【技术实现步骤摘要】
本技术涉及制造、加工设备领域，具体地说是一种掩膜板清洗升降式防护装置。
技术介绍
1、在半导体制造领域，掩膜板是半导体制程的重要零部件，对于掩膜板的清洗尤为重要，要求的洁净度也是业内最高水平，因此掩膜板的清洗设备就极为重要，清洗过程中需要进行强酸强碱等的清洗，因此片在中心主轴上进行清洗时，需要做好较强的防护，中心主轴外围的防护罩既要耐酸碱，也要放置飞溅等因素。
2、但是现有的生产中，缺少相关的防护罩，现有的防护罩总是固定的，不方便掩膜板清洗过程中的取放工作。
技术实现思路
1、为了解决以上问题，本技术提供了一种掩膜板清洗升降式防护装置。
2、本技术的技术方案是:一种掩膜板清洗升降式防护装置，包括防护罩组件、掩膜板安装位和升降模组，所述的防护罩组件包括若干个相互套叠的升降桶，所述的掩膜板安装位设于升降桶内的中心；所述的升降模组设于防护罩组件的外周，驱动升降桶的升降。
3、优选的，所述的防护罩组件包括底盘和至少二个升降桶，分别为第一升降桶、第二升降桶，第二升降桶和底盘之间由第三升降桶连接，所述的第一升降桶设于第二升降桶的内，所述的第二升降桶设于第三升降桶年内，所述的第三升降桶设于底盘内，第一升降桶和第二升降桶为可升降桶，第三升降桶为固定桶；所述的防护罩组件还包括升降联动机构，包括升降柱和升降边，所述的升降柱包括第一升降柱和第二升降柱，所述的升降边包括第一升降边、第二升降边和第三升降边，所述的第一升降边设于第一升降桶的中部、第二升降边设于第二升降桶的顶
4、作为进一步优选的，所述的升降模组包括第一升降模组和第二升降模组，两者对称设置于升降桶的两侧，该两组升降模组结构为丝杆滑轨式，所述的第二升降模组的丝杆由升降电机驱动旋转，所述第一升降模组和第二升降模组的丝杆由同步转轴连接，实现同步转动；所述的第一升降模组还包括第一滑轨和第一滑块，第二升降模组还包括第二滑轨和第二滑块，两个滑块分别与一个顶升柱的下端固定连接，顶升柱的上端分别与第一升降边的两端固定连接，第一滑块和第二滑块的滑动，由顶升柱带动第一升降桶两侧同时匀速升降。
5、作为进一步优选的，所述的升降桶内设有主轴，主轴的顶端设置包括安装座、安装柱和限位柱，所述安装座设于主轴的顶端，所述的安装柱均布于安装座上表面的边缘，且呈竖直设置，每根安装柱的顶部设有两个限位柱，分别限制掩膜板的两个方向上的移动，所有限位柱围绕形成容纳掩膜板的掩膜板安装位。
6、作为更进一步优选的，所述的主轴从下至上分别穿过底盘和第三升降桶的底部，伸入至升降桶内；主轴的下端连接主轴电机，由主轴电机驱动主轴转动；所述的主轴的外部设有防护桶，所述的第三升降桶的底部与主轴之间设有防护边，所述防护桶的上端抵靠在安装座的下方，防护桶的下端设于防护边的外部，所述的防护边向上伸入至防护桶内。
7、作为进一步优选的，所述的升降桶的底部设有抽风管和排水管。
8、作为进一步优选的，所述的第一升降桶的上部呈向内收拢的圆台状，所述的第一升降桶的顶端内部设有喷嘴。
9、优选的，所述升降桶设于机架内，升降桶的外周设有工作平台，所述机架的下端设有万向轮。
10、本技术的有益效果为：本技术设计了一种掩膜板清洗升降式防护装置，可以在清洗过程中起到防护作用，避免清洗过程中强酸强碱液体发生飞溅。升降模组和升降桶进行固定连接，通过提升第一升降桶进行第一层的升降，当第一升降桶升降到一定距离后，通过第一升降柱末端的凸边限位，勾起第二升降桶继续进行升降。通过这种方式的设计，在确保升降桶在耐酸碱的同时，最大限度的提升了升降的高度，同时操作面也不至于变得很高。
11、主轴外部设置的防护桶和防护边，可以保护中心主轴不会被强酸碱污染。
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1.一种掩膜板清洗升降式防护装置，其特征在于包括防护罩组件、掩膜板安装位和升降模组，所述的防护罩组件包括若干个相互套叠的升降桶，所述的掩膜板安装位设于升降桶内的中心；所述的升降模组设于防护罩组件的外周，驱动升降桶的升降。
2.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗升降式防护装置，其特征在于所述的防护罩组件包括底盘（34）和至少二个升降桶，分别为第一升降桶（1）、第二升降桶（2），第二升降桶（2）和底盘（34）之间由第三升降桶（5）连接，所述的第一升降桶（1）设于第二升降桶（2）的内，所述的第二升降桶（2）设于第三升降桶（5）年内，所述的第三升降桶（5）设于底盘（34）内，第一升降桶（1）和第二升降桶（2）为可升降桶，第三升降桶（5）为固定桶；所述的防护罩组件还包括升降联动机构，包括升降柱和升降边，所述的升降柱包括第一升降柱（28）和第二升降柱（32），所述的升降边包括第一升降边（29）、第二升降边（30）和第三升降边（31），所述的第一升降边（29）设于第一升降桶（1）的中部、第二升降边（30）设于第二升降桶（2）的顶部，第三升降边（31）设于第三升降桶（5）的顶部，所述
3.根据权利要求2所述的一种掩膜板清洗升降式防护装置，其特征在于所述的升降模组包括第一升降模组（4）和第二升降模组（8），两者对称设置于升降桶的两侧，结构为丝杆滑轨式，所述的第二升降模组（8）的丝杆由升降电机（19）驱动旋转，所述第一升降模组（4）和第二升降模组（8）的丝杆由同步转轴（16）连接，实现同步转动；所述的第一升降模组（4）还包括第一滑轨（26）和第一滑块（23），第二升降模组（8）还包括第二滑轨（21）和第二滑块（22），两个滑块分别与一个顶升柱（20）的下端固定连接，顶升柱（20）的上端分别与第一升降边（29）的两端固定连接，第一滑块（23）和第二滑块（22）的滑动，由顶升柱（20）带动第一升降桶（1）两侧同时匀速升降。
4.根据权利要求2所述的一种掩膜板清洗升降式防护装置，其特征在于所述的升降桶内设有主轴（17），主轴（17）的顶端设置包括安装座（12）、安装柱（10）和限位柱（18），所述安装座（12）设于主轴（17）的顶端，所述的安装柱（10）均布于安装座（12）上表面的边缘，且呈竖直设置，每根安装柱（10）的顶部设有两个限位柱（18），分别限制掩膜板（13）的两个方向上的移动，所有限位柱围绕形成容纳掩膜板（13）的掩膜板安装位。
5.根据权利要求4所述的一种掩膜板清洗升降式防护装置，其特征在于所述的主轴（17）从下至上分别穿过底盘（34）和第三升降桶（5）的底部，伸入至升降桶内；主轴（17）的下端连接主轴电机（6），由主轴电机（6）驱动主轴（17）转动；所述的主轴（17）的外部设有防护桶（35），所述的第三升降桶（5）的底部与主轴（17）之间设有防护边（15），所述防护桶（35）的上端抵靠在安装座（12）的下方，防护桶（35）的下端设于防护边（15）的外部，所述的防护边（15）向上伸入至防护桶（35）内。
6.根据权利要求2所述的一种掩膜板清洗升降式防护装置，其特征在于所述的升降桶的底部设有抽风管（14）和排水管（11）。
7.根据权利要求2所述的一种掩膜板清洗升降式防护装置，其特征在于所述的第一升降桶（1）的上部呈向内收拢的圆台状，所述的第一升降桶（1）的顶端内部设有喷嘴（24）。
8.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗升降式防护装置，其特征在于所述升降桶设于机架（9）内，升降桶的外周设有工作平台（3），所述机架（9）的下端设有万向轮（7）。
...【技术特征摘要】
1.一种掩膜板清洗升降式防护装置，其特征在于包括防护罩组件、掩膜板安装位和升降模组，所述的防护罩组件包括若干个相互套叠的升降桶，所述的掩膜板安装位设于升降桶内的中心；所述的升降模组设于防护罩组件的外周，驱动升降桶的升降。
2.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗升降式防护装置，其特征在于所述的防护罩组件包括底盘（34）和至少二个升降桶，分别为第一升降桶（1）、第二升降桶（2），第二升降桶（2）和底盘（34）之间由第三升降桶（5）连接，所述的第一升降桶（1）设于第二升降桶（2）的内，所述的第二升降桶（2）设于第三升降桶（5）年内，所述的第三升降桶（5）设于底盘（34）内，第一升降桶（1）和第二升降桶（2）为可升降桶，第三升降桶（5）为固定桶；所述的防护罩组件还包括升降联动机构，包括升降柱和升降边，所述的升降柱包括第一升降柱（28）和第二升降柱（32），所述的升降边包括第一升降边（29）、第二升降边（30）和第三升降边（31），所述的第一升降边（29）设于第一升降桶（1）的中部、第二升降边（30）设于第二升降桶（2）的顶部，第三升降边（31）设于第三升降桶（5）的顶部，所述的第一升降柱（28）的顶端与所述第一升降边（29）固定连接，第一升降柱（28）的下端穿过第二升降边（30）和第三升降边（31），末端设置凸边（33）；所述的第二升降柱（32）的顶端与所述第二升降边（30）固定连接，第二升降柱（32）的下端穿过第三升降边（31），末端设置凸边（33）；所述的第一升降柱（28）和第二升降柱（32）为光柱，且第一升降柱（28）和第二升降柱（32）间隔设置，所述的第一升降柱（28）与第二升降边（30）之间设有直线轴承（27），所述的第二升降柱（32）与第三升降边（31）之间设有直线轴承（27）。
3.根据权利要求2所述的一种掩膜板清洗升降式防护装置，其特征在于所述的升降模组包括第一升降模组（4）和第二升降模组（8），两者对称设置于升降桶的两侧，结构为丝杆滑轨式，所述的第二升降模组（8）的丝杆由升降电机（19）驱动旋转，所述第一升降模组（4）和第二升降模组（...
【专利技术属性】
技术研发人员：王建国，卜志超，冯磊，陈跃华，
申请(专利权)人：浙江百盛光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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