于所述移动部，另一端能够沿所述第一方向运动；和/或，
11、所述石墨烯制备载具还包括旋转件，所述旋转件的一端穿设于所述旋转部，另一端固定连接于所述石英管。
12、在其中一些实施方式中，所述旋转部和所述移动部设置于所述支架相邻的两侧。
13、在其中一些实施方式中，所述支架包括：
14、第一侧板；
15、第二侧板，连接于所述第一侧板，所述滑杆穿设于所述第一侧板和所述第二侧板，所述压合件设置于所述第一侧板和所述第二侧板之间；
16、其中，所述第一侧板、所述压合件和所述第二侧板之间形成容纳空间，所述容纳空间用于容纳多个所述生长衬底。
17、在其中一些实施方式中，所述第一侧板沿第一方向的高度小于所述第二侧板沿第一方向的高度；
18、其中，所述第一方向和所述滑杆轴向方向垂直设置。
19、在其中一些实施方式中，所述第二侧板相对于基准面的投影为l形结构；
20、其中，所述基准面为第一方向和所述滑杆轴向方向所在的平面。
21、在其中一些实施方式中，所述第一侧板和所述第二侧板通过连接件相连接。
22、在其中一些实施方式中，所述支架的旋转角度为α，其中，0°≤α≤45°。
23、根据本技术的第二个方面，本技术实施例还提供了一种石墨烯制备装置，包括石英管、cvd设备和上述的石墨烯制备载具，所述cvd设备和所述石墨烯制备载具设置于所述石英管内，所述石墨烯制备载具的所述压合件用于抵压多个所述生长衬底。
24、本技术的一个实施例具有如下优点或有益效果：
25、本技术实施例提供的石墨烯制备载具，滑杆设置于支架，滑杆可以悬挂压合件和多个生长衬底，在石墨烯薄膜生长结束后，将支架相对于石英管转动，此时滑杆处于倾斜状态，压合件沿滑杆下滑并向靠近生长衬底的方向滑动，压合件对与其相邻生长衬底施加一个作用力，然后多个叠加设置的生长衬底相互接触，由于多个生长衬底设置于压合件和支架之间，压合件和支架起到夹紧生长衬底的作用，以将多个生长衬底和石墨烯薄膜压实。生产衬底在石墨烯薄膜生长和压合过程中无需从滑杆上拆卸或移除，辅助石墨烯薄膜的生长复合一体化，减少石墨烯薄膜表面被污染的风险，提高石墨烯薄膜的表面清洁度和石墨烯薄膜压合的工艺稳定性，从而提高石墨烯薄膜的生产质量。
26、本技术实施例提供的石墨烯制备装置，利用cvd设备可在石墨烯制备载具的生长衬底上制备石墨烯薄膜，以实现石墨烯薄膜的生长过程。利用石墨烯制备载具的压合件用于抵压多个生长衬底，以实现石墨烯薄膜的压合过程，实现石墨烯薄膜生长、压合一体化功能，有效的避免压合过程中引入层间杂质，提高石墨烯薄膜的制备质量。
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1.一种石墨烯制备载具，用于放置在CVD设备的石英管内，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的石墨烯制备载具，其特征在于，所述支架设置有移动部和旋转部，所述移动部被配置为沿第一方向移动，使所述旋转部相对于第二方向转动；
3.根据权利要求2所述的石墨烯制备载具，其特征在于，所述石墨烯制备载具还包括移动件，所述移动件的一端穿设于所述移动部，另一端能够沿所述第一方向运动；和/或，
4.根据权利要求2所述的石墨烯制备载具，其特征在于，所述旋转部和所述移动部设置于所述支架相邻的两侧。
5.根据权利要求1所述的石墨烯制备载具，其特征在于，所述支架包括：
6.根据权利要求5所述的石墨烯制备载具，其特征在于，所述第一侧板沿第一方向的高度小于所述第二侧板沿第一方向的高度；
7.根据权利要求5所述的石墨烯制备载具，其特征在于，所述第二侧板相对于基准面的投影为L形结构；
8.根据权利要求5所述的石墨烯制备载具，其特征在于，所述第一侧板和所述第二侧板通过连接件相连接。
9.根据权利要求1-8任一项所述的
10.一种石墨烯制备装置，其特征在于，包括石英管、CVD设备和权利要求1-9任一项所述的石墨烯制备载具，所述CVD设备和所述石墨烯制备载具设置于所述石英管内，所述石墨烯制备载具的所述压合件用于抵压多个所述生长衬底。
...【技术特征摘要】
1.一种石墨烯制备载具，用于放置在cvd设备的石英管内，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的石墨烯制备载具，其特征在于，所述支架设置有移动部和旋转部，所述移动部被配置为沿第一方向移动，使所述旋转部相对于第二方向转动；
3.根据权利要求2所述的石墨烯制备载具，其特征在于，所述石墨烯制备载具还包括移动件，所述移动件的一端穿设于所述移动部，另一端能够沿所述第一方向运动；和/或，
4.根据权利要求2所述的石墨烯制备载具，其特征在于，所述旋转部和所述移动部设置于所述支架相邻的两侧。
5.根据权利要求1所述的石墨烯制备载具，其特征在于，所述支架包括：
6.根据权利要求5所述的石墨烯制备载...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘忠范，孙禄钊，李勤，刘海洋，马梅，陈步航，王真，杨贵奇，
申请(专利权)人：北京石墨烯研究院，
类型：新型
国别省市：
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