【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池生产,具体来说涉及一种cvd镀膜炉管。
技术介绍
1、cvd镀膜炉管,是用于晶体硅太阳电池的生产制造过程中,在硅片的表面沉积各种不同类型的介质薄膜的设备。
2、根据专利号cn206109532u,公开(公告)日:2017-04-19,公开的一种cvd炉内气体对流系统,包括:石英管,其内水平放置有沿所述石英管轴向可移动的石英舟,所述石英舟上安装有硅片;所述石英管内表面设有若干个石英导流管,每个所述石英导流管朝向所述石英舟的一侧设有间隙排列的导流孔;不锈钢气管,其连接到所述石英导流管两端;其中,所述石英导流管与所述石英舟存在间隙。本技术通过石英管内表面设置的若干个石英导流管,每个石英导流管朝向石英舟的一侧设有间隙排列的导流孔;使得石英管内硅片表面镀膜均匀性提高,进一步提高成品耐压的一致性。
3、包括上述专利的现有技术中,在镀膜炉管运行的过程中,介质薄膜除了沉积在硅片、石英载具表面,还会石英炉管或者陶瓷炉管的内壁沉积,多次使用后内壁上累积的介质过后,会因为热膨胀系数差异会使得介质薄膜和炉管之间出现的应力,导致石英炉管或者陶瓷炉管破裂,通常更换炉管解决介质累积,更换成本较高。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种cvd镀膜炉管,旨在解决炉管内壁累积的介质不好清理的问题。
2、为了实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种cvd镀膜炉管,包括:
3、炉管,其外层涂设有金属涂层;
4、清除机构,其包括同轴设置于
5、作为优选的,所述炉管第一端开设有尾气管,所述炉管上固定连通有进气管,所述进气管延伸入所述炉管第二端。
6、作为优选的,所述金属涂层厚度为0.5um~10um。
7、作为优选的,所述螺旋导线外径小于所述炉管内径10mm~30mm。
8、作为优选的,所述螺旋导线螺距为10mm~30mm。
9、作为优选的,所述金属涂层为铜、铁或钨涂层中的任意一种。
10、作为优选的,所述螺旋导线为铜、铁或钨线中的任意一种。
11、作为优选的,所述炉管内呈线性阵列设置有多个挂钩,所述螺旋导线设置于所述挂钩上。
12、作为优选的,所述炉管第二端设置有链接套,所述链接套上转动连接有炉盖。
13、作为优选的,所述挂钩为陶瓷挂钩。
14、在上述技术方案中,本技术提供的一种cvd镀膜炉管,具备以下有益效果:开启射频电源时,螺旋导线和炉管外层的金属涂层产生交变的电场,在交变电场作用下,通入的nf3、sf6或者ccl4等反应刻蚀气体,此时离化形成等离子体,因为离子化的反应气体具有很高的反应活性,在轰击炉管内壁介质薄膜的同时还会与其反应将其刻蚀掉,能定期清除炉管内壁的介质薄膜,大幅延长镀膜炉管的使用寿命,降低太阳能电池的制造成本。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种CVD镀膜炉管,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种CVD镀膜炉管,其特征在于,所述炉管(1)第一端开设有尾气管(12),所述炉管(1)上固定连通有进气管(13),所述进气管(13)延伸入所述炉管(1)第二端。
3.根据权利要求1所述的一种CVD镀膜炉管,其特征在于,所述金属涂层(21)厚度为0.5um~10um。
4.根据权利要求1所述的一种CVD镀膜炉管,其特征在于,所述螺旋导线(22)外径小于所述炉管(1)内径10mm~30mm。
5.根据权利要求1所述的一种CVD镀膜炉管,其特征在于,所述螺旋导线(22)螺距为10mm~30mm。
6.根据权利要求1所述的一种CVD镀膜炉管,其特征在于,所述金属涂层(21)为铜、铁或钨涂层中的任意一种。
7.根据权利要求1所述的一种CVD镀膜炉管,其特征在于,所述螺旋导线(22)为铜、铁或钨线中的任意一种。
8.根据权利要求1所述的一种CVD镀膜炉管,其特征在于,所述炉管(1)内呈线性阵列设置有多个挂钩(222),所述螺旋导线(22)设
9.根据权利要求1所述的一种CVD镀膜炉管,其特征在于,所述炉管(1)第二端设置有链接套(101),所述链接套(101)上转动连接有炉盖(11)。
10.根据权利要求8所述的一种CVD镀膜炉管,其特征在于,所述挂钩(222)为陶瓷挂钩。
...【技术特征摘要】
1.一种cvd镀膜炉管,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种cvd镀膜炉管,其特征在于,所述炉管(1)第一端开设有尾气管(12),所述炉管(1)上固定连通有进气管(13),所述进气管(13)延伸入所述炉管(1)第二端。
3.根据权利要求1所述的一种cvd镀膜炉管,其特征在于,所述金属涂层(21)厚度为0.5um~10um。
4.根据权利要求1所述的一种cvd镀膜炉管,其特征在于,所述螺旋导线(22)外径小于所述炉管(1)内径10mm~30mm。
5.根据权利要求1所述的一种cvd镀膜炉管,其特征在于,所述螺旋导线(22)螺距为10mm~30mm。
6.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:秦臻,许佳平,邢军,韩宜辰,朱皓杰,张田,黄胜,张岳琦,
申请(专利权)人:安徽旭合新能源科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。