一种精密UVW中空对位平台制造技术

本技术公开了一种精密UVW中空对位平台，旨在提供一种运动精度高、响应速度快、体积小、中空直径大、结构稳固紧凑、可微调控制的精密UVW中空对位平台。本技术包括底座和XY轴直线移动模组，所述XY轴直线移动模组上设置有θ轴旋转模组，所述θ轴旋转模组包括θ轴直线驱动装置、连接块、交叉滚柱轴环和θ轴安装顶板，所述交叉滚柱轴环固定在所述XY轴直线移动模组的活动端，所述θ轴安装顶板设有套接于所述交叉滚柱轴环的转动凸台，所述连接块与所述θ轴直线驱动装置的活动端连接，所述θ轴安装顶板与所述连接块通过顶块传动配合。本技术应用于精密平移对位的技术领域。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种对位平台,特别涉及一种精密 uvw 中空对位平台。

技术介绍

1、在半导体、液晶显示器制造、高精密贴合或检测等电子产品中都需要用到对位平台，对位平台能够精确调整待加工产品的位置，对位平台的对准精度对于产品的加工质量具有直接的影响。随着消费类电子产品的不断发展，人们对于电子产品的要求和需求也在不断增加，对于精密 uvw 中空对位平台的精度要求也在逐步提高，现有的精密 uvw 中空对位平台通常采用两个直线滑台结构搭建的xy平台，再加一个旋转马达实现前后左右以及角度偏转，这种形式的精密 uvw 中空对位平台非常庞大与笨重，精度较低，响应速度较慢，从而影响企业的生产效率和产品的加工质量。

技术实现思路

1、本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供了一种运动精度高、响应速度快、体积小、中空直径大、结构稳固紧凑、可微调控制的精密 uvw 中空对位平台。

2、本技术所采用的技术方案是：本技术包括底座和xy轴直线移动模组，所述xy轴直线移动模组上设置有θ轴旋转模组，所述θ轴旋转模组包括θ轴直线驱动装置、连接块、交叉滚柱轴环和θ轴安装顶板，所述交叉滚柱轴环固定在所述xy轴直线移动模组的活动端，所述θ轴安装顶板设有套接于所述交叉滚柱轴环的转动凸台，所述连接块与所述θ轴直线驱动装置的活动端连接，所述θ轴安装顶板与所述连接块通过顶块传动配合。

3、进一步，所述xy轴直线移动模组包括x轴移动块、y轴移动块、x轴无铁芯直线电机、y轴无铁芯直线电机，所述x轴无铁芯直线电机固定在所述底座上，所述y轴无铁芯直线电机固定在所述x轴移动块上，所述x轴移动块与所述x轴无铁芯直线电机动子连接，所述y轴移动块与所述y轴无铁芯直线电机动子连接。

4、进一步，所述x轴移动块上设置有x轴光栅尺，所述底座上设置有与所述x轴光栅尺对应的x轴读取头，所述y轴移动块上设置有y轴光栅尺，所述x轴移动块上设置有与所述y轴光栅尺对应的y轴读取头,所述θ轴安装顶板上设置有θ轴光栅尺，所述y轴移动块设置有与θ轴光栅尺对应的θ轴读取头。

5、进一步，所述底座上设置有与所述x轴移动块滑动配合的x轴交叉滚柱导轨，所述x轴移动块设置有与所述y轴移动块滑动配合的y轴交叉滚柱导轨，所述y轴移动块上设置有与所述连接块滑动配合的θ轴滚柱导轨。

6、进一步，所述y轴移动块上还设置有与所述顶块配合的θ轴弹簧柱塞和θ轴限位块。

7、进一步，所述x轴移动块上设置有束线结构。

8、进一步，所述x轴移动块上设置有x轴行程限位块，所述y轴移动块上设置有y轴行程限位块，所述θ轴安装顶板上设置有θ轴行程限位块。

9、进一步，所述y轴移动块上设有与所述转动凸台适配的y轴中空凸台，x轴移动块上设有与所述y轴中空凸台对应的x轴圆孔，所述底座上设有与所述x轴圆孔对应的底座圆孔。

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【技术保护点】

1.一种精密UVW中空对位平台，它包括底座（1）和XY轴直线移动模组（2），其特征在于：所述XY轴直线移动模组（2）上设置有θ轴旋转模组（3），所述θ轴旋转模组（3）包括θ轴直线驱动装置（31）、连接块（32）、交叉滚柱轴环（33）和θ轴安装顶板（34），所述交叉滚柱轴环（33）固定在所述XY轴直线移动模组（2）的活动端，所述θ轴安装顶板（34）设有套接于所述交叉滚柱轴环（33）的转动凸台（341），所述连接块（32）与所述θ轴直线驱动装置（31）的活动端连接，所述θ轴安装顶板（34）与所述连接块（32）通过顶块（35）传动配合。

2.根据权利要求1所述的一种精密UVW中空对位平台，其特征在于：所述XY轴直线移动模组（2）包括X轴移动块（21）、Y轴移动块（22）、X轴无铁芯直线电机（23）、Y轴无铁芯直线电机（24），所述X轴无铁芯直线电机（23）固定在所述底座（1）上，所述Y轴无铁芯直线电机（24）固定在所述X轴移动块（21）上，所述X轴移动块（21）与所述X轴无铁芯直线电机（23）动子连接，所述Y轴移动块（22）与所述Y轴无铁芯直线电机（24）动子连接。

3.根据权利要求2所述的一种精密UVW中空对位平台，其特征在于：所述X轴移动块（21）上设置有X轴光栅尺（11），所述底座（1）上设置有与所述X轴光栅尺（11）对应的X轴读取头（12），所述Y轴移动块（22）上设置有Y轴光栅尺（211），所述X轴移动块（21）上设置有与所述Y轴光栅尺（211）对应的Y轴读取头（212）,所述θ轴安装顶板（34）上设置有θ轴光栅尺（221），所述Y轴移动块（22）设置有与θ轴光栅尺（221）对应的θ轴读取头（222）。

4.根据权利要求2所述的一种精密UVW中空对位平台，其特征在于：所述底座（1）上设置有与所述X轴移动块（21）滑动配合的X轴交叉滚柱导轨（13），所述X轴移动块（21）设置有与所述Y轴移动块（22）滑动配合的Y轴交叉滚柱导轨（213），所述Y轴移动块（22）上设置有与所述连接块（32）滑动配合的θ轴滚柱导轨（223）。

5.根据权利要求2所述的一种精密UVW中空对位平台，其特征在于：所述Y轴移动块（22）上还设置有与所述顶块（35）配合的θ轴弹簧柱塞（224）和θ轴限位块（225）。

6.根据权利要求2所述的一种精密UVW中空对位平台，其特征在于：所述X轴移动块（21）上设置有束线结构（214）。

7.根据权利要求2所述的一种精密UVW中空对位平台，其特征在于：所述X轴移动块（21）上设置有X轴行程限位块（215），所述Y轴移动块（22）上设置有Y轴行程限位块，所述θ轴安装顶板（34）上设置有θ轴行程限位块（342）。

8.根据权利要求2所述的一种精密UVW中空对位平台，其特征在于：所述Y轴移动块（22）上设有与所述转动凸台（341）适配的Y轴中空凸台（343），X轴移动块（21）上设有与所述Y轴中空凸台（343）对应的X轴圆孔（216），所述底座（1）上设有与所述X轴圆孔（216）对应的底座圆孔（14）。

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【技术特征摘要】

1.一种精密uvw中空对位平台，它包括底座（1）和xy轴直线移动模组（2），其特征在于：所述xy轴直线移动模组（2）上设置有θ轴旋转模组（3），所述θ轴旋转模组（3）包括θ轴直线驱动装置（31）、连接块（32）、交叉滚柱轴环（33）和θ轴安装顶板（34），所述交叉滚柱轴环（33）固定在所述xy轴直线移动模组（2）的活动端，所述θ轴安装顶板（34）设有套接于所述交叉滚柱轴环（33）的转动凸台（341），所述连接块（32）与所述θ轴直线驱动装置（31）的活动端连接，所述θ轴安装顶板（34）与所述连接块（32）通过顶块（35）传动配合。

2.根据权利要求1所述的一种精密uvw中空对位平台，其特征在于：所述xy轴直线移动模组（2）包括x轴移动块（21）、y轴移动块（22）、x轴无铁芯直线电机（23）、y轴无铁芯直线电机（24），所述x轴无铁芯直线电机（23）固定在所述底座（1）上，所述y轴无铁芯直线电机（24）固定在所述x轴移动块（21）上，所述x轴移动块（21）与所述x轴无铁芯直线电机（23）动子连接，所述y轴移动块（22）与所述y轴无铁芯直线电机（24）动子连接。

3.根据权利要求2所述的一种精密uvw中空对位平台，其特征在于：所述x轴移动块（21）上设置有x轴光栅尺（11），所述底座（1）上设置有与所述x轴光栅尺（11）对应的x轴读取头（12），所述y轴移动块（22）上设置有y轴光栅尺（211），所述x轴移动块（21）上设置有与所述y轴光栅尺（211）对应的y轴读取头（212）...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭从容，武文斌，孟凡伟，梁可，王平，
申请(专利权)人：成都市运泰利自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：