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本技术公开了一种CVD镀膜炉管，包括：炉管，其外层涂设有金属涂层；清除机构，其包括同轴设置于所述炉管内的螺旋导线，所述螺旋导线两端电性连接射频电源，以与所述金属涂层产生交变电场。该技术提供的CVD镀膜炉管，开启射频电源时，螺旋导线和炉管外层...
该专利属于安徽旭合新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽旭合新能源科技有限公司授权不得商用。

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