【技术实现步骤摘要】
本技术涉及载板领域，具体而言，特别是涉及一种载板结构及载板。
技术介绍
1、现有镀膜载板分为接触式和辐热式，辐热式一般采用镂空结构，硅片放置其上时，硅片边缘置于在板载板边缘上，镂空部分正对硅片，这种载板在镀膜时，因载板边缘对辐射热具有阻挡作用，会使得硅片的中部与边缘受热不均，易造成硅片中部温度过高、边缘温度过低，使得硅片中部发黑，且越靠近中间发黑程度越严重，影响镀膜质量。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术提供一种载板结构及载板，通过在第一支撑部和第二支撑部之间增加导热件，通过导热件向硅片传递热量，同时导热件与硅片之间留有间隙，即曲面导热部不与硅片接触，可有效改善辐热式加热时硅片的温度均匀性，减少发黑现象，提升硅片品质。
2、本技术的目的通过以下技术方案实现：
3、一种载板结构，包括用于支撑硅片的第一支撑部和第二支撑部、以及位于第一支撑部和第二支撑部之间的导热件，所述导热件与硅片之间留有间隙。
4、通过在第一支撑部和第二支撑部之间增加导热件，通过导热件向硅片传递热量，同时导热件与硅片之间留有间隙，即曲面导热部不与硅片接触，可有效改善辐热式加热时硅片的温度均匀性，减少发黑现象，提升硅片品质。
5、可选地，在一种可能的实现方式中，所述导热件具有曲面，所述曲面朝向硅片。
6、导热件朝向硅片的区域为曲面，通过该曲面，使得传递到硅片的热量更加均匀，可更进一步减少发黑现象，提升硅片品质。
7、可选地，在一种可能的实现方式中
8、第一支撑部和第二支撑部分别支撑硅片的两端，将硅片架起来，硅片的中部与镂空部的导热件相邻近，通过导热件传递热量到硅片，保证热量均匀，减少发黑现象，提升硅片品质。
9、可选地，在一种可能的实现方式中，所述导热件与第一支撑部和第二支撑部为可拆卸连接，所述导热件的下端设置延伸部，所述延伸部可通过连接件与第一支撑部和第二支撑部连接。
10、可拆卸连接，可使得导热件的拆装更加容易，通过在在导热件的下端设置延伸部，以延伸部为载体，通过螺栓等连接件与第一支撑部和第二支撑部连接。
11、可选地，在一种可能的实现方式中，所述导热件与第一支撑部和第二支撑部为一体式连接，所述导热件通过铣削加工而成。
12、一体成型件没有拼接痕迹，将材料放入成型机一次成型出产，均匀没有拼接痕迹，没有隐藏的薄弱点，质量更好，使用寿命更长久。
13、可选地，在一种可能的实现方式中，所述导热件为实心的高斯曲面体。
14、高斯曲面体是实心的近似半球体，高斯曲面体具有均匀散热的效用，可有效提高镂空部的温度均匀性，减轻硅片发黑现象。
15、可选地，在一种可能的实现方式中，所述导热件的材质为石墨或碳纤维或陶瓷。
16、石墨、碳纤维、陶瓷等材料具有良好的导热性，可对硅片进行良好的传热。
17、一种载板，包括若干个载板结构，若干个所述载板结构阵列排布。
18、通过阵列排布的若干个载板结构，可实现对多个硅片的均匀传热。
19、本技术相较于现有技术的有益效果是：
20、本技术的载板结构，通过在第一支撑部和第二支撑部之间增加导热件，通过导热件向硅片传递热量，同时导热件与硅片之间留有间隙，即曲面导热部不与硅片接触，可有效改善辐热式加热时硅片的温度均匀性，减少发黑现象，提升硅片品质。
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1.一种载板结构，其特征在于，包括用于支撑硅片的第一支撑部和第二支撑部、以及位于第一支撑部和第二支撑部之间的导热件，所述导热件与硅片之间留有间隙，所述导热件具有曲面，所述曲面朝向硅片，所述第一支撑部和第二支撑部分别支撑硅片的两端，所述第一支撑部和第二支撑部之间为镂空部，所述导热件设置于镂空部中。
2.根据权利要求1所述的载板结构，其特征在于，所述导热件与第一支撑部和第二支撑部为可拆卸连接。
3.根据权利要求2所述的载板结构，其特征在于，所述导热件的下端设置延伸部，所述延伸部可通过连接件与第一支撑部和第二支撑部连接。
4.根据权利要求1所述的载板结构，其特征在于，所述导热件与第一支撑部和第二支撑部为一体式连接。
5.根据权利要求4所述的载板结构，其特征在于，所述导热件通过铣削加工而成。
6.根据权利要求1所述的载板结构，其特征在于，所述导热件为实心的高斯曲面体。
7.根据权利要求1所述的载板结构，其特征在于，所述导热件的材质为石墨或碳纤维或陶瓷。
8.一种载板，其特征在于，包括若干个如权利要求1-7
...【技术特征摘要】
1.一种载板结构，其特征在于，包括用于支撑硅片的第一支撑部和第二支撑部、以及位于第一支撑部和第二支撑部之间的导热件，所述导热件与硅片之间留有间隙，所述导热件具有曲面，所述曲面朝向硅片，所述第一支撑部和第二支撑部分别支撑硅片的两端，所述第一支撑部和第二支撑部之间为镂空部，所述导热件设置于镂空部中。
2.根据权利要求1所述的载板结构，其特征在于，所述导热件与第一支撑部和第二支撑部为可拆卸连接。
3.根据权利要求2所述的载板结构，其特征在于，所述导热件的下端设置延伸部，所述延伸部可通过连接件与第一支撑...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：广东利元亨智能装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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